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压电谐振式力传感器制造技术

技术编号:2560606 阅读:166 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及一种压电谐振式力传感器。本发明专利技术采用套装插式结构连接和定位,将许多部件做成一体,减少分离部件数量,从而使本发明专利技术装配工艺简单,结构紧凑,体积小,性能价格比高。(*该技术在2015年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种力测量装置,特别是一种压电谐振式力传感器。压电谐振式力传感器是利用压电石英谐振器作为敏感元件的数字式传感器。当外力作用于谐振器,导致谐振器基片内应变状态改变时,将引起谐振器的谐振频率的改变,频率的改变量反映外力的大小。U.S.Pat,NO.3,891,870公开了一种该形式的传感器,其结构如附图说明图1所示。其工作原理是外力F通过压块16作用于敏感谐振器11,导致谐振器11的频率改变,借此实施测量。该传感器采用较多的分离部件,用螺钉连接和定位,故体积大,装配工艺复杂,性能价格比低,调整困难。本专利技术的目的是提供一种结构简单,体积小,装配工艺简单,能够适应大批量生产,易于调整且性能价格比高的压电谐振式力传感器。本专利技术所指的压电谐振式力传感器包括压块,定位膜片,敏感谐振器、垫块、支架、底座和壳体,敏感谐振器固定于压块与垫块之间,外力通过压块与垫块对敏感谐振器产生对径压力。其特征是压块固定于定位膜片上,其上半部凸出于定位膜片之上,下半部位于定位膜片之下,压块与敏感谐振器接触处开有定位槽,并设有V型引导槽;支架由支架座和固定于支架座上的两个金属电极A、B构成,电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电谐振式力传感器,包括压块(1)、定位膜片(2)、敏感谐振器(4)、垫块(5)、支架(6)、壳体(3)和底座(7),敏感谐振器(4)固定于压块(1)与垫块(5)之间,外力通过压块(1)与垫块(5)对敏感谐振器(4)产生对径压力,其特征是:压块(1)固定于定位膜片(2)上,其上半部凸出于定位膜片(2)之上,下半部位于定位膜片(2)之下,与敏感谐振器(4)接触处开有定位槽,并设有V型引导槽9;支架(6)由支架座和固定于支架座上的两个金属电极A、B构成,金属电极A、B在装配时可约束敏感谐振器(4),成型后可将谐振器(4)的电极与外电路连通;构件与构件相连处均采用套装插式结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:冯冠平朱惠忠
申请(专利权)人:清华大学
类型:发明
国别省市:11[中国|北京]

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