用于直拉晶体生长的合成衬里坩埚组件制造技术

公开一种制造具有外壳和衬里的坩埚组件的方法。所述方法包含使用铸浆工艺形成所述外壳。所述外壳包含二氧化硅，且具有内表面和外表面。所述方法还包含在所述外壳的所述内表面上形成所述衬里。所述衬里由合成二氧化硅形成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于直拉晶体生长的合成衬里坩埚组件相关申请案的交叉引用本申请案要求2017年12月29日申请的美国临时专利申请案第62/611,758号的权益，所述申请案全文以引用的方式并入本文中。
本公开大体上涉及用于生产太阳能级或半导体材料的锭的系统和方法，且更具体地说，涉及包含用于这种系统和方法中的合成衬里的坩埚组件。
技术介绍
晶体硅太阳能电池目前占光伏(PV)模块的总供应量的大部分。在标准直拉(CZ)方法中，首先使多晶硅在坩埚(如石英坩埚)中熔融，以形成硅熔体。随后将具有预定定向的籽晶降低到与熔体接触，且缓慢撤离。通过控制温度，籽晶-熔体界面处的硅熔体以与籽晶相同的定向固化在籽晶上。籽晶随后由熔体缓慢长出以形成一个生长晶锭。在称为批量CZ(BCZ)的传统CZ工艺中，在工艺开始时使生长硅锭所需的全部量的装料材料熔融，从单个坩埚装料中拉动晶体以基本上耗尽坩埚，且随后丢弃石英坩埚。以经济方式在一个熔炉循环中为多次拉动补充石英坩埚的另一种方法是连续CZ(CCZ)。在CCZ中，随着晶体生长，将固体或液体原料连续或周期性地添加到熔体中，且因此使熔本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制造具有外壳和衬里的坩埚组件的方法，所述方法包括：/n使用铸浆工艺形成所述外壳，所述外壳包含二氧化硅，且具有内部表面和外部表面；/n在所述外壳的所述内表面上形成所述衬里，所述衬里由合成二氧化硅形成。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171229 US 62/611,7581.一种制造具有外壳和衬里的坩埚组件的方法，所述方法包括：
使用铸浆工艺形成所述外壳，所述外壳包含二氧化硅，且具有内部表面和外部表面；
在所述外壳的所述内表面上形成所述衬里，所述衬里由合成二氧化硅形成。


2.根据权利要求1所述的方法，其中所述铸造工艺是注浆铸造工艺。


3.根据权利要求2所述的方法，其中所述注浆铸造工艺包含：
将熔凝二氧化硅、水、分散剂以及粘合剂混合以形成浆料；
将所述浆料浇铸到模具中；
干燥所述浆料；
从干燥浆料中移除所述模具以形成生坯；以及
烧制所述生坯。


4.根据权利要求3所述的方法，其中烧制所述生坯包含在高温下烧结所述生坯。


5.根据权利要求3所述的方法，其中所述模具包含熟石膏。


6.根据权利要求3所述的方法，其中干燥所述浆料包含真空干燥所述浆料。


7.根据权利要求1所述的方法，在所述外壳的所述内表面上形成所述衬里包含通过热喷涂工艺在所述外壳的所述内表面上形成所述衬里，所述热喷涂工艺包含在高温下在所述外壳的所述内表面上喷涂合成二氧化硅。


8.根据权利要求7所述的方法，其中所述热喷涂工艺包含：
熔融所述合成二氧化硅以形成所述合成二氧化硅的熔融颗粒；
使用加速介质将所述合成二氧化硅的所述熔融颗粒朝向所述外壳加速；
使用喷炬朝向所述外壳的所述内表面喷涂所述合成二氧化硅和所述加速介质的所述熔融颗粒；
在所述外壳的所述内表面上形成所述合成二氧化硅的涂层；以及
将合成二氧化硅的所述涂层粘合到所述外壳上以形成所述衬里。


9.根据权利要求8所述的方...

【专利技术属性】
技术研发人员：乔塞夫·康拉德·霍兹尔，阿拉斯·玛蒂札德赫·德荷克迪，
申请(专利权)人：各星有限公司，
类型：发明
国别省市：中国香港;81