电池片原子沉积层镀膜冷却系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种电池片原子沉积层镀膜冷却系统，包括底座支架，所述底座支架将整个冷却系统固定在机架上，在所述底座支架上均匀间隔布置有冷却单元，所述冷却单元所述冷却单元由并排间隔布置的冷却气支管和冷却水支管组成，相邻两个冷却单元形成花篮输送通道。本实用新型专利技术通过气冷和水冷结合的冷却方式可以有效的将电池片进行降温，方便后道电池片的处理，且四个花篮同时进行冷却处理比较高效。

【技术实现步骤摘要】
电池片原子沉积层镀膜冷却系统
本技术涉及一种冷却系统，尤其涉及一种电池片原子沉积层镀膜冷却系统。属于冷却系统

技术介绍
在硅片制作成太阳电池片过程中，一般都会有高温处理的工序，如PECVD镀膜、烧结等，在太阳能电池片经过原子沉积层镀膜腔室中镀膜钝化后太阳能电池片温度很高，而紧接着这些的下一道工序一般都要求硅片处于常温的状态，因此在这些高温的工序后都会需要将电池片迅速降温冷却，阻断高温太阳能电池片与空气的反应，现有的冷却采用的是单纯的水冷或气冷，不能有效快速的将多个花篮里的电池片整体降温。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种电池片原子沉积层镀膜冷却系统，能快速有效的将镀膜后的电池片降温。本技术解决上述问题所采用的技术方案为：一种电池片原子沉积层镀膜冷却系统，包括底座支架，所述底座支架将整个冷却系统固定在机架上，在所述底座支架上均匀间隔布置有冷却单元，所述冷却单元位于第二输送机构的传送带上方，相邻两个冷却单元形成花篮输送通道。优选地，所述冷却单元由并排间隔布置的冷却气支管和冷却本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电池片原子沉积层镀膜冷却系统，其特征在于：包括底座支架，所述底座支架将整个冷却系统固定在机架上，在所述底座支架上均匀间隔布置有冷却单元，所述冷却单元由并排间隔布置的冷却气支管和冷却水支管组成，相邻两个冷却单元形成花篮输送通道。/n

【技术特征摘要】
1.一种电池片原子沉积层镀膜冷却系统，其特征在于：包括底座支架，所述底座支架将整个冷却系统固定在机架上，在所述底座支架上均匀间隔布置有冷却单元，所述冷却单元由并排间隔布置的冷却气支管和冷却水支管组成，相邻两个冷却单元形成花篮输送通道。


2.根据权利要求1所述的一种电池片原子沉积层镀膜冷却系统，其特征在于：所述冷却单元的两端分别设置有前端冷却气竖管和后端冷却水竖管，所述前端冷却气竖管与冷却单元中的冷却气支管连通，所述后端冷却水竖管与冷却单元中的冷却水支管连通，同时在所述冷却气支管的内侧面上开设喷气口，所有的前端冷却...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙青，张景坡，
申请(专利权)人：江阴德龙激光能源设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32