【技术实现步骤摘要】
一种精度高的芯片硅生产用研磨装置
本技术涉及芯片硅加工设备
，尤其涉及一种精度高的芯片硅生产用研磨装置。
技术介绍
现有的晶圆片研磨加工设备在工作的过程中，会产生大量的研磨粉尘，严重污染环境，工作完成之后，研磨盘表面残留的大量粉尘不便于清洁，费时费力，且目前的研磨加工设备在研磨晶圆片时，通常是研磨盘先研磨晶圆片的上表面，然后再翻转180°对另一面进行研磨，这无疑是增大了工人的劳动强度，还存在研磨不连续的缺陷，降低了研磨效率。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种精度高的芯片硅生产用研磨装置。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种精度高的芯片硅生产用研磨装置，包括底板，所述底板底面四角均固接有矩形的支撑杆，所述底板底面下方设有矩形的支撑板，所述支撑板每侧面两端均与对应支撑杆一侧面固接，所述支撑板一端顶面设有矩形状的过滤箱，所述过滤箱一侧对应的支撑板顶面设有吸气泵，所述吸气泵的出气口连接有导气管，导气管另一端位于过滤箱内，所述支撑板另一端顶面设有配...
【技术保护点】
1.一种精度高的芯片硅生产用研磨装置，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）底面四角均固接有矩形的支撑杆（11），所述底板（1）底面下方设有矩形的支撑板（12），所述支撑板（12）每侧面两端均与对应支撑杆（11）一侧面固接，所述支撑板（12）一端顶面设有矩形状的过滤箱（3），所述过滤箱（3）一侧对应的支撑板（12）顶面设有吸气泵（16），所述吸气泵（16）的出气口连接有导气管，导气管另一端位于过滤箱（3）内，所述支撑板（12）另一端顶面设有配电箱（15），所述支撑板（12）顶面中部设有第一电机（17），所述第一电机（17）前方设有旋转轴（4），所述旋转轴（4）底端与支撑...
【技术特征摘要】
1.一种精度高的芯片硅生产用研磨装置，包括底板（1），其特征在于：所述底板（1）底面四角均固接有矩形的支撑杆（11），所述底板（1）底面下方设有矩形的支撑板（12），所述支撑板（12）每侧面两端均与对应支撑杆（11）一侧面固接，所述支撑板（12）一端顶面设有矩形状的过滤箱（3），所述过滤箱（3）一侧对应的支撑板（12）顶面设有吸气泵（16），所述吸气泵（16）的出气口连接有导气管，导气管另一端位于过滤箱（3）内，所述支撑板（12）另一端顶面设有配电箱（15），所述支撑板（12）顶面中部设有第一电机（17），所述第一电机（17）前方设有旋转轴（4），所述旋转轴（4）底端与支撑板（12）顶面转动连接，所述旋转轴（4）顶端穿过底板（1）、并与下研磨盘（42）固接，所述第一电机（17）的电机轴与旋转轴（4）下端转动连接，所述底板（1）顶面中部向下凹设有倒T形的滑槽，所述滑槽两端均设有夹持组件（2），所述底板（1）一端顶面设有圆柱形的支撑柱（13），所述支撑柱（13）顶端设有矩形状的固定板（14），所述固定板（14）一端底面设有照明灯（7），所述照明灯（7）一侧对应的固定板（14）底面设有电动伸缩杆（5），所述电动伸缩杆（5）活动端固接有矩形的防护框，所述防护框内设有第二电机（51），所述防护框底面下方设有上研磨盘（52），所述第二电机（51）的电机轴穿过防护底面、并与上研磨盘（52）固接，所述固定板（14）另一端底面设有吸尘罩（6），所述吸尘罩（6）通过吸尘管（62）与吸气泵（16）进气口连接。
2.根据权利要求1所述一种精度高的芯片硅生产用研磨装置，其特征在于：所述旋转轴（4）底端固接有轴承，所述轴承位于支撑板（12）顶面的圆柱形的凹槽内，所述轴承内环表面与旋转轴（4）底端表面固接，所述旋转轴（4）下端表面固接有锥形的从动齿轮（41），所述第一电机（17）的电机轴顶端固接有锥形的主动齿轮（18），所述从动齿轮（41）与主动齿轮（18）啮合。
3.根据权利要求1所述一种精度高的芯片硅生产用研磨装置，其特征在于：所述夹持组件（2）包括圆柱形的...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭志宏，
申请(专利权)人：大同新成新材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山西;14
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