致动器以及打线接合装置制造方法及图纸

致动器13包括：一对线性马达22A、22B：控制装置27，控制一对线性马达22A、22B产生的力的朝向及大小；及滑架26，架设于一对线性马达22A、22B。控制装置27通过使其中一个线性马达22A产生的力的方向与另一个线性马达22B产生的力的方向一致，而使滑架26平移。控制装置27通过使其中一个线性马达22A产生的力的方向相对于另一个线性马达22B产生的力的方向为反向，而使滑架26旋转。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】致动器以及打线接合装置
本公开涉及一种致动器(actuator)以及打线接合(wirebonding)装置。
技术介绍
专利文献1公开一种打线接合装置。打线接合装置具有作为接合工具(bondingtool)的焊针(capillary)。打线接合装置通过使用所述焊针对打线赋予热或超音波振动等，而将打线连接于电极。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2018-6731号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题专利文献1所公开的打线接合装置等制造装置需要多个移动机构。例如，在制造装置的动作中，伴有作为处理对象的被处理零件的移动、及工具相对于被处理零件的移动。因此，制造装置需要下述致动器，所述致动器用于实现对被处理零件及工具各自所要求的移动态样。制造装置的领域中，正研究高功能化。由于高功能化，所要求的移动态样增加。进而，所要求的移动态样复杂化。其结果，需要针对每个移动态样准备致动器，因此每当移动态样增加则致动器的数量也增加。因此，鉴于所述情况，本公开提供一种可进行多个动作的致动器以及打线接合装置。解决问题的技术手段本公开的一形态的致动器包括：第一力产生部，产生朝向沿着第一方向的正方向的力、及朝向与沿着第一方向的正方向为反向的负方向的力；第二力产生部，相对于第一力产生部在与第一方向正交的第二方向上分离地配置，产生朝向正方向的力、及朝向负方向的力；控制部，控制第一力产生部及第二力产生部所产生的力的朝向及大小；以及移动体，架设于第一力产生部及第二力产生部，控制部通过使第一力产生部产生的力的方向、与第二力产生部产生的力的方向一致，而使移动体沿着第一方向平移，通过使第一力产生部产生的力的方向相对于第二力产生部产生的力的方向为反向，而绕移动体的重心旋转。致动器包括第一力产生部及第二力产生部。各力产生部所产生的力是通过控制部进行控制。根据所述结构，通过使第一力产生部及第二力产生部中产生的力的朝向一致，可使移动体沿着第一方向移动。进而，通过使第二力产生部中产生的力的朝向相对于第一力产生部的朝向为反向，而使移动体产生绕重心的转矩。其结果，可使移动体绕其重心旋转。其结果，致动器可对移动体提供沿着第一方向的平移及绕重心的旋转等多个动作。所述致动器中，第一力产生部及第二力产生部也可沿着第二方向隔着移动体的重心而配置。根据所述结构，可使移动体高效率地旋转。所述致动器中，第一力产生部及第二力产生部可具有：超音波产生部，连接于控制部，受到控制部的控制；及驱动轴，在第一方向上延伸，具有与移动体接触的接触部，并且固定于超音波产生部而受到超音波产生部产生的超音波振动。第一力产生部及第二力产生部产生的力可为接触部的摩擦力。摩擦力可通过超音波的频率来进行控制。根据所述结构，可使第一力产生部及第二力产生部的结构简易。所述致动器中，平台可具有主面及背面。主面及背面中的一者可包含接触部。根据所述结构，第一力产生部及第二力产生部可对移动体可靠地提供力。其结果，能可靠地进行移动体的平移及旋转。本专利技术的另一态样的打线接合装置包括：接合工具，可装卸地保持焊针；及焊针更换部，对接合工具安装或卸除焊针，焊针更换部具有所述致动器。所述打线接合装置包括具备所述致动器的焊针更换部。所述致动器可进行平移与旋转所述两个动作。因此，可对打线接合装置赋予焊针的更换功能，并且抑制焊针更换部的大型化。因此，可兼顾打线接合装置的高功能化与小型化。专利技术的效果根据本公开，说明了一种可进行多个动作的致动器以及打线接合装置。附图说明[图1]图1为表示实施方式的打线接合装置的立体图。[图2]图2为将图1所示的打线接合装置具有的焊针更换部放大表示的立体图。[图3]图3为将焊针保持部的一部分剖视表示的立体图。[图4]图4为说明焊针保持部的动作的图。[图5]图5为将焊针引导部的一部分剖视表示的立体图。[图6]图6为表示由焊针保持部及焊针引导部发挥的焊针的引导功能的图。[图7]图7为表示由焊针保持部及焊针引导部发挥的焊针的另一引导功能的图。[图8]图8为表示图2所示的焊针更换部具有的致动器的主要部分的平面图。[图9]图9为说明致动器的动作原理的图。[图10]图10为说明致动器的具体控制的图。[图11]图11为说明致动器的具体控制的图。[图12]图12为表示焊针更换部的主要动作的图。[图13]图13为表示继图12之后的焊针更换部的主要动作的图。[图14]图14为表示继图13之后的焊针更换部的主要动作的图。[图15]图15为表示继图14之后的焊针更换部的主要动作的图。[图16]图16为表示变形例的焊针保持部的剖面的立体图。具体实施方式以下，一方面参照随附附图一方面对本公开的致动器以及打线接合装置进行详细说明。附图的说明中对相同构件标注相同符号，省略重复说明。图1所示的打线接合装置1例如使用细径的金属打线将设于印刷基板等的电极、与安装于所述印刷基板的半导体元件的电极加以电连接。打线接合装置1对打线提供热、超音波或压力而将打线连接于电极。打线接合装置1具有基底2、接合部3、及搬送部4。接合部3进行所述连接作业。搬送部4将作为被处理零件的印刷基板等搬送至接合区域。接合部3含有接合工具6，在接合工具6的前端设有超音波焊头7。在所述超音波焊头7的前端，可装卸地设有焊针8。焊针8对打线提供热、超音波或压力的焊针8。以下的说明中，将超音波焊头7延伸的方向设为X轴，将由搬送部4搬送印刷基板的方向设为Y轴(第二方向)。将焊针8进行接合动作时移动的方向(Z轴方向，第一方向)设为Z轴。焊针8需要定期更换。因此，打线接合装置1具有焊针更换部9。焊针更换部9不经由作业者的操作而自动更换焊针8。焊针更换部9将安装于超音波焊头7的焊针8回收。进而，焊针更换部9对超音波焊头7安装焊针8。所谓焊针8的更换作业，包含回收焊针8的作业、及安装焊针8的作业。焊针8的更换作业在满足预先设定的条件的情形时，自动实施。例如，所述条件也可设为接合作业的次数。即，也可在每当实施规定次数的接合作业时，进行更换焊针8的作业。如图2所示，焊针更换部9具有焊针保持部11、焊针引导部12及致动器13作为主要的结构构件。另外，焊针更换部9具有装卸夹具15及驱动装卸夹具15的夹具驱动部20作为附加的结构构件。＜焊针保持部＞焊针保持部11保持焊针8。焊针保持部11经由固持器14而安装于致动器13。焊针保持部11的形状为在Z轴方向上延伸的圆柱。焊针保持部11的下端保持于固持器14。在焊针保持部11的上端，可装卸地插入焊针8。如图3所示，焊针保持部11具有上插座16、线圈弹簧17(弹性部)、下插座18(焊针基底部)及O形环19(限制部)作为主要的结构构件。上插座16、线圈弹簧17及下插座18配置于共同的轴线上。具体而言，自上而下依次以上本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种致动器，包括：/n第一力产生部，产生朝向沿着第一方向的正方向的力、及朝向与沿着所述第一方向的所述正方向为反向的负方向的力；/n第二力产生部，相对于所述第一力产生部在与所述第一方向正交的第二方向上分离地配置，产生朝向所述正方向的力、及朝向所述负方向的力；/n控制部，控制所述第一力产生部及所述第二力产生部产生的力的朝向及大小；以及/n移动体，架设于所述第一力产生部及所述第二力产生部，/n所述控制部通过使所述第一力产生部产生的力的方向与所述第二力产生部产生的力的方向一致，而使所述移动体沿着所述第一方向平移，/n通过使所述第一力产生部产生的力的方向相对于所述第二力产生部产生的力的方向为反向，而绕所述移动体的重心旋转。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180130 JP 2018-0133211.一种致动器，包括：
第一力产生部，产生朝向沿着第一方向的正方向的力、及朝向与沿着所述第一方向的所述正方向为反向的负方向的力；
第二力产生部，相对于所述第一力产生部在与所述第一方向正交的第二方向上分离地配置，产生朝向所述正方向的力、及朝向所述负方向的力；
控制部，控制所述第一力产生部及所述第二力产生部产生的力的朝向及大小；以及
移动体，架设于所述第一力产生部及所述第二力产生部，
所述控制部通过使所述第一力产生部产生的力的方向与所述第二力产生部产生的力的方向一致，而使所述移动体沿着所述第一方向平移，
通过使所述第一力产生部产生的力的方向相对于所述第二力产生部产生的力的方向为反向，而绕所述移动体的重心旋转。


2...

【专利技术属性】
技术研发人员：内田洋平，平良尚也，
申请(专利权)人：株式会社新川，
类型：发明
国别省市：日本;JP