【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于测量多层薄膜的薄膜厚度的测量装置和方法。本申请要求2007年4月25日提交的日本专利申请 No. 2007-115488的优先权，其内容通过引用并入本文。
技术介绍
薄膜厚度测量装置用于测量多层薄膜的薄膜厚度分布和薄膜厚 度误差，所述多层薄膜包括柔性基片、多层合成薄膜片、和其它种类 的多层薄膜。图5是示出传统薄膜厚度测量装置的示意构造的示图。 如图5所示，传统薄膜厚度测量装置100具有白光源器件101、照射 光纤(irradiation fiber) 102、光接收光纤103、分光器104、计 算部分105。薄膜厚度测量装置100对由多个层201至203形成的薄 膜200的厚度进行测量。白光源器件101是发射白光的光源。照射光纤102是光导部件， 其将发射自白光源器件101的光引导至薄膜200以使光照射在薄膜 200上。光接收光纤103是光导部件，其将来自薄膜200的反射光引 导至分光器104。分光器104对由光接收光纤103引导的来自薄膜200的反射光 进行色散，并进一步将其转换成电信号以获得反射光谱。计算部分105对在分光器104中获得的反...
【技术保护点】
一种薄膜厚度测量装置，包括：光源，其发射将要照射在多层薄膜上的白光；分光器，其对由于将白光照射在多层薄膜上而得到的反射光进行色散以得到反射光谱；和计算部分，所述计算部分包括：设置部分，其为反射光谱设置多个波长范围；第一转换部分，其通过分别对反射光谱中的处在由所述设置部分设定的多个波长范围内的反射光谱进行等间隔重排序来获得波数范围反射光谱；第二转换部分，其将在所述第一转换部分中得到的处在多个波长范围内的波数范围反射光谱分别转换成功率谱；以及运算部分，其基于功率谱得到多层薄膜的薄膜厚度。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：西田和史，角田重幸，
申请(专利权)人：横河电机株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。