微小尺寸测量仪制造技术

本发明专利技术提供一种微小尺寸测量仪，即使被测量物倾斜配置，或者被测量物上的图形从指定的位置微小偏移，也可以准确、且同时测量多个图形。当使多个检测部（２６、２８）可沿着Ｘ轴框架（１８）非同步移动配置，并使检测部（２６、２８）整体可沿着Ｙ轴框架（２０）移动配置，并且使各检测部（２６、２８）在一定范围内可沿着Ｙ轴方向非同步移动配置，平板（４６）对Ｘ－Ｙ座标不是平行配置，而是对Ｙ轴倾斜配置，或者液晶监视器（４８）的图形与注册图形偏移时，根据平板（４６）的倾斜或图形偏移，使检测部（２６、２８）相互独立地沿Ｙ轴方向移动，修正位置偏移，可以准确、且同时测量液晶监视器（４８）上的多个图形，可以缩短测量时间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种微小尺寸测量仪，其是将被测量物作为被摄体进行摄像，对由该摄像所得到的图像进行处理，并测量被测量物的微小尺寸。
技术介绍
作为测量被测量物微小尺寸的机器，有例如将液晶监视器形成的平板上的面对各液晶监视器的空间作为移动空间、使检测器在三维方向移动、由检测器测量各液晶监视器上所形成的图形的线宽等的机器。这种微小尺寸测量仪在检测器上安装摄像机等，用摄像机对各液晶监视器进行摄像，通过对由该摄像得到的图像进行处理，可以测量各液晶监视器上形成的图形的线宽等。但是，用1台检测器对多个液晶监视器进行测量的结构中，使检测器向各液晶监视器的部位移动需要时间，不能缩短对平板的测量时间。为了缩短多个液晶监视器形成的平板测量时间(测量时间)，可采用准备多台检测器、使各检测器同时移动到各液晶监视器的结构。例如，将平板对着测量仪的X-Y座标(机械座标)平行配置，在构成X轴的X轴框架上配置可自由滑动的多个检测器，通过Y轴驱动部使配置了多个检测器的X轴框架沿着Y轴方向移动，可以使各检测器移动到各液晶监视器的部位。但是，在X轴框架上配置可自由滑动的多个检测器，使配置了多个检测器的X轴框架沿着Y轴方向移动的结构中，虽然可以使各检测器沿X轴方向单个移动，但是在Y轴方向上却不能单个移动。因此，当平板对测量仪的X-Y座标不是平行配置时，例如相对Y轴倾斜状态配置时，在使各检测器同时沿Y轴方向移动后，即使各检测器沿X轴方向单个移动，可以使一个检测器定位在指定的测量位置上，但是却不能将其他检测器定位在指定测量位置，不能用各检测器同时测量多个图形。另外，即使将平板对X-Y座标进行了平行配置，而某个测量部位上的图形对注册图形微小偏移时，即使各检测器移动到测量部位进行测量，也不能测量图形的准确尺寸。即，当图形对注册图形微小偏移时，如果不根据偏移对各检测器的位置进行修正，则不能准确测量多个图形。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述现有的问题而提出的，其目的在于，提供一种微小尺寸测量仪，即使被测量物对测量仪的机械座标不平行配置，被测量物倾斜配置，或者被测量物上的图形从指定的位置微小偏移，也可以对多个图形准确、且同时进行测量。为了达到上述目的，技术方案1所涉及的微小尺寸测量仪，具有对被测量物上的多个图形分别摄像的多个检测部；图像处理部，对上述多个检测部摄像的图像进行处理，并计算有关上述多个图形的微小尺寸；及驱动部，至少将面对上述被测量物的被量区域的空间作为移动空间，使上述多个检测部在上述移动空间中沿着三维方向移动的，上述驱动部的结构包括使上述多个检测部整体沿着上述三维中的一维方向移动的主驱动部；及使上述多个检测部沿着上述三维中的至少二维方向分别非同步移动的辅助驱动部。(作用)通过各检测部对被测量物上的多个图形进行摄像，并对该摄像的图像进行处理，测量与各图形有关的微小尺寸时，由于使多个检测部整体沿一维方向，例如沿Y轴方向移动，并且使多个检出部至少分别沿二维方向，例如沿X轴方向、Y轴方向同步移动，所以即使被测量物对测量仪的机械座标，例如相对X-Y座标不平行配置，而是被测量物对Y轴倾斜配置，或者被测量物上的图形位置从指定的位置微小偏移，也可以通过使各检测部至少沿着二维方向分别非同步移动，而对各检测部进行微调，可以准确且同时测量多个图形，可使测量时间缩短。另外，可以同时测量多个测量点，可以使测量时间缩短。在技术方案2中，如技术方案1所述的微小尺寸测量仪，上述辅助驱动部具有以X、Y、Z方向为三维方向，使上述多个检测部分别沿着X方向非同步移动的多个X方向用辅助驱动部；使上述多个检测部分别沿着Y方向非同步移动的多个Y方向用辅助驱动部；及使上述多个检测部分别沿着Z方向非同步移动的多个Z方向用辅助驱动部。(作用)在使多个检测部整体移动到各图形附近以后，通过使各检测部沿X方向、Y方向或Z方向进行非同步移动，可以个别对各检测部的位置进行微调。在技术方案3中，如技术方案2所述的微小尺寸测量仪，上述多个X方向用辅助驱动部、上述多个Y方向用辅助驱动部或上述多个Z方向用辅助驱动器中至少一个由直线电动机构成，该直线电动机具有沿着X、Y或Z方向中指定的方向配置的磁铁，及在各检测部上配置的线圈。(作用)通过用具有磁铁和线圈的直线电动机构成辅助驱动部，即使在同一轴上配置多个检测部，也能使各检测部非同步移动，可以实现结构简单化。本专利技术具有如下的效果。如上述说明可知，根据技术方案1所涉及的微小尺寸测量仪，可以缩短测量时间。根据技术方案2，可以对各检测部的位置个别进行微调整。根据技术方案3，可以实现构成的简单化。附图说明图1是表示本专利技术的一实施例的微小尺寸测量仪的立体图。图2是表示本专利技术的一实施例的微小尺寸测量仪的立体图，是表示省略检测部时的状态的立体图，图3是平板的平面图。图4是测量图形的放大平面图。图5是全闭环控制系统的结构图。图6是表示平板倾斜时的状态的平面图。具体实施例方式下面对本专利技术的实施例进行说明。图1是表示本专利技术的一实施例的微小尺寸测量仪的立体图，图2是表示本专利技术的一实施例的微小尺寸测量仪的立体图，是表示省略检测部时的状态的立体图。图3是平板的平面图，图4是测量图形的放大平面图，图5是全闭环控制系统的结构图，图6是表示平板倾斜时的状态的平面图。在这些图中，微小尺寸测量仪16，作为三维测量仪，其结构包括构成X-Y座标(机械座标)的X轴的X轴用框架18；构成Y轴的一对Y轴用框架20；基台22；固定在基台22上的测量台24；在X轴用框架18上可非同步移动地被配置的多个检测部26、28；为使各检测部26、28可沿X轴方向移动的X轴驱动部30；为使各检测部26、28可沿Y轴方向移动的X轴驱动部32；为使各检测部26、28沿可Z轴方向移动的Z轴驱动部34；为控制各驱动部的驱动而进行运算的个人计算机(以下称PC)36；显示PC36处理结果等的显示装置38；对PC36输入各种信息的键盘40；及表示各驱动部的驱动方向等的控制箱42等。在X轴框架18的轴方向两端部形成滑动部(图中未示出)，各滑动部可沿着Y轴框架20滑动。X轴用框架18通过Y轴驱动部32的驱动可以沿Y轴方向移动，Y轴驱动部32是由具有多个Y轴直线电动机用磁铁32a和Y轴用直线电动机用线圈32b的直线电动机构成。当直线电动机的线圈32b通电，由PC36控制对线圈32b的通电量及通电方向时，X轴框架18沿着Y轴方向(Y轴用框架20)移动。即，通过Y轴驱动部32的驱动，检测部26、28整体可以随着X轴框架18的移动，而沿着Y轴方向移动。这时，Y轴驱动部32构成使检测部26、28沿Y轴方向移动的主驱动部。另外，在X轴用框架18上，配置有为使各检测部26、28沿X轴方向(X轴用框架18)非同步移动的X轴驱动部30。X轴驱动部30的结构包括沿着X轴用框架18而配置的多个X轴直线电动机用磁铁30a；及搭载在各检测部26、28上的X轴直线电动机用线圈30b。通过PC36控制对各线圈30b的通电量及通电方向，由此可以使各检测部26、28沿着X轴方向非同步(独立)移动。这时，由直线电动机构成的X轴驱动部30，构成使各检测部26、28沿X轴方向非同步移动的X方向用辅助驱动部。固定X轴用框架18和Y轴用框架20的基台22，由固定在基座上的多个框体4本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微小尺寸测量仪，其特征在于，具有：对被测量物上的多个图形分别摄像的多个检测部；图像处理部，对上述多个检测部摄像的图像进行处理，并计算有关上述多个图形的微小尺寸；及驱动部，至少将面对上述被测量物的被测量区域的空间作 为移动空间，使上述多个检测部在上述移动空间中沿着三维方向移动，上述驱动部的结构包括：使上述多个检测部整体沿着上述三维中的一维方向移动的主驱动部；及使上述多个检测部沿着上述三维中的至少二维方向分别非同步移动的辅助驱动部。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：滨砂智训，
申请(专利权)人：株式会社扫佳，
类型：发明
国别省市：JP[日本]