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公开一种制造具有外壳和衬里的坩埚组件的方法。所述方法包含使用铸浆工艺形成所述外壳。所述外壳包含二氧化硅，且具有内表面和外表面。所述方法还包含在所述外壳的所述内表面上形成所述衬里。所述衬里由合成二氧化硅形成。...
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