应用于晶圆盒自动封装设备中的封口模组制造技术

一种应用于晶圆盒自动封装设备中的封口模组，包括抽气机构、能够驱动所述抽气机构滑行的驱动装置以及与所述抽气机构配合的封口装置。所述抽气机构设有用以抽气的吸嘴，所述封口装置包括用以限位的压条以及用以封口的封刀。本发明专利技术实现了包装袋的自动化封口、解放了人力、提高了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
应用于晶圆盒自动封装设备中的封口模组
本专利技术涉及自动化领域，尤其是一种应用于晶圆盒自动封装设备中的封口模组。
技术介绍
前开式出货盒/全透明晶圆盒，可保护、运送、并储存晶圆，防止晶圆碰撞、摩擦，在运输传载及储存时提供安全防护，气密度佳，能预防微粒物质的产生。晶圆盒的具体结构一般包括收纳晶圆且尺寸较大的主体部以及凸露连接于主体部上方且尺寸较小的头部。晶圆在不同制造工厂间转移时，需要装入晶圆盒内并将晶圆盒用铝箔袋进行封装，以保证运输过程中的洁净度和湿度要求；同时还需要在晶圆盒上张贴标签进行标识，并需要将干燥剂、湿度卡等物料固定于晶圆盒上，保证晶圆存储、运输环境要求。目前主要是通过人工方式来完成上述操作，但是人工操作效率低，并且容易发生误贴漏贴、误放漏放等问题。其中，晶圆盒入袋后包装袋如何封口至关重要。因此，有必要提供一种新的应用于晶圆盒自动封装设备中的封口模组以解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种应用于晶圆盒自动封装设备中的封口模组，其具有晶圆盒入袋后自动化封口、解放人力、提高生产效率等优点。为实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：一种应用于晶圆盒自动封装设备中的封口模组，包括抽气机构、能够驱动所述抽气机构滑行的驱动装置以及与所述抽气机构配合的封口装置，所述抽气机构设有用以抽气的吸嘴，所述封口装置包括用以限位的压条以及用以封口的封刀。作为本专利技术进一步改进的技术方案，还设有第二框架，所述驱动装置包括固定于所述第二框架上的移动框架导轨副以及移动框架丝杠副，所述移动框架导轨副以及移动框架丝杠副能够带动所述抽气机构滑动。作为本专利技术进一步改进的技术方案，还包括第二移动框架，所述抽气机构固定于所述第二移动框架上，所述移动框架导轨副以及移动框架丝杠副能够带动所述第二移动框架滑动。作为本专利技术进一步改进的技术方案，还包括压条驱动单元，所述压条为一对，且一对所述压条能够在所述压条驱动单元的驱动下彼此相向移动和反向移动。作为本专利技术进一步改进的技术方案，还包括压条导轨副，所述压条滑动连接于压条导轨副上。作为本专利技术进一步改进的技术方案，还包括封刀驱动单元，所述封刀为一对，且一对所述封刀能够在所述封刀驱动单元的驱动下彼此相向移动和反向移动。作为本专利技术进一步改进的技术方案，还包括封刀导轨副，所述封刀滑动连接于封刀导轨副上。作为本专利技术进一步改进的技术方案，还包括抽气机构导轨副，所述抽气机构滑动连接于所述抽气机构导轨副上。作为本专利技术进一步改进的技术方案，还包括封边撸平机构，所述封边撸平机构位于包装平台上，所述封边撸平机构能够被驱动而将封边上折。相较于现有技术，本专利技术应用于晶圆盒自动封装设备中的封口模组，通过吸嘴、封刀以及压条三者的相互配合，所述吸嘴伸入装了盒的包装袋内，所述压条压住吸嘴和包装袋的靠近开口处使得吸嘴能够将包装袋内的空气抽走，所述封刀在吸嘴退出包装袋后将开口密封，从而实现了包装袋的自动化封口、解放了人力、提高了生产效率。附图说明图1为本专利技术应用在晶圆盒自动封装设备上的俯视图。图2为图1中进料平台的立体组合图。图3为图2的部分放大图。图4为图1中包装袋储放盒的立体组合图。图5为图1中取袋装置的立体组合图。图6为取袋装置的侧视图。图7为图1中包装平台的立体组合图。图8为晶圆盒放置于包装平台上的俯视图。图9为图1中入袋模组的立体组合图。图10为入袋模组的侧视图。图11为图1中封口模组的立体组合图。图12为封口模组的剖视图。图13为图1中整形旋转平台的立体组合图。图14为晶圆盒放置于整形旋转平台上的侧视图。图15为图1中放胶带卷机构组装在整形模组上的立体组合图。图16为图1中出料平台的立体组合图。图17为出料平台的俯视图。图18为第一搬运装置和第二搬运装置共用一套支撑框架和支撑导轨的示意图。图19为第一搬运装置的部分立体组合图。图20为第二搬运装置的部分立体组合图。图21为第三搬运装置的立体组合图。图22为第四搬运装置的立体组合图。具体实施方式请参考图1至图22，一种晶圆盒自动封装设备100，包括整机机架(未图示)以及安装于整机机架上的进料平台2、第一搬运装置3、包装袋储放盒4、入袋模组5、取袋装置6、包装平台7、封口模组8、第三搬运装置9、整形旋转平台10、整形模组11、标签打印机12、标签卷筒13、撕标签模组14、贴标机器人15、放胶带卷机构16、第二搬运装置17、出料平台18。请具体参考图2，所述进料平台2在晶圆盒200放置至准确位置后定位住晶圆盒200。所述进料平台2的结构是：包括底板21、轨道22、第一直线模组23、第一放置平台24、位置检测传感器25、产品信息识别传感器26以及限位机构27。所述底板21固定连接于整机机架上，所述轨道22和第一直线模组23固定于底板21上，所述第一放置平台24滑动连接支撑在轨道22和第一直线模组23上，所述位置检测传感器25、产品信息识别传感器26和限位机构27设置在第一放置平台24上。所述第一直线模组23与第一放置平台24连接从而驱动第一放置平台24运动，所述轨道22在相对于第一直线模组23的另一侧给与第一放置平台24以支撑导向作用。所述晶圆盒200的底部设有一个凹槽，所述限位机构27伸入晶圆盒200底部的凹槽后再旋转，用于将晶圆盒200定位在第一放置平台24上。本实施方式中，所述位置检测传感器25为三个、环设于限位机构27的周围且与电控中心电连接，用于检测晶圆盒200是否放置于正确的位置；所述产品信息识别传感器26为一个，设置于限位机构27的一侧且与电控中心电连接，用于检测晶圆盒200是否需要充氮气。请具体参考图18至20，所述第一搬运装置3(具体实施方式中为机械手)的底端设有第一夹爪机构31，所述第二搬运装置17(具体实施方式中为机械手)的底端设有第一托底机构171。第一夹爪机构31抓住晶圆盒200的头部，用于抓取晶圆盒200，即，所述第一搬运装置3是以抓住晶圆盒200头部的方式从进料平台2上将晶圆盒200搬运到入袋模组5上。第一托底机构171为左右对向设置的两个，即，所述第二搬运装置17是以托住晶圆盒200主体部的方式(类似我们用两只手抱一个盒子的样子)将晶圆盒200从封口模组8或整形旋转平台10搬运到出料平台18。在本专利技术的实施方式一中，如图18，所述第一搬运装置3和第二搬运装置17共用一套支撑框架201和支撑导轨202；在本专利技术未图示的实施方式二中，所述第一搬运装置3和第二搬运装置17也可以有各自独立的支撑框架201和支撑导轨202。请具体参考图4至图8，所述取袋装置6将包装袋储放盒4上的包装袋抓取至包装平台7上，所述包装平台7和所述取袋装置6一起将包装袋的上下两层拉开形成一个开口。所述取袋装置6包括第一抓取装置64(具体实施方式中为与真空系统相连的吸盘)，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的封口模组(8)，其特征在于：包括抽气机构(83)、能够驱动所述抽气机构(83)滑行的驱动装置以及与所述抽气机构(83)配合的封口装置，所述抽气机构(83)设有用以抽气的吸嘴(830)，所述封口装置包括用以限位的压条(861、862)以及用以封口的封刀(841、842)。/n

【技术特征摘要】
1.一种应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的封口模组(8)，其特征在于：包括抽气机构(83)、能够驱动所述抽气机构(83)滑行的驱动装置以及与所述抽气机构(83)配合的封口装置，所述抽气机构(83)设有用以抽气的吸嘴(830)，所述封口装置包括用以限位的压条(861、862)以及用以封口的封刀(841、842)。


2.根据权利要求1所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的封口模组(8)，其特征在于：还设有第二框架(81)，所述驱动装置包括固定于所述第二框架(81)上的移动框架导轨副(821)以及移动框架丝杠副(822)，所述移动框架导轨副(821)以及移动框架丝杠副(822)能够带动所述抽气机构(83)滑动。


3.根据权利要求2所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的封口模组(8)，其特征在于：还包括第二移动框架(82)，所述抽气机构(83)固定于所述第二移动框架(82)上，所述移动框架导轨副(821)以及移动框架丝杠副(822)能够带动所述第二移动框架(82)滑动。


4.根据权利要求1所述的应用于晶圆盒自动封装设备(100)中的封口模组(8)，其特征在于：还包括压条驱动单元(87)，所述压条(861、862)为一对，且一对所述压条(861、862)能够在所述压条...

【专利技术属性】
技术研发人员：周芸福，许所昌，王新征，龚炳建，黎微明，胡彬，
申请(专利权)人：江苏微导纳米科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32