温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种精度高的芯片硅生产用研磨装置，包括底板，底板底面四角均固接有矩形的支撑杆，底板底面下方设有矩支撑板，支撑板一端顶面设有过滤箱，过滤箱一侧设有吸气泵，支撑板另一端顶面设有配电箱，支撑板顶面中部设有第一电机，第一电机前方设有...
该专利属于大同新成新材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大同新成新材料股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。