一种易于分离溅射物的底板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种易于分离溅射物的底板，涉及磁控溅射镀膜技术领域，包括：底板本体和保护膜，底板本体上设有若干个传动轮孔，保护膜可拆卸固定设置于底板本体的工作台面上，在工作过程中，溅射物不会直接溅射到底板本体上，而是落到保护膜上，当保护膜表面积满了足够多的溅射物时，只需更换保护膜即可，无需对底板本体进行喷砂处理，保持了底板的精度，保护膜与各传动轮孔对应的位置均开设有与传动轮孔大小一致的躲避孔，本实用新型专利技术使溅射物易于从镀膜玻璃设备的底板上分离出来，底板在分离溅射物时并不会发生形变，较好的保持了底板的精度。

【技术实现步骤摘要】
一种易于分离溅射物的底板
本技术涉及磁控溅射镀膜
，特别是涉及一种易于分离溅射物的底板。
技术介绍
随着人们生活水平的提高，人们对镀膜玻璃的需求越来越大，市场需求量也越来越大，镀膜玻璃产量也越来越大，目前，对玻璃镀膜一般采用磁控溅射镀膜方式，因溅射靶材一般为金属材料，在镀膜过程中，金属材料容易溅射到镀膜设备的底板上，镀膜设备的底板经过长时间溅射，底板上附着的溅射物越积越多，如今，除去这种溅射物往往采用喷砂的方式清除，然而在喷砂过程中底板易发生形变，造成清理完毕后对其安装困难，且其精度往往达不到要求，因此，急需一种可以轻松将溅射物分离出来的底板。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种易于分离溅射物的底板，以解决上述现有技术存在的问题，使溅射物易于从镀膜玻璃设备的底板上分离出来，底板在分离溅射物时并不会发生形变，较好的保持了底板的精度。为实现上述目的，本技术提供了如下方案：本技术提供一种易于分离溅射物的底板，包括底板本体和保护膜，所述底板本体上设有若干个传动轮孔，所述保护膜可拆卸固定设置于所述底板本体的工作台面本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种易于分离溅射物的底板，其特征在于：包括底板本体和保护膜，所述底板本体上设有若干个传动轮孔，所述保护膜可拆卸固定设置于所述底板本体的工作台面上，所述保护膜与各所述传动轮孔对应的位置均开设有与所述传动轮孔大小一致的躲避孔。/n

【技术特征摘要】
1.一种易于分离溅射物的底板，其特征在于：包括底板本体和保护膜，所述底板本体上设有若干个传动轮孔，所述保护膜可拆卸固定设置于所述底板本体的工作台面上，所述保护膜与各所述传动轮孔对应的位置均开设有与所述传动轮孔大小一致的躲避孔。


2.根据权利要求1所述的易于分离溅射物的底板，其特征在于：所述保护膜通过粘结剂粘结于所述工作台面上，所述底板本体的工作台面做光滑处理，所述保护膜与所述工作台面接触的一面做光滑处理。


3.根据权利要求1所述的易于分离溅射物的底板，其特征在于：所述底板本体的工作台面的任意一边缘均匀设置有若干凹槽。
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【专利技术属性】
技术研发人员：徐峰，姚树国，王俊，
申请(专利权)人：长利玻璃洪湖有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42