下载电池片原子沉积层镀膜冷却系统的技术资料

文档序号:26607763

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本实用新型涉及一种电池片原子沉积层镀膜冷却系统,包括底座支架,所述底座支架将整个冷却系统固定在机架上,在所述底座支架上均匀间隔布置有冷却单元,所述冷却单元所述冷却单元由并排间隔布置的冷却气支管和冷却水支管组成,相邻两个冷却单元形成花篮输送通...
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