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本实用新型公开了一种易于分离溅射物的底板，涉及磁控溅射镀膜技术领域，包括：底板本体和保护膜，底板本体上设有若干个传动轮孔，保护膜可拆卸固定设置于底板本体的工作台面上，在工作过程中，溅射物不会直接溅射到底板本体上，而是落到保护膜上，当保护膜表...
该专利属于长利玻璃洪湖有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长利玻璃洪湖有限公司授权不得商用。

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