一种用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，包括用于盛装金属粉末的料桶和吊装机构，所述料桶的底端连通一装料管，所述装料管的高度大于或等于待装粉的包套管的高度，所述吊装机构用于吊起所述料桶并驱动所述装料管沿所述包套管的延伸方向移动以调整所述装料管插入所述包套管内的深度，本实用新型专利技术既能显著提升装粉作业效率又可以提升产品质量。

【技术实现步骤摘要】
一种用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置
本技术属于PVD用靶材生产的
，具体涉及一种用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置。
技术介绍
物理气相沉积(PVD)技术是指在真空条件下，采用物理方法，将材料源—固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。物理气相沉积技术不仅可沉积金属膜、合金膜，还可以沉积化合物、陶瓷、半导体、聚合物膜等。PVD技术被广泛应用于航空航天、电子、光学、机械、建筑、轻工、冶金、材料等领域，可制备具有耐磨、耐腐蚀、装饰、导电、绝缘、光导、压电、磁性、润滑、超导等特性的膜层。常见PVD用靶材有Cr靶、Ti靶、Al靶等纯金属靶以及CrAl、TiAl等合金靶材。热等静压(HotIsostaticPressing，简称HIP)工艺是将制品放置到密闭的容器中，向制品施加各向同等的压力，同时施以高温，在高温高压的作用下，制品得以烧结和致密化。热等静压是高性能材料生产和新材料开发不可或缺的手段。热等静压可以直接粉末成型，即将粉末装入金属或陶瓷制作的包套中，然后使用氮气、氩气作加压介质，使粉末直接加热加压烧结成型的粉末冶金工艺。目前，PVD镀膜用Cr靶主要通过热等静压的成型方式生产，首先根据靶的不同尺寸设计不同大小的包套管，然后将Cr粉装入制作好的包套管中，再将装有Cr粉的包套管真空脱气、密封，最后将脱气后的包套管通过热等静压机高温高压烧结成Cr锭坯。在上述成型方式中，将“Cr粉装入包套管中”这一工序对Cr靶的生产效率和产品质量至关重要，这一过程既需要保证装粉量足够多，又要保证装粉过程中不会引入杂质、异物等。而目前，行业内的装粉操作仅仅依靠不锈钢铲，生产效率低，而且容易引入杂质等，产品质量亦无法保证。特别是对于长径比较大的包套管，其装粉难度更高，这是因为在装粉过程中，不仅需要充分排出包套管里面的空气以充填更多的Cr粉，同时又要保证较高的装粉效率以降低企业的生产成本。因此，亟需专用的装粉装置来解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服现有技术中Cr粉的装粉过程效率低、容易引入杂质等问题，而提出一种用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置。为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，包括用于盛装金属粉末的料桶和吊装机构，所述料桶的底端连通一装料管，所述装料管的高度大于或等于待装粉的包套管的高度，所述吊装机构用于吊起所述料桶并驱动所述装料管沿所述包套管的延伸方向移动以调整所述装料管插入所述包套管内的深度。如上所述的用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，优选地，还包括防尘桶盖，所述防尘桶盖盖设于所述料桶的顶端。如上所述的用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，优选地，所述料桶、防尘桶盖和装料管均采用不锈钢制作而成，且所述料桶和装料管的内壁均经过抛光处理。如上所述的用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，优选地，所述料桶的底端还设有阀门，所述阀门用于控制所述装料管的通断。如上所述的用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，优选地，所述阀门为球阀。如上所述的用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，优选地，所述吊装机构包括吊板，所述吊板位于所述料桶的上方，所述吊板的底端对称设有吊钩，所述料桶的外壁对称设有挂耳，所述吊钩与所述挂耳上下对应设置，且所述吊钩与所述挂耳相勾挂连接。如上所述的用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，优选地，所述吊装机构还包括行车。如上所述的用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，优选地，所述吊板呈倒置的V形，且所述吊板的顶部设有用于与行车相连接的通孔。如上所述的用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，优选地，所述料桶主体呈圆柱状，且所述料桶设有圆锥状的底部。如上所述的用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，优选地，所述装料管的顶部与所述料桶的底部通过螺纹连接。与最接近的现有技术相比，本技术提供的技术方案具有如下有益效果：(1)本技术提供了一种专用的装粉装置，相比于现有技术中使用不锈钢铲装粉的方式，装粉效率显著提高，且大大降低了装粉的劳动强度，另一方面，由于人力介入较少，且金属粉末盛装于设有防尘桶盖的料桶内，也能进一步降低装粉过程中金属粉末被污染的风险，因此本技术大大降低了装粉的劳动强度，既能显著提升装粉作业效率又可以提升产品质量；(2)本技术设置了吊装机构，吊装机构用于逐步向上吊升料桶和装料管：在装粉过程中，装料管首先伸入到包套管的底端，随着包套管内粉料逐渐增加，装料管随着吊装机构逐步上升，使得装料管的底面始终稍高于粉料的顶面，这有利于排出包套管内的空气，既避免了空气残留，也解决了扬尘污染；为此，本技术的装料管可根据锭坯高度(即包套管高度)调整高度尺寸，且装料管的高度要求是大于等于包套管的高度；(3)本技术不仅能够用于Cr粉的装填，同时也可用于其它HIP粉末的包套装填。附图说明图1为本技术实施例装粉装置的主视图；图2为本技术实施例装粉装置的左视图；图3为本技术实施例装粉装置的右视图；图4为本技术实施例装粉装置的仰视图；图5为本技术实施例装粉装置的立体图。图中：1、吊板；2、防尘桶盖；3、吊钩；4、料桶；5、装料管；6、阀门；7、挂耳；8、通孔。具体实施方式下面将对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在本技术的描述中，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术而不是要求本技术必须以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。本技术中使用的术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是直接相连，也可以通过中间部件间接相连，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。根据本技术的实施例，提供了一种用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，包括用于盛装金属粉末的料桶4和吊装机构，所述料桶4的底端连通一装料管5，所述装料管5的高度根据包套管的高度灵活调整，且所述装料管5的高度大于或等于待装粉的包套管的高度，所述吊装机构用于吊起所述料桶4并同步驱动所述装料管5沿所述包套管的延伸方向移动以调整所述装料管插入所述包套管内的深度；包套管通常为回旋体状的筒体，例如圆管形式或方管形式的包套管，在装粉时，将包套管竖直放置于料桶4的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，其特征在于：包括用于盛装金属粉末的料桶和吊装机构，所述料桶的底端连通有装料管，所述装料管的高度大于或等于待装粉的包套管的高度，所述吊装机构用于吊起所述料桶并驱动所述装料管沿所述包套管的延伸方向移动以调整所述装料管插入所述包套管内的深度。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，其特征在于：包括用于盛装金属粉末的料桶和吊装机构，所述料桶的底端连通有装料管，所述装料管的高度大于或等于待装粉的包套管的高度，所述吊装机构用于吊起所述料桶并驱动所述装料管沿所述包套管的延伸方向移动以调整所述装料管插入所述包套管内的深度。


2.如权利要求1所述的用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，其特征在于：还包括防尘桶盖，所述防尘桶盖盖设于所述料桶的顶端。


3.如权利要求2所述的用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，其特征在于：所述料桶、防尘桶盖和装料管均采用不锈钢制作而成，且所述料桶和装料管的内壁均经过抛光处理。


4.如权利要求1所述的用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，其特征在于：所述料桶的底端还设有阀门，所述阀门用于控制所述装料管的通断。


5.如权利要求4所述的用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：张凤戈，岳万祥，魏铁峰，史建有，
申请(专利权)人：北京安泰六九新材料科技有限公司，涿州安泰六九新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11