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本发明涉及一种高效原子沉积层镀膜设备自动上下料系统，包括机架和腔室，在所述机架一侧安装有第一垂直模组，在位于腔室入口处设置有第二垂直模组；在所述第二垂直模组两侧的机架上分别设置有第一输送机构和第二输送机构，在所述第一输送机构的输送方向两侧分...
该专利属于江阴德龙激光能源设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江阴德龙激光能源设备有限公司授权不得商用。

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