下载表面特性测量机及其校正方法的技术资料

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一种表面特性测量机及其校正方法、校正程序、记录该程序的记录媒体,该表面特性测量机用于测量被测量物的表面,包括以基点为支点可摆动地受到支承、对被测量物表面进行扫描的臂;该表面特性测量机的校正方法包括测量工序、代入工序及校正工序;该测量工序测量...
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