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就地确定膜层厚度的方法技术

技术编号:2510656 阅读:189 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
根据现有技术,在镀膜处理期间确定膜层厚度花费很大。其中,为了检查膜层厚度,必须切割参考样本并由此破坏参考样本。只有当参考样本具有所期望的膜层厚度时,才能采用与参考样本一起镀膜的元件。按照本发明专利技术的一种用于确定膜层厚度的方法允许在镀膜处理期间就地确定膜层厚度,其中,采用了一个传感器,该传感器通过镀膜过程以典型方式按获得各膜层的厚度改变所测量的电特性。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种确定膜层厚度的方法。
技术介绍
在例如内部处理(内表面的铝化)的镀膜处理中,通过金属学检验获得膜层厚度。为此,在待镀膜元件的典型位置上附着镀膜处理中的金属丝样本,在镀膜处理结束之后,提取该金属丝样本,然后对其进行花费很大的切割和检验。通过同时进行的工作试验检查和记录每次镀膜处理。用这种测量和检验方法无法对不合格的已结束的镀膜处理进行最新的校正。因此,这种保证质量的方式成本高。
技术实现思路
因此,本专利技术要解决的技术问题是,提供一种解决上述问题的确定膜层厚度的方法。本专利技术的技术问题是通过这样一种方法解决的,即,象对待处理元件那样对一个传感器进行镀膜处理,并测量由于该镀膜处理而改变的该传感器的电特性,从而可以在进行镀膜处理期间就地确定膜层厚度。本方法尤其适用于渗铝处理,其中将铝加到元件中(磨光)。在此,优选的地采用电阻作为简单的、对镀膜结果来说是典型的电的测量值。所述传感器例如是烧结物(Sinter1ing),因为烧结物能以典型方式吸收被镀上的镀膜材料(附着速度和扩散速度),也可以是多孔的,或用待镀膜元件的材料制成,或用金属铬合金(MCrA1y)制成。本方法尤其适用于元件内部的镀膜处理,因为该处理不好进入。附图说明下面结合附图简要描述本专利技术的实施方式。其中示出了 图1为具有待镀膜传感器的元件,其中应用了本专利技术的方法用于确定膜层厚度;和图2为具有按照本专利技术方法的传感器的测量装置。具体实施例方式图1示出了中空的元件1,应当对其例如在内表面4进行镀膜。然而,本方法也可以应用于就地确定外表面的膜层厚度。在内表面4上,借助公知方法,例如CVD方法(化学汽相淀积)、电化学方法或其它公知镀膜方法镀上用材料M制成的膜层7。传感器10设置在元件1的空腔19中,并因此和待处理的元件1一样进行镀膜。图2示出了传感器10的放大图。传感器10由一种材料组成,该材料通过任意的与构成镀膜的材料M的交互作用改变电特性,例如电阻、阻抗、电容等。传感器10可以采取任意形状,例如可以是导线段,或平板形状。传感器10通过电导线13与测量电量大小的电测量装置16相连,该电量大小由于用材料M对传感器10进行了镀膜而改变。通过预先计算出的校准曲线,膜层厚度与电量大小的关系是已知的。本方法尤其适用于将铝镀在元件1内表面4上(金属为铝)的内部处理中。在此,所述传感器例如由金属铬合金(金属为铁、钴和镍)材料制成,并利用化学汽相淀积(CVD)处理中被镀上的铝这样来改变,即以典型方式按镀膜结果改变所测量的电参数。权利要求1.一种用于在镀膜处理期间,其中通过该镀膜处理这样改变传感器(10),即由此影响该传感器(10)的与膜层厚度相关的电特性,并将该电特性的改变用于镀膜。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述传感器(10)由金属铬合金制成,其中金属是铁、钴或镍组中的一种元素。3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述镀膜过程是一种铝化过程。4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述电特性是电阻。5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述传感器(10)是一种烧结元件。6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述镀膜过程是化学汽相淀积过程。7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述镀膜过程用于元件(1)的内部镀膜。全文摘要根据现有技术,在镀膜处理期间确定膜层厚度花费很大。其中,为了检查膜层厚度,必须切割参考样本并由此破坏参考样本。只有当参考样本具有所期望的膜层厚度时,才能采用与参考样本一起镀膜的元件。按照本专利技术的一种用于确定膜层厚度的方法允许在镀膜处理期间就地确定膜层厚度,其中,采用了一个传感器,该传感器通过镀膜过程以典型方式按获得各膜层的厚度改变所测量的电特性。文档编号C23C16/52GK1456704SQ0312348公开日2003年11月19日 申请日期2003年5月9日 优先权日2002年5月10日专利技术者乌尔里克·巴斯特, 罗曼·拜尔, 拉尔夫·赖歇 申请人:西门子公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于在镀膜处理期间就地确定膜层厚度的方法,其中通过该镀膜处理这样改变传感器(10),即由此影响该传感器(10)的与膜层厚度相关的电特性,并将该电特性的改变用于镀膜。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:乌尔里克巴斯特罗曼拜尔拉尔夫赖歇
申请(专利权)人:西门子公司
类型:发明
国别省市:DE[德国]

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