热电偶温度测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种热电偶温度测量装置，至少包括密封锁紧装置、输出信号线、热电偶安装接口、热电偶温度传感器和石英套管，所述装置还包括绝缘瓷座和定位套，所述热电偶温度传感器的相互绝缘的金属线通过绝缘瓷座并安装在定位套中，所述定位套位于石英套管中，所述石英套管是直线筒型，所述热电偶安装接口是安装插口，石英套管竖直地插接于热电偶安装接口中并通过密封锁紧装置密封。该装置用于测量炉管设备的内管的温度。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种热电偶温度测量装置，特别是指一种用于炉管设备 中的热电偶温度测量装置。
技术介绍
炉管是集成电路制造业中的重要设备，用于在晶圓表面生成非金属氧化 膜，为晶圓的光刻工序作准备。在炉管的内管和外管之间安装有热电偶温度传感器，用于测量炉管的反 应室，也即内管中的温度。炉管设备根据所测温度控制加热器，使内管达到 并保持要求的温度。现有的热电偶温度测量装置，如图l所示，至少包括密封锁紧装置、输出信号线2、热电偶安装接口 18、热电偶温度传感器20和L型石英套管1。 所述密封锁紧装置包括防松母8、锁母7、锥形锁紧C型环5、防松C型环 6、挡环4、 O型圈3。连接关系是O型圈3套装在L型石英套管1上，挡 环4压住推紧0型圈3，以保证密封，锥形锁紧C型环5的平面端推紧挡环 4,其锥形端与锁母7接触锁紧，防松C型环6套在L型石英套管1上，用 于防止锁母7脱落，最后装防松母8，进一步起防松作用。L型石英套管l垂直弯曲，热电偶安装接口 18是安装插口，位于炉管 的底座17的侧壁上，L型石英套管1通过密封锁紧装置橫向地插接于底座上的热电偶安装接口 18中。由于炉管的反应室较大，所迷热电偶温度传感 器20 —般分为五个温度测量区，分别对反应室的不同位置的温度进行测量。 每个区都有两种不同材质的金属线制成的热电偶，共5组，也即10条金属线。该5组金属线置于L型石英套管1中，所述5组互相绝缘的金属线的下 端通过L型石英套管转弯处后，分别被套装上绝缘塑料套以组成相互独立的 5组信号线，该5组信号线也即组成输出信号线2。炉管的加热器可以对不 同的测量区分别进行温度设定，例如，炉管反应室所需的温度为60(TC,则需 对五个测量区都设定温度值为60(TC。通过金属线测量反应室的实际温度， 如设定温度大于实际温度，则加大加热器发热功率，促进温度上升；如设定 温度小于实际温度，则停止加热器的工作，促使温度下降。根据五个测量区 的不同的温差，加热器将分配不同的加热功率，以使整个反应室达到预设温 度的平衡状态。所述热电偶温度传感器20也可分为其他数量的温度测量区， 根据具体情况而定。当炉管设备工作一段时间后，L型石英套管1外壁上会附着一层非金属 薄膜，从而影响温度测量的精度。故每隔一段时间，需将L型石英套管1拆 卸，并对其进行酸洗，去除附着在L型石英套管1上的薄膜。由于石英套管 成L形状，有90。的弯曲，无法将L型石英套管1单独拆卸和清洗，只能 将L型石英套管1和热电偶温度传感器20同时拆卸和清洗。而热电偶温度 传感器20在拆卸、清洗和安装时容易出现异常，造成L型石英套管1断裂， 导致传感器无法继续使用而报废，由于其造价很昂贵，增加了极大的潜在成 本。例如，输出信号线2在90。弯曲处易发生短路，直接导致热电偶温度传 感器20的报废。另外，如酸洗时间次数较多，L型石英套管l厚度变薄， 从而容易进酸或破裂，导致热电偶温度传感器20的报废。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的主要目的在于提供一种热电偶温度测量装置， 至少包括密封锁紧装置、输出信号线、热电偶安装接口、热电偶温度传感器 和石英套管，所述装置还包括绝缘瓷座和定位套，所述热电偶温度传感器的 相互绝缘的金属线通过绝缘瓷座并安装在定位套中，所述定位套位于石英套 管中，所述石英套管是直线筒型，所述热电偶安装接口是安装插口，石英套 管竖直地插接于热电偶安装接口中并通过密封锁紧装置密封。进一步地，所述密封锁紧装置至少包括o型圈、挡环和锁母，用于热电偶安装接口 、定位套和石英套管的密封连接。进一步地，所述热电偶温度传感器至少包括10条金属线，用于形成热电偶回3各。进一步地，所述热电偶安装接口位于炉管底座侧壁上。本技术与现有技术相比的有益效果是石英套管是直线筒型，可以 将其单独拆卸，进行清洗或更换，不会损坏热电偶温度传感器，降低了潜在的成本。同时，由于石英套管改为直线筒型后，在拆卸后可以立即更换，安装也 更为方便，大大降低了时间成本。另外，密封锁紧装置减少了防松母、C型环，更易于安装，并降低了成本。附图说明图1是现有的热电偶温度测量装置的结构图；图2是本技术的热电偶温度测量装置的结构图；图3是本技术的热电偶安装接口与石英套管的连接的立体示意图；图4是本技术的图2中虛线所示的石英套管、定位套及绝缘瓷座的局部 剖面图；图5是本技术的热电偶温度测量装置的具体实施例的示意图。具体实施方式图2是本技术的热电偶温度测量装置的结构图。所述装置至少包括 密封锁紧装置、输出信号线2、热电偶安装接口 19、热电偶温度传感器20 和石英套管9，所述装置还包括绝缘瓷座11和定位套10，所述热电偶温度 传感器20的相互绝缘的金属线通过绝缘瓷座11并安装在定位套10中，所 述定位套IO位于石英套管9中，所述石英套管9是直线筒型，所述热电偶 安装接口 19是安装插口，石英套管9竖直地插接于热电偶安装接口 19中并 通过密封锁紧装置密封。其中，密封锁紧装置包括O型圈3、挡环4和锁母 7。所述热电偶安装接口 19位于炉管底座侧壁上。图3是本技术的热电偶安装接口 19与石英套管9的连接的立体示 意图。图4是本技术的图2中虛线所示的石英套管9、定位套IO及绝缘瓷 座ll的局部剖面图。绝缘瓷座ll、石英套管9、定位套10和输出信号线2 的连接关系是热电偶温度传感器20的相互绝缘的金属线通过绝缘瓷座11 并安装在定位套10中，定位套10及热电偶温度传感器20的测量端安装在 石英套管9内，穿过定位套10的若千金属线即组成输出信号线2。 将热电偶温度测量装置安装至炉管底座17上的步骤如下 A 、将输出信号线2和石英套管9的下端从底座17上的热电偶安装接口19中穿过；B、从输出信号线2下端套入0型圈3，并将O型圈3套装在石英套管9上；C卜从输出信号线2下端套入挡环4和锁母7，将挡环4套装在石英套 管9上，使定位套10的下端接触锁母7的止口，并锁紧锁母7。将对应的热电偶温度测量装置从炉管底座17上拆卸的步骤如下Al、松动锁母7,将锁母7、挡环4和0型圈3从输出信号线2下端取出；Bl、将石英套管9和输出信号线2从炉管底座17上的热电偶安装接口 19中耳又出。炉管设备工作一段时间后，需对石英套管9进行更换，由于石英套管9 是直线筒型，可以将其单独拆卸，进行清洗或更换，具体步骤如下 A2、将热电偶温度传感器20和石英套管9倒置； B2、将定位套IO、输出信号线2和热电偶温度传感器同时拔出； C2、将热电偶的测量端与定位套IO插入新的石英套管内。 图5是本技术的热电偶温度测量装置的具体实施例的示意图。如图 所示，热电偶温度传感器20是直线筒型，分为五个温度测量区，分别为温 度测量区一12、温度测量区二13、温度测量区三14、温度测量区四15、温 度测量区五16,可分别对反应室的不同位置的温度进行测量。所述热电偶温 度传感器20也可分为其他数量的温度测量区，根据具体的使用情况而定。以上对本技术的热电偶温度测量装置作了详细说明，在具体的实施 过程中可对本技术的装置进行适当的改进，以适应具体情况的具体需 要。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种热电偶温度测量装置，至少包括密封锁紧装置、输出信号线、热电偶安装接口、热电偶温度传感器和石英套管，其特征在于，所述装置还包括绝缘瓷座和定位套，所述热电偶温度传感器的相互绝缘的金属线通过绝缘瓷座并安装在定位套中，所述定位套位于石英套管中，所述石英套管是直线筒型，所述热电偶安装接口是安装插口，石英套管竖直地插接于热电偶安装接口中并通过密封锁紧装置密封。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王刚，李瑞秋，吴雨强，高文良，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]