一种用于杯型谐波齿轮减速器的固体润滑方法技术

本发明专利技术提供一种用于杯型谐波齿轮减速器的固体润滑方法，涉及减速器的润滑技术领域。本发明专利技术提供的固体润滑方法，包括以下步骤：利用封闭场非平衡磁控溅射法在所述杯型谐波齿轮减速器的柔轮以及波发生器中的大挡片和小挡片表面沉积过渡层；利用等离子体辅助化学气相沉积结合封闭场非平衡磁控溅射在所述过渡层表面沉积C‑WC复合薄膜层；利用封闭场非平衡磁控溅射法在所述杯型谐波齿轮减速器的刚轮以及波发生器中的柔性轴承内圈和柔性轴承外圈表面沉积MoS

【技术实现步骤摘要】
一种用于杯型谐波齿轮减速器的固体润滑方法
本专利技术涉及减速器的润滑
，尤其涉及一种用于杯型谐波齿轮减速器的固体润滑方法。
技术介绍
谐波齿轮减速器具有传动比大、传动精度高、体积小、重量轻等技术特点，因而在航天
具有广泛应用。使用适宜的润滑方式或润滑材料，是航天领域谐波齿轮减速器实现长寿命的关键。从目前国内外研究报道来看，航天用谐波齿轮减速器主要有固体润滑和固液复合润滑两种主要方式，其中固体润滑多采用软金属或二硫属层状结构化合物薄膜进行润滑处理，固液复合润滑主要采用软金属与低饱和蒸气压润滑油脂进行复合润滑处理。但相比较而言，固体润滑具有真空无挥发或挥发低、摩擦学性能对环境温度不敏感等突出优点，因此固体润滑是目前航天领域用谐波齿轮减速器较为常用的一种润滑方式。在目前航天领域谐波齿轮减速器的固体润滑技术中，所使用的软金属、二硫属层状结构化合物等固体润滑材料，在真空环境条件下具有良好的润滑性能，但硬度较低、耐磨性有限，且其摩擦学性能对大气环境较为敏感。
技术实现思路
鉴于此，本专利技术目的在于提供一种用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于杯型谐波齿轮减速器的固体润滑方法，其特征在于，包括以下步骤：/n(1)利用封闭场非平衡磁控溅射法在所述杯型谐波齿轮减速器的柔轮以及波发生器中的大挡片和小挡片表面沉积过渡层；所述过渡层由内至外依次包括Cr薄膜层和WC薄膜层；/n(2)利用等离子体辅助化学气相沉积结合封闭场非平衡磁控溅射在所述过渡层表面沉积C-WC复合薄膜层；/n(3)利用封闭场非平衡磁控溅射法在所述杯型谐波齿轮减速器的刚轮以及波发生器中的柔性轴承内圈和柔性轴承外圈表面沉积MoS

【技术特征摘要】
1.一种用于杯型谐波齿轮减速器的固体润滑方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)利用封闭场非平衡磁控溅射法在所述杯型谐波齿轮减速器的柔轮以及波发生器中的大挡片和小挡片表面沉积过渡层；所述过渡层由内至外依次包括Cr薄膜层和WC薄膜层；
(2)利用等离子体辅助化学气相沉积结合封闭场非平衡磁控溅射在所述过渡层表面沉积C-WC复合薄膜层；
(3)利用封闭场非平衡磁控溅射法在所述杯型谐波齿轮减速器的刚轮以及波发生器中的柔性轴承内圈和柔性轴承外圈表面沉积MoS2/WS2纳米多层自润滑薄膜层，所述MoS2/WS2纳米多层自润滑薄膜层由MoS2层和WS2层的交替沉积实现；
所述步骤(3)与步骤(1)和(2)没有时间顺序。


2.根据权利要求1所述的固体润滑方法，其特征在于，所述过渡层和C-WC复合薄膜层的总厚度为1.5μm～3.0μm。


3.根据权利要求1所述的固体润滑方法，其特征在于，步骤(1)中所述封闭场非平衡磁控溅射包括：对所述杯型谐波齿轮减速器的柔轮以及波发生器中的大挡片和小挡片表面依次进行Cr靶溅射和WC靶溅射，所述Cr靶溅射和WC靶溅射的电源功率独立地为4kW～8kW，直流偏压电压独立地为-50V～-200V，沉积时间独立地为10min～20min，工件架转动驱动电机转速独立地为1r/min～10r/min。


4.根据权利要求3所述的固体润滑方法，其特征在于，所述Cr靶溅射和WC靶溅射在氩气中进行，所述氩气的分压独立地为2.0Pa～10.0Pa。


5.根据权利要求1所述的固体润滑方法，其特征在于，所述等离子体辅助化学气相沉积结合封闭场非平衡磁控溅射在C2H2气体中进行，所述C2H2气体的分压为0.5...

【专利技术属性】
技术研发人员：高晓明，翁立军，孙嘉奕，胡明，伏彦龙，杨军，王德生，姜栋，王琴琴，
申请(专利权)人：中国科学院兰州化学物理研究所，
类型：发明
国别省市：甘肃;62