一种中空平面台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种中空平面台，包括底板，所述底板上方滑动连接有X向板块，所述X向板块上方滑动连接有Y向板块，所述X向板块相对于所述底板做X方向直线运动，所述Y向板块相对于所述X向板块做Y方向直线运动；所述底板、所述X向板块、所述Y向板块中心处开有上下贯通的通孔。本实用新型专利技术将内部设置为中空结构，不仅降低了整体的重量，还能将额外部件安装在中空结构内，减小了占用面积，减小平面台受到的负载，本实用新型专利技术结构紧凑，体积小，使用方便。

【技术实现步骤摘要】
一种中空平面台
本技术涉及半导体工作平台，具体是一种中空平面台。
技术介绍
在半导体加工行业中，平面台是不可或缺的设备，目前使用的平面台一般是整个平面，而在一些特殊的场合下，需要将某一些部件设备与平面台组装在一起，如果直接将平面台和额外部件固定在一起，不仅增大了占用面积，还增加了平面台额外的负载，长久下来会磨损平面台，缩短平面台的使用寿命。
技术实现思路
为解决上述现有技术的缺陷，本技术提供一种中空平面台，本技术将内部设置为中空结构，不仅降低了整体的重量，还能将额外部件安装在中空结构内，减小了占用面积，减小平面台受到的负载，本技术结构紧凑，体积小，使用方便。为实现上述技术目的，本技术采用如下技术方案：一种中空平面台，包括底板，所述底板上方滑动连接有X向板块，所述X向板块上方滑动连接有Y向板块，所述X向板块相对于所述底板做X方向直线运动，所述Y向板块相对于所述X向板块做Y方向直线运动；所述底板包括底层平面板和凸板，所述凸板沿着所述X方向延伸；所述X向板块包括中层板，所述中层板的下端设有向下延伸的第一板，所述第一板沿本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种中空平面台，其特征在于：包括底板(1)，所述底板(1)上方滑动连接有X向板块(2)，所述X向板块(2)上方滑动连接有Y向板块(3)，所述X向板块(2)相对于所述底板(1)做X方向直线运动，所述Y向板块(3)相对于所述X向板块(2)做Y方向直线运动；/n所述底板(1)包括底层平面板(101)和凸板(102)，所述凸板(102)沿着所述X方向延伸；所述X向板块(2)包括中层板(201)，所述中层板(201)的下端设有向下延伸的第一板(202)，所述第一板(202)沿着所述X方向延伸，所述第一板(202)中心处开有凹槽，所述凸板(102)嵌入在所述凹槽内，所述凸板(102)外侧壁与所述第一板...

【技术特征摘要】
1.一种中空平面台，其特征在于：包括底板(1)，所述底板(1)上方滑动连接有X向板块(2)，所述X向板块(2)上方滑动连接有Y向板块(3)，所述X向板块(2)相对于所述底板(1)做X方向直线运动，所述Y向板块(3)相对于所述X向板块(2)做Y方向直线运动；
所述底板(1)包括底层平面板(101)和凸板(102)，所述凸板(102)沿着所述X方向延伸；所述X向板块(2)包括中层板(201)，所述中层板(201)的下端设有向下延伸的第一板(202)，所述第一板(202)沿着所述X方向延伸，所述第一板(202)中心处开有凹槽，所述凸板(102)嵌入在所述凹槽内，所述凸板(102)外侧壁与所述第一板(202)内侧壁之间安装有X向导轨(6)；所述凸板(102)内开设有第一槽道(103)，所述第一槽道(103)内固定有X向光栅尺(4)，所述第一板(202)下侧面固定有X向读数头(5)，所述X向读数头(5)与所述X向光栅尺(4)相互配合，所述X向读数头(5)位于所述槽道(103)内；所述底层平面板(101)与所述中层板(201)之间安装有X向电机(7)；
所述X向板块(2)的上侧面设有第二板(205)，所述第二板(205)沿着所述Y方向延伸；所述Y向板块(3)的下侧面延伸设有第三板(301)，所述第三板(301)中心处开有凹槽，所述第二板(205)嵌入在所述凹槽内，所述第二板(205)外侧壁与所述第三板(301)内侧壁之间安装有Y向导轨(14)；所述第二板(205)内开有第二槽道(204)，所述第二槽道(204...

【专利技术属性】
技术研发人员：许云飞，
申请(专利权)人：无锡地心科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32