一种自动光刻机制造技术

本发明专利技术涉及光刻领域，具体涉及一种自动光刻机，包括台架、支架、显微放大镜、曝光机、转盘、电机、真空发生装置和工装台；所述支架位于台架的上方，所述台架上方设有滑杆，所述滑杆的上端滑动连接着支架；所述支架的另一端设置有曝光机；所述曝光机两侧对称设有显微放大镜；所述曝光机和显微放大镜的正下方设有工装台；所述工装台包括大O型圈、小O型圈、基座、弹力绳和橡胶球；本发明专利技术通过工装台连接在四周的橡胶球与凸台内部的锥形孔和真空发生装置相配合来固定工装台，使得工作人员可以快速进行工装台拆取，并且可以适应不同工装台的大小，从而可以放置不同大小的硅片，进而提高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种自动光刻机
本专利技术涉及光刻领域，具体涉及一种自动光刻机。
技术介绍
在集成电路芯片的生产过程中，芯片的设计图形在硅片表面光刻胶上的曝光转印(光刻)是其中最重要的工序之一，该工序所用的设备称为光刻机，光刻机是集成电路加工过程中最关键的设备。目前，光刻过程是人工将硅片固定在工装上，然后将此工装和硅片放入光刻机中曝光，随着一步步改进，目前已经形成了自动输送装置，工人只需将硅片在工装上放置或者是从工装上拆装下来便可，然而上述装置在实际生产过程中，等待曝光以及工装转移过程是比较浪费时间，大约占据了整个生产节拍一半的时间；所以现在缺少一种设备组成简单，自动化，不需要工作人员等待，并且能有效提高生产效率的光刻装置。现有技术中也出现了一些自动光刻机，如申请号为CN201820863252.0的一项中国专利公开了一种自动光刻机，它包括包括台架，所述台架上设有可步进转动的转盘，所述转盘四周均布有若干工装台，所述工装台上固定有若干工装，所述台架后方设有曝光机，所述曝光机设置在所述转盘旋转停止的工装上方。该技术方案能够降低硅片在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动光刻机，包括台架(1)，其特征在于：还包括支架(2)、显微放大镜(3)、曝光机(4)、转盘(5)、电机(6)、真空发生装置(7)和工装台(8)；所述台架(1)上方设有滑杆(11),所述滑杆(11)的上端滑动连接着支架(2)；所述支架的另一端设置有曝光机(4)；所述曝光机(4)两侧对称设有显微放大镜(3)；所述曝光机(4)和显微放大镜(3)的正下方设有工装台(8)；所述工装台(8)包括大O型圈(81)、小O型圈(82)、基座(83)、弹力绳(84)和橡胶球(85)；所述基座(83)上端为凹坑(831)，所述凹坑(831)侧边缘设有台阶，所述台阶上设有小O型圈(82)，所述凹坑(831...

【技术特征摘要】
1.一种自动光刻机，包括台架(1)，其特征在于：还包括支架(2)、显微放大镜(3)、曝光机(4)、转盘(5)、电机(6)、真空发生装置(7)和工装台(8)；所述台架(1)上方设有滑杆(11),所述滑杆(11)的上端滑动连接着支架(2)；所述支架的另一端设置有曝光机(4)；所述曝光机(4)两侧对称设有显微放大镜(3)；所述曝光机(4)和显微放大镜(3)的正下方设有工装台(8)；所述工装台(8)包括大O型圈(81)、小O型圈(82)、基座(83)、弹力绳(84)和橡胶球(85)；所述基座(83)上端为凹坑(831)，所述凹坑(831)侧边缘设有台阶，所述台阶上设有小O型圈(82)，所述凹坑(831)的底面设有通气孔；所述基座(83)下端为凸缘(832)，所述凸缘(832)上设有大O型圈(81)；所述基座(83)侧面均匀连接有四个弹力绳(84)，所述弹力绳(84)的另一端连接有橡胶球(85)；所述台架(1)的正上方设有转盘(5)；所述台架(1)与转盘(5)之间设有电机(6)，所述电机(6)用于驱动转盘(5)转动；所述转盘(5)为圆形，且转盘(5)的上端设有四个凸台(51)，四个所述凸台(51)截面为圆形且均匀分布在转盘(5)四周，所述凸台(51)的中心位于曝光机(4)的正下方；所述转盘(5)的中心处设有真空发生装置(7)，所述真空发生装置(7)用于抽取空气；所述凸台(51)的侧面设有四个均匀分布的L型孔(511)；所述L型孔(511)进口处上端均设有滑轮，所述L型孔(511)能够使橡胶球(85)顺利通过，L型孔(511)的下端设有锥形孔(512)，所述锥形孔(512)能将橡胶球(85)截止在其中径处；所述凸台(51)的上端设有凹缘(513)，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张圆圆，周超，
申请(专利权)人：张圆圆，
类型：发明
国别省市：安徽;34