【技术实现步骤摘要】
高效原子沉积层镀膜设备自动上下料系统
本专利技术涉及一种自动上下料系统，尤其涉及一种高效原子沉积层镀膜设备自动上下料系统。属于真空镀膜
技术介绍
高效晶硅电池是光伏产业的一个重要发展趋势。为最大限度增加晶硅电池的光电转换效率，晶硅电池表面钝化工艺是高效电池制造的必要手段之一。并且随着电池生产技术的进一步提高在不断改进和提高。原子层沉积(Atomiclayerdeposition，ALD)技术是一个以表面化学气相反应为基础的薄膜沉积技术。它通过将两种以上的化学气体前驱物分开导入反应腔，使得每一种前驱物在基地表面分别发生充分饱和的表面化学反应，其间对饱和表面反应后的气相反应产物及未反应的气体吹扫干净，因此可以将物质以单原子膜形式镀在基底表面，并对所沉积的薄膜的厚度及均匀度精确控制在原子层厚度范围内。有别于传统的薄膜沉积技术，例如物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition,PVD)、化学气相沉积(ChemicalVaporDeposition)等，ALD在非平面复杂结构及三维结构表面可形成高质量...
【技术保护点】
1.一种高效原子沉积层镀膜设备自动上下料系统，包括机架和腔室，所述腔室设置于机架中间，其特征在于：在所述机架一侧安装有用于上下料镀膜电池片的第一垂直模组，在位于腔室入口处设置有用于将镀膜电池片送入或送出腔室的第二垂直模组；/n在所述第二垂直模组两侧的机架上分别设置有第一输送机构和第二输送机构，所述第一输送机构位于第一垂直模组和第二垂直模组之间，同时在所述第一输送机构的输送方向两侧分别设置有起到衔接作用的第一接料机构和第二接料机构，第一接料机构实现花篮在第一垂直模组与第一输送机构之间的接驳，所述第二接料机构实现花篮在第一输送机构与第二垂直模组之间的接驳；/n在所述第二输送机构...
【技术特征摘要】
1.一种高效原子沉积层镀膜设备自动上下料系统，包括机架和腔室，所述腔室设置于机架中间，其特征在于：在所述机架一侧安装有用于上下料镀膜电池片的第一垂直模组，在位于腔室入口处设置有用于将镀膜电池片送入或送出腔室的第二垂直模组；
在所述第二垂直模组两侧的机架上分别设置有第一输送机构和第二输送机构，所述第一输送机构位于第一垂直模组和第二垂直模组之间，同时在所述第一输送机构的输送方向两侧分别设置有起到衔接作用的第一接料机构和第二接料机构，第一接料机构实现花篮在第一垂直模组与第一输送机构之间的接驳，所述第二接料机构实现花篮在第一输送机构与第二垂直模组之间的接驳；
在所述第二输送机构靠近第二垂直模组处的机架上设置有第三接料机构，所述第三接料机构实现花篮在第二输送机构与第二垂直模组之间的接驳；
在所述第二输送机构上设置有冷却系统，经过镀膜以后的电池片进入冷却系统冷却，冷却完毕后由第二输送机构，配合第三接料机构、第二输送机构送入第一输送机构，再由第一输送机构配合第一接料机构送入第一垂直模组，完成上下料。
2.根据权利要求1所述的一种高效原子沉积层镀膜设备自动上下料系统，其特征在于：所述第一输送机构和第二输送机构为由输送电机控制的传送带结构，均有相同数量的偶数个传送带，通过同步带轮实现同步输送，并且偶数个传送带两两成组，每组传送带用于输送一个盛装电池片的花篮，并且在成组的传送带上分别设置用于限位花篮的挡板。
3.根据权利要求1所述的一种高效原子沉积层镀膜设备自动上下料系统，其特征在于：所述腔室具有分体式仓门，仓门的底部通过直线导轨与机架配合，并且通过仓门推拉气缸与仓门连接，所述第二垂直模组位于仓门的开合处。
4.根据权利要求1所述的一种高效原子沉积层镀膜设备自动上下料系统，其特征在于：所述第一接料机构、第二接料机构和第三接料机构为相同的结构，包括固定底板，所述固定底板与机架固定连接，在所述升降板上通过直线导轨配合设置有花篮固定板，在所述花篮固定板上固定设置有花篮托板，盛装电池片的花篮置于花篮托板上，在所述升降板的一侧安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端设置有丝杆，所述丝杆与直线导轨平行布置，在所述丝杆上配合设置有移动滑块，所述移动滑块与花篮固定板固定连接。
5...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙青，张景坡，
申请(专利权)人：江阴德龙激光能源设备有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。