一种掩膜板制造技术

本发明专利技术涉及一种掩膜板，所述掩膜板图案区和遮挡区；所述图案区包括阵列排布的蒸镀孔；所述遮挡区内设有至少一个中空腔体。通过在掩膜板遮挡区开设有中空腔体，使得掩膜板可以设置为规则形状，而且由于中空腔体的存在，消除了遮挡区和图案区的差异，从而使掩膜板在张网过程中受力均匀，进一步降低了掩膜板在张网过程中的褶皱现象.保证蒸镀精度和稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜板
本专利技术涉及显示
，特别是涉及一种掩膜板。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode,OLED)具有驱动电压低、主动发光、视角宽、效率高、响应速度快和柔性显示的许多特点而逐渐取代液晶显示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)显示。掩膜板(mask)是OLED制备工艺中重要部件，掩膜板可以控制有机材料按照预设图案蒸镀形成发光像素，实现彩色化显示。针对中小尺寸的显示面板，当前消费需求倾向于高屏占比的全面屏，且其需求已越来越多。高屏占比的全面屏实现也需要预留摄像头等构件的空间，所以异形屏出现。而异形屏实现方法之一是将蒸镀Mask修改为异形Mask，与传统的规则Mask开口设计相比较，显示区为非规则的类矩形，掩膜板张网时异形区容易出现褶皱，导致后续显示屏像素蒸镀位置精度降低，最终会影响蒸镀效果。
技术实现思路
基于此，本专利技术提供了一种掩膜板，解决了掩膜板张网时出现褶皱的问题，提高了后续显示面板像素蒸镀位置的精度。为实现以上目本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜板，其特征在于，所述掩膜板图案区和遮挡区；所述图案区包括阵列排布的蒸镀孔；所述遮挡区内设有至少一个中空腔体。/n

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板，其特征在于，所述掩膜板图案区和遮挡区；所述图案区包括阵列排布的蒸镀孔；所述遮挡区内设有至少一个中空腔体。


2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述遮挡区包括多个中空腔体，相邻所述中空腔体在垂直于所述掩膜板厚度方向的平面上的正投影不交叠。


3.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述遮挡区包括多个中空腔体，所述多个中空腔体在所述掩膜板上同层设置；优选地，所述中空腔体的高度与所述掩膜板的厚度比范围为50％-80％。


4.根据权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，所述遮挡区中空腔体的分布密度大于所述图案区蒸镀孔的分布密度。


5.根据权利要求1-4任一项所述的掩膜板，其特征在于，所述遮挡区表面还设有至少一个开口槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：王亚玲，肖志慧，宋平，杨志业，单为健，
申请(专利权)人：云谷固安科技有限公司，
类型：发明
国别省市：河北;13