清洗部件安装部、清洗部件组件以及基板清洗装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种清洗部件安装部、清洗部件组件以及基板清洗装置，在清洗部件安装部(10)的表面安装有清洗部件(90)。清洗部件安装部(10)具有：主体(20)；清洗液导入部(30)，该清洗液导入部在所述主体(20)的内部延伸；以及多个清洗液供给孔(40)，该多个清洗液供给孔与所述清洗液导入部(30)连通。所述清洗液导入部(30)构成为所述清洗液从第一端部(11)侧流入，位于与所述第一端部(11)相反一侧的第二端部(12)侧的第二区域中的所述清洗液供给孔所(40)占据的所述主体(20)的表面的面积比大于位于所述第一端部(11)侧的第一区域中的所述清洗液供给孔(40)所占据的所述主体(20)的表面的面积比。

【技术实现步骤摘要】
清洗部件安装部、清洗部件组件以及基板清洗装置
本专利技术涉及一种在向清洗部件的内部供给清洗液的方式中使用的清洗部件安装部、使用了这样的清洗部件安装部的清洗部件组件以及基板清洗装置。本申请针对2019年2月4日申请的日本专利申请特愿2019-17549号主张优先权，并且将其所有的内容作为参照编入本申请。
技术介绍
以往，已知向辊等清洗部件的内部供给冲洗液(内部冲洗液)的技术。在日本特开2000-301079号公报中，公开了如下内容：具有基板保持部、清洗工具和清洗工具保持部，该基板保持部使基板旋转且保持基板，该清洗工具对基板的被清洗面进行擦洗，清洗工具保持部将清洗工具保持为可绕其轴线进行旋转，向清洗工具内供给内部冲洗液。专利技术所要解决的技术问题即使供给这样的内部冲洗液，有时也有如下情况：在清洗工具的长度方向上，从清洗工具的海绵排出的冲洗液的量产生不均匀。另外，即使以例如450ml/min的供给量供给内部冲洗液，有时内部冲洗液也不会从清洗工具的海绵排出，而是在清洗工具内逆流从而不经过海绵就流出。
技术实现思路
本专利技术提供一种清洗部件安装部等，抑制供给到清洗部件的内部的清洗液从清洗部件排出的排出量的不均匀，并且防止被供给的清洗液不经过清洗部件就流出的情况。用于解决技术问题的手段[概念1]本专利技术的清洗部件安装部为在表面安装有清洗部件的清洗部件安装部，具备：主体；清洗液导入部，该清洗液导入部在所述主体的内部延伸；以及多个清洗液供给孔，该多个清洗液供给孔与所述清洗液导入部连通，所述清洗液导入部构成为所述清洗液从第一端部侧流入，位于与所述第一端部相反一侧的第二端部侧的第二区域中的所述清洗液供给孔所占据的所述主体的表面的面积比也可以大于位于所述第一端部侧的第一区域中的所述清洗液供给孔所占据的所述主体的表面的面积比。此外，在此所述的“面积比”是指相对于规定区域的面积的总和，存在于该区域内的多个开口部的平均面积的总和所占据的比例(也称为开口比例)，该“平均面积”是指清洗液从清洗液导入部经过清洗液供给孔向清洗部件流出时的流路的平均截面积。[概念2]在本专利技术的概念1的清洗部件安装部中，也可以是，所述第二区域中的所述清洗液供给孔的横截面积大于所述第一区域中的所述清洗液供给孔的横截面积。[概念3]在本专利技术的概念1或2的清洗部件安装部中，也可以是，在所述第一区域与所述第二区域之间设有第三区域，所述第三区域中的所述清洗液供给孔所占据的所述主体的表面的面积比大于所述第一区域中的所述清洗液供给孔所占据的所述主体的表面的面积比，且小于所述第二区域中的所述清洗液供给孔所占据的所述主体的表面的面积比。[概念4]在本专利技术的概念3的清洗部件安装部中，也可以是，在所述第三区域与所述第一区域之间设有第四区域，所述第四区域中的所述清洗液供给孔所占据的所述主体的表面的面积比大于所述第一区域中的所述清洗液供给孔所占据的所述主体的表面的面积比，且小于所述第三区域中的所述清洗液供给孔所占据的所述主体的表面的面积比。[概念5]在本专利技术的概念4的清洗部件安装部中，也可以是，所述第四区域中的所述清洗液供给孔的横截面积大于所述第一区域中的所述清洗液供给孔的横截面积，所述第三区域中的所述清洗液供给孔的横截面积大于所述第四区域中的所述清洗液供给孔的横截面积，且小于所述第二区域中的所述清洗液供给孔的横截面积。[概念6]在本专利技术的概念1至5中任一项的清洗部件安装部中，也可以是，在所述主体的内部延伸的清洗液导入部的横截面积与所述第二区域中的所述清洗液供给孔的横截面积对应。[概念7]在本专利技术的概念1至6中任一项的清洗部件安装部中，也可以是，所述第二区域中的所述清洗液供给孔的长度方向上的间距宽度小于所述第一区域中的所述清洗液供给孔的长度方向上的间距宽度。[概念8]在本专利技术的概念1至7中任一项的清洗部件安装部中，也可以是，在所述第二区域中，所述清洗液供给孔在沿着长度方向的相同的位置处设有多个，所述第二区域中的沿着长度方向的相同的位置处的所述清洗液供给孔的数量比所述第一区域中的沿着长度方向的相同的位置处的所述清洗液供给孔的数量多。[概念9]在本专利技术的概念8的清洗部件安装部中，也可以是，在沿着轴向观察时，所述第二区域中的沿着长度方向的相同的位置处的所述清洗液供给孔以大致90度的间隔配置，在沿着轴向观察时，所述第一区域中的沿着长度方向的相同的位置处的所述清洗液供给孔以大致180度的间隔配置。[概念10]本专利技术的清洗部件组件也可以具备：本专利技术设为概念1至9中的任一项的清洗部件安装部；以及清洗部件，该清洗部件设置于所述清洗部件安装部的表面。[概念11]本专利技术的基板清洗装置也可以具备：基板支承部，该基板支承部用于保持基板；清洗部件组件，该清洗部件组件具有本专利技术的概念1至9中的任一项的清洗部件安装部和设置于所述清洗部件安装部的表面的清洗部件；以及清洗部件保持部，该清洗部件保持部保持所述清洗部件组件。[概念12]也可以是，本专利技术的清洗部件组件具备：组件主体；以及多个结节，该多个结节从所述组件主体向外突出，所述组件主体具有：孔隙，该孔隙在所述组件主体的内部延伸；以及多个清洗液供给孔，该多个清洗液供给孔与所述孔隙连通，并且朝向所述组件主体或所述结节排出清洗液，所述孔隙构成为所述洗浄液从第一端部侧流入，位于与所述第一端部相反一侧的第二端部侧的第二区域中的所述清洗液供给孔所占据的所述主体的表面的面积比大于位于所述第一端部侧的第一区域中的所述清洗液供给孔所占据的所述主体的表面的面积比。在本专利技术的概念12的清洗部件组件的一实施方式中，也可以是，所述组件主体构成为在该组件主体的内部延伸的具有孔隙的长条状的芯部与覆盖芯部外表面的多孔质的清洗层与芯部形成为一体，并且由多孔质的物质形成的多个结节向外突出，该多孔质的物质由与清洗层相同的材质构成。[概念13]在本专利技术的概念12的清洗部件组件中，也可以是，所述结节通过成形于所述组件主体而形成。专利技术效果在本专利技术中，在采用第二区域中的清洗液供给孔所占据的主体的表面的面积比大于位于第一端部侧的第一区域中的清洗液供给孔所占据的主体的表面的面积比的方式的情况下，能够抑制从清洗部件排出的清洗液的排出量的不均匀。另外，能够防止所供给的内部冲洗液这样的清洗液流出到从动部侧。附图说明图1是表示可在本专利技术的第一实施方式中使用的清洗部件保持部的一例的立体图。图2是表示可在本专利技术的第一实施方式中使用的基板清洗装置的立体图。图3是可在本专利技术的第一实施方式中使用的清洗部件组件的立本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种清洗部件安装部，在所述清洗部件安装部的表面安装有清洗部件，其特征在于，具备：/n主体；/n清洗液导入部，该清洗液导入部在所述主体的内部延伸；以及/n多个清洗液供给孔，该多个清洗液供给孔与所述清洗液导入部连通，/n所述清洗液导入部构成为所述清洗液从第一端部侧流入，/n位于与所述第一端部相反一侧的第二端部侧的第二区域中的所述清洗液供给孔所占据的所述主体的表面的面积比大于位于所述第一端部侧的第一区域中的所述清洗液供给孔所占据的所述主体的表面的面积比。/n

【技术特征摘要】
20190204 JP 2019-0175491.一种清洗部件安装部，在所述清洗部件安装部的表面安装有清洗部件，其特征在于，具备：
主体；
清洗液导入部，该清洗液导入部在所述主体的内部延伸；以及
多个清洗液供给孔，该多个清洗液供给孔与所述清洗液导入部连通，
所述清洗液导入部构成为所述清洗液从第一端部侧流入，
位于与所述第一端部相反一侧的第二端部侧的第二区域中的所述清洗液供给孔所占据的所述主体的表面的面积比大于位于所述第一端部侧的第一区域中的所述清洗液供给孔所占据的所述主体的表面的面积比。


2.如权利要求1所述的清洗部件安装部，其特征在于，
所述第二区域中的所述清洗液供给孔的横截面积大于所述第一区域中的所述清洗液供给孔的横截面积。


3.如权利要求1所述的清洗部件安装部，其特征在于，
在所述第一区域与所述第二区域之间设有第三区域，
所述第三区域中的所述清洗液供给孔所占据的所述主体的表面的面积比大于所述第一区域中的所述清洗液供给孔所占据的所述主体的表面的面积比，且小于所述第二区域中的所述清洗液供给孔所占据的所述主体的表面的面积比。


4.如权利要求3所述的清洗部件安装部，其特征在于，
在所述第三区域与所述第一区域之间设有第四区域，
所述第四区域中的所述清洗液供给孔所占据的所述主体的表面的面积比大于所述第一区域中的所述清洗液供给孔所占据的所述主体的表面的面积比，且小于所述第三区域中的所述清洗液供给孔所占据的所述主体的表面的面积比。


5.如权利要求4所述的清洗部件安装部，其特征在于，
所述第四区域中的所述清洗液供给孔的横截面积大于所述第一区域中的所述清洗液供给孔的横截面积，
所述第三区域中的所述清洗液供给孔的横截面积大于所述第四区域中的所述清洗液供给孔的横截面积，且小于所述第二区域中的所述清洗液供给孔的横截面积。


6.如权利要求1所述的清洗部件安装部，其特征在于，
在所述主体的内部延伸的清洗液导入部的横截面积与所述第二区域中的所述清洗液供给孔的横截面积对应。

【专利技术属性】
技术研发人员：鱼住修司，丸山徹，本岛靖之，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP