表面特性测量机及其校正方法技术

一种表面特性测量机及其校正方法、校正程序、记录该程序的记录媒体，该表面特性测量机用于测量被测量物的表面，包括以基点为支点可摆动地受到支承、对被测量物表面进行扫描的臂；该表面特性测量机的校正方法包括测量工序、代入工序及校正工序；该测量工序测量在断面形状中含有大致正圆的一部分的校正用规；该代入工序将由上述测量工序获得的检测结果代入到基于圆的式子的评价式子，该圆的式子设校正用规的中心座标为（ｘ↓［ｃ］，ｚ↓［ｃ］），半径为ｒ；该校正工序根据由代入工序获得的评价式子校正各参数。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种表面特性测量机的校正方法、表面特性测量机的校正程序、记录该校正程序的记录媒体、及表面特性测量机。
技术介绍
过去，已知有测量被测量物的表面粗糙度、起伏、轮廓形状、圆度、直线度等表面特性的表面特性测量机。表面特性测量机1如图1所示那样，具有可摆动地支承基端311的臂3、设于该臂3的另一端并在被测量物上进行扫描的测量触头41、检测臂3的x方向位移的第1检测装置6，及将臂3的摆动作为z方向位移检测的第2检测装置7。其中，第1检测装置6和第2检测装置7不直接检测测量触头41的座标。另外，在臂3进行圆弧运动的场合，产生如第1检测装置6和第2检测装置7那样的检测位移量的检测装置不能捕捉到的由圆弧运动导致的偏移。因此，已知有这样的方法，通过设臂3的圆弧运动产生的偏移量对于x座标为dx、对于z座标为dz，在第1检测装置6和第2检测装置7的检测结果中将该dx、dz考虑进去，从而计算出测量触头41的座标值，获得被测量物表面的测量数据。当然，为了进行精密的表面特性测量，必须正确地估计臂3的圆弧运动产生的偏移量dx、dz。在偏移量的估计不正确的场合，例如将相同的被测量物表面作为上升斜面本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种表面特性测量机的校正方法，该表面特性测量机用于测量被测量物的表面，包括：臂，该臂以基点为支点可摆动地被支承着；测头，该测头设于上述臂的另一端侧，在前端具有测量触头，该测量触头从由于上述摆动由测量触头的前端绘出的圆弧的大致切线方向接触或接近该被测量物；移动装置，该移动装置在上述测量触头接触或接近上述被测量物的表面的状态下使上述臂朝ｘ方向移动；第１检测装置，该第１检测装置检测上述基点的ｘ方向的位移；第２检测装置，该第２检测装置根据上述臂上的点朝向ｚ方向的位移量检测由上述臂的摆动产生的朝向ｚ方向的位移；及修正运算装置，该修正运算装置对上述第１检测装置和上述第２检测装置的检测结果修正由上述摆动引起...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：竹村勇，
申请(专利权)人：株式会社三丰，
类型：发明
国别省市：JP[日本]