下载一种用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置的技术资料

文档序号:25264960

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本实用新型提供一种用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置,包括用于盛装金属粉末的料桶和吊装机构,所述料桶的底端连通一装料管,所述装料管的高度大于或等于待装粉的包套管的高度,所述吊装机构用于吊起所述料桶并驱动所述装料管沿所述包套管的延伸方向移动以...
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