一种易于分离溅射物的底板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种易于分离溅射物的底板，涉及磁控溅射镀膜技术领域，包括：底板本体和保护膜，底板本体上设有若干个传动轮孔，保护膜可拆卸固定设置于底板本体的工作台面上，在工作过程中，溅射物不会直接溅射到底板本体上，而是落到保护膜上，当保护膜表面积满了足够多的溅射物时，只需更换保护膜即可，无需对底板本体进行喷砂处理，保持了底板的精度，保护膜与各传动轮孔对应的位置均开设有与传动轮孔大小一致的躲避孔，本实用新型专利技术使溅射物易于从镀膜玻璃设备的底板上分离出来，底板在分离溅射物时并不会发生形变，较好的保持了底板的精度。

【技术实现步骤摘要】
一种易于分离溅射物的底板
本技术涉及磁控溅射镀膜
，特别是涉及一种易于分离溅射物的底板。
技术介绍
随着人们生活水平的提高，人们对镀膜玻璃的需求越来越大，市场需求量也越来越大，镀膜玻璃产量也越来越大，目前，对玻璃镀膜一般采用磁控溅射镀膜方式，因溅射靶材一般为金属材料，在镀膜过程中，金属材料容易溅射到镀膜设备的底板上，镀膜设备的底板经过长时间溅射，底板上附着的溅射物越积越多，如今，除去这种溅射物往往采用喷砂的方式清除，然而在喷砂过程中底板易发生形变，造成清理完毕后对其安装困难，且其精度往往达不到要求，因此，急需一种可以轻松将溅射物分离出来的底板。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种易于分离溅射物的底板，以解决上述现有技术存在的问题，使溅射物易于从镀膜玻璃设备的底板上分离出来，底板在分离溅射物时并不会发生形变，较好的保持了底板的精度。为实现上述目的，本技术提供了如下方案：本技术提供一种易于分离溅射物的底板，包括底板本体和保护膜，所述底板本体上设有若干个传动轮孔，所述保护膜可拆卸固定设置于所述底板本体的工作台面上，所述保护膜与各所述传动轮孔对应的位置均开设有与所述传动轮孔大小一致的躲避孔。优选的，所述保护膜通过粘结剂粘结于所述工作台面上，所述底板本体的工作台面做光滑处理，所述保护膜与所述工作台面接触的一面做光滑处理。优选的，所述底板本体的工作台面的任意一边缘均匀设置有若干凹槽。优选的，所述底板上与所述工作台面对应的一面为所述底板的底面，所述底面的四角均设置有一个螺纹孔，所述保护膜的边沿用螺栓固定于所述螺纹孔中。优选的，所述保护膜未与所述工作台面接触的一面做粗糙处理。优选的，所述保护膜的材料与所述溅射物的材料一致。优选的，所述保护膜厚度0.05mm～0.15mm。本技术相对于现有技术取得了以下技术效果：本技术提供了一种易于分离溅射物的底板，包括：底板本体和保护膜，底板本体上设有若干个传动轮孔，保护膜可拆卸固定设置于底板本体的工作台面上，在工作过程中，溅射物不会直接溅射到底板本体上，而是落到保护膜上，当保护膜表面积满了足够多的溅射物时，只需更换保护膜即可，无需对底板本体进行喷砂处理，不会引起底板本体发生形变，较好的保持了底板的精度，保护膜与各传动轮孔对应的位置均开设有与传动轮孔大小一致的躲避孔，在底板本体上铺设保护膜并不会影响底板原有的功能，本技术使溅射物易于从镀膜玻璃设备的底板上分离出来，底板在分离溅射物时并不会发生形变，较好的保持了底板的精度。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术提供的一种易于分离溅射物的底板的正视图；图2为本技术提供的底板本体的俯视图；图中：1-底板本体、2-保护膜、3-传动轮孔、4-凹槽、5-螺纹孔、6-螺栓、7-传动轮。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本技术的目的是提供一种易于分离溅射物的底板，以解决现有技术存在的问题，使溅射物易于从镀膜玻璃设备的底板上分离出来，底板在分离溅射物时并不会发生形变，较好的保持了底板的精度。为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。本技术提供易于分离溅射物的底板，如图1和图2所示，包括：底板本体1和保护膜2，底板本体1上设有若干个传动轮孔3，保护膜2可拆卸固定设置于底板本体1的工作台面上，在工作过程中，溅射物不会直接溅射到底板本体1上，而是落到保护膜2上，当保护膜2表面积满了足够多的溅射物时，只需更换保护膜2即可，无需对底板本体1进行喷砂处理，不会引起底板本体1发生形变，较好的保持了底板的精度，保护膜2与各传动轮孔3对应的位置均开设有与传动轮孔3大小一致的躲避孔，在底板本体1上铺设保护膜2并不会影响底板本体1原有的功能，且使溅射物易于从镀膜玻璃设备的底板上分离出来，底板在分离溅射物时并不会发生形变，较好的保持了底板的精度。进一步的，保护膜2通过粘结剂粘结于工作台面上，粘结剂优选为丙烯酸脂类粘结剂，底板本体1的工作台面做光滑处理，保护膜2与工作台面接触的一面做光滑处理，将工作台面和保护膜2贴合后，两者之间的间隙值较小，贴合更加紧密，且在更换保护膜2时，工作人员更加容易将保护膜2剥离下来，既美观又实用。进一步的，底板本体1的工作台面的任意一边缘均匀设置有若干凹槽4，当需要更换保护膜2时，人手能够伸进凹槽4处将旧的保护膜2拆解下来。进一步的，底板上与工作台面对应的一面为底板的底面，底面的四角均设置有一个螺纹孔5，保护膜2的边沿用螺栓6固定于螺纹孔5中，保护膜2的边沿在底板的底面上固定，因此，保证了保护膜2将工作台面全部覆盖，保护效果较好。进一步的，保护膜2未与工作台面接触的一面做粗糙处理，增加了溅射物与保护膜2表面的摩擦力，使溅射物在溅射到保护膜2上后并不会因为其自身的惯性在保护膜2上滑动太远的距离。进一步的，保护膜2的材料与溅射物的材料一致，因为镀膜玻璃上的金属薄膜往往会采用较为贵重的金属材料，当其发生溅射时会损失大量的贵金属，造成资源的浪费，但是，当保护膜2的材料和溅射物的材料相同时，保护膜2能够和溅射物一起做回收处理，无需将溅射物从保护膜2上分离出来，省时省力，且最大化的利用了金属资源。进一步的，保护膜2厚度0.05mm～0.15mm，优选为0.1mm，保护膜2的厚度根据实际生产中保护膜2的材料强度来确定。本技术中应用了具体个例对本技术的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本技术的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本技术的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本技术的限制。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种易于分离溅射物的底板，其特征在于：包括底板本体和保护膜，所述底板本体上设有若干个传动轮孔，所述保护膜可拆卸固定设置于所述底板本体的工作台面上，所述保护膜与各所述传动轮孔对应的位置均开设有与所述传动轮孔大小一致的躲避孔。/n

【技术特征摘要】
1.一种易于分离溅射物的底板，其特征在于：包括底板本体和保护膜，所述底板本体上设有若干个传动轮孔，所述保护膜可拆卸固定设置于所述底板本体的工作台面上，所述保护膜与各所述传动轮孔对应的位置均开设有与所述传动轮孔大小一致的躲避孔。


2.根据权利要求1所述的易于分离溅射物的底板，其特征在于：所述保护膜通过粘结剂粘结于所述工作台面上，所述底板本体的工作台面做光滑处理，所述保护膜与所述工作台面接触的一面做光滑处理。


3.根据权利要求1所述的易于分离溅射物的底板，其特征在于：所述底板本体的工作台面的任意一边缘均匀设置有若干凹槽。
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【专利技术属性】
技术研发人员：徐峰，姚树国，王俊，
申请(专利权)人：长利玻璃洪湖有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42