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本发明涉及光刻领域，具体涉及一种自动光刻机，包括台架、支架、显微放大镜、曝光机、转盘、电机、真空发生装置和工装台；所述支架位于台架的上方，所述台架上方设有滑杆，所述滑杆的上端滑动连接着支架；所述支架的另一端设置有曝光机；所述曝光机两侧对称设...
该专利属于张圆圆所有，仅供学习研究参考，未经过张圆圆授权不得商用。

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