电池片镀膜设备和电池片镀膜方法技术

本发明专利技术提出了一种电池片镀膜设备和电池片镀膜方法，其中，电池片镀膜设备包括：多个真空腔体；多个真空门阀，相邻的两个真空腔体之间通过一个真空门阀相连；运料装置，用于向真空腔体内输入电池片或从真空腔体内运出电池片；载板，可流转地设于多个真空腔体内，载板用于承载电池片；第一电池片升降机构，用于在运料装置和载板之间传输电池片；第一传输装置，每个真空腔体内设有第一传输装置，其中，第一传输装置用于在多个真空腔体之间传输载板和/或传输运料装置。通过本发明专利技术的技术方案，减少了载板和大气的接触，有利于保持载板温度的稳定性和减少水气、杂质的积累，从而可以提升电池片温度的稳定性和洁净度，进而提升电池片的工艺处理效果。

【技术实现步骤摘要】
电池片镀膜设备和电池片镀膜方法
本专利技术涉及电池片镀膜
，具体而言，涉及一种电池片镀膜设备和一种电池片镀膜方法。
技术介绍
传统PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，等离子体增强化学的气相沉积法)镀膜设备中，承载电池片的载板需要频繁进入真空腔体或大气环境，这会使载板的温度不断波动而导致电池片温度很难控制，同时载板频繁暴露在空气中，也容易附着水气和杂质累积，从而污染电池片；电池片的污染和温度的不均匀不稳定，最终会对电池片的工艺效果产生很大影响。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种电池片镀膜设备。本专利技术的另一个目的在于提供一种电池片镀膜方法。为了实现上述目的，本专利技术第一方面的技术方案提供了一种电池片镀膜设备，包括：多个真空腔体；多个真空门阀，相邻的两个真空腔体之间通过一个真空门阀相连；运料装置，用于向真空腔体内输入电池片或从真空腔体内运出电池片；载板，可流转地设于多个真空腔体内，载板用于承载电池片；电池片升降装置，用于在运料装置和载板之间传输电池片；第一传输装置，每个真空腔体内设有第一传输装置，其中，第一传输装置用于在多个真空腔体之间传输载板和/或传输运料装置。在该技术方案中，通过设置多个真空腔体，并设置运料装置向真空腔体内输入电池片或从真空腔体内运出电池片，而载板通过第一传输装置可流转地设于真空腔体内，即载板可以始终留在真空腔体内，不需要进入大气环境中，有利于载板保持较为稳定的温度，还可以避免因为暴露在空气中而附着水气和杂质，从而有利于电池片温度的控制，减少电池片受到的污染，进而提升电池片的工艺处理效果和加工质量；可以理解，第一传输装置用于传输载板，使载板能够在不同的真空腔体之间流转，以便电池片进行不同的工艺处理。在上述技术方案中，多个真空腔体包括：相互连接的第一真空腔体和第二真空腔体，第一真空腔体远离第二真空腔体的一端设有第一大气门阀；第一大气门阀开启，以供运料装置出入第一真空腔体；第一大气门阀关闭，以供第一真空腔体内进行抽真空；运料装置可通过第一传输装置在第一真空腔体和第二真空腔体之间往复运动。在上述技术方案中，第二真空腔体内的第一传输装置可伸缩地设置；电池片升降装置包括第一电池片升降机构，设于第二真空腔体内；第二真空腔体内还设有第一载板顶升机构，第一载板顶升机构用于升降载板。在上述技术方案中，第一电池片升降机构上设有多个升降立柱；载板上设有通孔，通孔用于避让升降立柱。在上述任一项技术方案中，多个真空腔体还包括：第三真空腔体和过渡真空腔体，第三真空腔体的一端与第二真空腔体连接，第三真空腔体的另一端与过渡真空腔体连接，第三真空腔体用于电池片进行第一工序；第三真空腔体内还设有第一加热器和第一加热器顶升机构，第一加热器用于加热载板，第一加热器顶升机构用于顶升第一加热器，且第一加热器和第一传输装置错位设置；载板通过第一传输装置，从第二真空腔体运动至第三真空腔体内，并在第三真空腔体内完成电池片的第一工序之后，再通过第一传输装置运动至过渡真空腔体内。在上述技术方案中，多个真空腔体还包括：第四真空腔体，与过渡真空腔体连接，第四真空腔体用于电池片执行第二工序；第四真空腔体内还设有第二加热器和第二加热器顶升机构，第二加热器用于加热载板，第二加热器顶升机构用于顶升第二加热器，且第二加热器和第一传输装置错位设置；载板通过第一传输装置从过渡真空腔体运动至第四真空腔体内。在上述技术方案中，多个真空腔体还包括：第五真空腔体，与第四真空腔体连接；第五真空腔体内可伸缩地设有第一传输装置，载板通过第一传输装置从第四真空腔体运动至第五真空腔体内；电池片升降装置还包括第二电池片升降机构，设于第五真空腔体内，第二电池片升降机构上设有升降立柱；第五真空腔体内还设有第二载板顶升机构，第二载板顶升机构用于升降载板；运料装置还通过第一传输装置出入第五真空腔体；第二电池片升降机构用于在运料装置和载板之间传输加工完成的电池片。在上述技术方案中，多个真空腔体还包括：第六真空腔体，与第五真空腔体连接，第六真空腔体远离第五真空腔体的一端设有一个第二大气门阀；运料装置可通过第一传输装置在第五真空腔体和第六真空腔体之间往复运动，运料装置还通过第二大气门阀的开启出入第六真空腔体。在上述任一项技术方案中，电池片镀膜设备还包括：第二传输装置，设于多个真空腔体内，第二传输装置与第一传输装置错位设置，且第二传输装置用于传输空载的载板。本专利技术第二方面的技术方案提供了一种电池片镀膜方法，用于上述第一方面中任一项技术方案的电池片镀膜设备，包括：获取电池片镀膜指令；根据电池片镀膜指令，开启第一大气门阀，控制运料装置运载电池片进入第一真空腔体；关闭第一真空腔体的第一大气门阀，抽真空后，开启第一真空腔体和第二真空腔体之间的真空门阀；控制第一传输装置将运料装置送入第二真空腔体；控制第二真空腔体内的第一电池片升降机构上升，取下运料装置上的电池片；控制一传输装置将运料装置送回第一真空腔体，并关闭真空门阀，开启第一大气门阀，送出运料装置；控制第一电池片升降机构下降，并控制第一载板顶升机构带动载板上升，使第一电池片升降机构上的电池片落至载板上；控制第二真空腔体内的第一传输装置避让载板，并控制第一载板顶升机构带动载板上升至第一传输装置上方；控制第二真空腔体内的第一传输装置复位，并将带有电池片的载板送入第三真空腔体；控制第三真空腔体内的第一加热器顶升机构上升，带动载板上升至第一预设高度，执行第一工序；完成第一工序之后，控制第一加热器顶升机构下降，使载板落在第一传输装置上；控制第一传输装置将载板经过渡真空腔体送入第四真空腔体；控制第四真空腔体内的第二加热器顶升机构上升，带动载板上升至第二预设高度，执行第二工序；完成第二工序之后，控制第二加热器顶升机构下降，使载板落在第一传输装置上；控制第一传输装置将载板送入第五真空腔体；控制第二电池片升降机构上升，顶起载板上的电池片；控制第二载板顶升机构上升，承接载板后下降，并控制第五真空腔体内的第一传输装置避让载板，使载板落至第一传输装置下方的第二传输装置上；控制第二传输装置将空载的载板经第四真空腔体、过渡真空腔体、第三真空腔体，回到第二真空腔体内；控制第五真空腔体内的第一传输装置复位，将空载的运料装置从第六真空腔体送入第五真空腔体；控制空载的运料装置取下第二电池片升降机构顶起的电池片；控制第一传输装置将载有电池片的运料装置送入第六真空腔体；控制第五真空腔体和第六真空腔体之间的真空门阀关闭，开启第二大气门阀，将运料装置送出第六真空腔体。在该技术方案中，通过采用运料装置在大气环境和真空腔体之间运输电池片，载板带着电池片在各个真空腔体之间流转，并在电池片镀膜完成后，还可以反向流转，承接待加工的电池片，使载板不需要和外界的空气接触，一直在真空环境中流转，这样有利于保持载板温度的稳定性和和清洁度，从而有利于保持载板上的电池片的温度稳定性和清洁度，有利于提升电池片的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电池片镀膜设备，其特征在于，包括：/n多个真空腔体；/n多个真空门阀，相邻的两个所述真空腔体之间通过一个所述真空门阀相连；/n运料装置，用于向所述真空腔体内输入电池片或从所述真空腔体内运出电池片；/n载板，可流转地设于多个所述真空腔体内，所述载板用于承载所述电池片；/n电池片升降装置，用于在所述运料装置和所述载板之间传输所述电池片；/n第一传输装置，每个所述真空腔体内设有所述第一传输装置，/n其中，所述第一传输装置用于在多个所述真空腔体之间传输所述载板和/或传输所述运料装置。/n

【技术特征摘要】
1.一种电池片镀膜设备，其特征在于，包括：
多个真空腔体；
多个真空门阀，相邻的两个所述真空腔体之间通过一个所述真空门阀相连；
运料装置，用于向所述真空腔体内输入电池片或从所述真空腔体内运出电池片；
载板，可流转地设于多个所述真空腔体内，所述载板用于承载所述电池片；
电池片升降装置，用于在所述运料装置和所述载板之间传输所述电池片；
第一传输装置，每个所述真空腔体内设有所述第一传输装置，
其中，所述第一传输装置用于在多个所述真空腔体之间传输所述载板和/或传输所述运料装置。


2.根据权利要求1所述的电池片镀膜设备，其特征在于，
所述多个真空腔体包括：相互连接的第一真空腔体和第二真空腔体，所述第一真空腔体远离所述第二真空腔体的一端设有第一大气门阀；
所述第一大气门阀开启，以供所述运料装置出入所述第一真空腔体；
所述第一大气门阀关闭，以供所述第一真空腔体内进行抽真空；
所述运料装置可通过所述第一传输装置在所述第一真空腔体和所述第二真空腔体之间往复运动。


3.根据权利要求2所述的电池片镀膜设备，其特征在于，
所述第二真空腔体内的所述第一传输装置可伸缩地设置；
所述电池片升降装置包括第一电池片升降机构，设于所述第二真空腔体内；
所述第二真空腔体内还设有第一载板顶升机构，所述第一载板顶升机构用于升降所述载板。


4.根据权利要求3所述的电池片镀膜设备，其特征在于，
所述第一电池片升降机构上设有多个升降立柱；
所述载板上设有通孔，所述通孔用于避让所述升降立柱。


5.根据权利要求3或4所述的电池片镀膜设备，其特征在于，
所述多个真空腔体还包括：第三真空腔体和过渡真空腔体，所述第三真空腔体的一端与所述第二真空腔体连接，所述第三真空腔体的另一端与所述过渡真空腔体连接，所述第三真空腔体用于所述电池片进行第一工序；
所述第三真空腔体内还设有第一加热器和第一加热器顶升机构，所述第一加热器用于加热所述载板，所述第一加热器顶升机构用于顶升所述第一加热器，且所述第一加热器和所述第一传输装置错位设置；
所述载板通过所述第一传输装置，从所述第二真空腔体运动至所述第三真空腔体内，并在所述第三真空腔体内完成所述电池片的第一工序之后，再通过所述第一传输装置运动至所述过渡真空腔体内。


6.根据权利要求5所述的电池片镀膜设备，其特征在于，
所述多个真空腔体还包括：第四真空腔体，与所述过渡真空腔体连接，所述第四真空腔体用于所述电池片执行第二工序；
所述第四真空腔体内还设有第二加热器和第二加热器顶升机构，所述第二加热器用于加热所述载板，所述第二加热器顶升机构用于顶升所述第二加热器，且所述第二加热器和所述第一传输装置错位设置；
所述载板通过所述第一传输装置从所述过渡真空腔体运动至所述第四真空腔体内。


7.根据权利要求6所述的电池片镀膜设备，其特征在于，
所述多个真空腔体还包括：第五真空腔体，与所述第四真空腔体连接；
所述第五真空腔体内可伸缩地设有所述第一传输装置，载板通过所述第一传输装置从所述第四真空腔体运动至所述第五真空腔体内；
所述电池片升降装置还包括第二电池片升降机构，设于所述第五真空腔体内，所述第二电池片升降机构上设有升降立柱；
所述第五真空腔体内还设有第二载板顶升机构，所述第二载板顶...

【专利技术属性】
技术研发人员：李时俊，梁建军，朱海剑，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44