下载一种掩膜板的技术资料

文档序号:24882595

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本发明涉及一种掩膜板,所述掩膜板图案区和遮挡区;所述图案区包括阵列排布的蒸镀孔;所述遮挡区内设有至少一个中空腔体。通过在掩膜板遮挡区开设有中空腔体,使得掩膜板可以设置为规则形状,而且由于中空腔体的存在,消除了遮挡区和图案区的差异,从而使掩膜...
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