一种晶硅粗磨精磨一体机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种晶硅粗磨精磨一体机，属于晶硅加工设备领域，包括底座和滑轨，滑轨设置在底座上，沿着滑轨的长度方向依次设置：粗磨区、晶硅转移机构和精磨区，所述粗磨区和精磨区之间设置有晶硅转移机构，所述粗磨区和精磨区均设有用于夹持晶硅的磨削进给工作台机构和至少两组磨头进给组件，所述磨削进给工作台机构位于所述滑轨上并与滑轨滑动连接，位于粗磨区和精磨区的至少两组磨头进给组件对称的设置于滑轨两侧，形成供晶硅通过并磨削晶硅的磨削通道，本实用新型专利技术通过粗磨区和精磨区分别对晶硅进行粗磨和精磨加工，且可同时对不同的晶硅进行粗磨和精磨加工，工作效率提高一倍。

【技术实现步骤摘要】
一种晶硅粗磨精磨一体机
本技术属于晶硅加工设备
，具体地说涉及一种晶硅粗磨精磨一体机。
技术介绍
现有市场上的设备基本都是对面及圆弧的加工粗磨、精磨是分开分工序进行的，每次只能加工两个面，磨削效率低。粗磨及精磨由于处于两个位置，导致粗磨后精磨余量大，效率低，因此怎样能够快速的对切方后的晶硅进行需粗磨和精磨加工是我们需要解决的问题。
技术实现思路
针对现有技术的种种不足，现提出一种对切方后的单晶硅棒，进行磨面抛光倒角，满足不同规格单晶硅方棒进行弧、面一体抛光，四面磨削、单面、单弧单独加工控制功能的粗磨精磨一体机，可在同台设备自动完成硅锭的磨面和滚圆。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶硅粗磨精磨一体机，包括底座和滑轨，滑轨设置在底座上，沿着滑轨的长度方向依次设置：粗磨区、晶硅转移机构和精磨区，所述粗磨区和精磨区均设有用于夹持晶硅的磨削进给工作台机构和至少两组磨头进给组件，所述磨削进给工作台机构与滑轨滑动连接，用于夹持并输送晶硅，位于粗磨区和精磨区的至少两组磨头进给组件对称的设置于滑轨两侧，形成供晶硅通过并磨削晶硅的磨削通道。进一步，所述粗磨区还包括粗磨头组件、上料工作台机构和对中机构；所述粗磨头组件通过粗磨主轴与所述磨头进给组件连接；所述上料工作台机构设置在滑轨的一侧，其用于承载晶硅，并将晶硅输送至滑轨上方；所述对中机构设置在所述上料工作台机构与滑轨之间，以对位于上料工作台机构上的晶硅进行对中操作，使晶硅的长度方向与滑轨平行；所述晶硅转移机构沿着与滑轨相垂直的方向设置，用于将粗磨完毕的晶硅转移至精磨区；所述精磨区还包括精磨头组件和下料工作台机构；所述精磨头组件通过精磨主轴与所述磨头进给组件连接；所述下料工作台机构设置在滑轨的一侧，用于承载精磨完毕的晶硅。进一步，所述上料工作台机构包括上料支撑座、上料支撑板、上料工作台和上料竖直升降丝杠，所述上料支撑座的底部与底座固连，所述上料支撑座上竖直设置有上料竖直滑轨，且所述上料支撑板沿水平方向设置，其通过上料竖直升降丝杠与上料支撑座在竖直方向滑动连接，所述上料支撑板上设有水平向的上料工作台，所述上料工作台通过水平向的上料丝杠与上料支撑板滑动连接，且其上部固设有晶硅支撑板，用于支撑晶硅，所述晶硅支撑板靠近滑轨的一侧设有靠板，其另一侧设有晶硅夹紧板，所述靠板和晶硅夹紧板均沿竖直方向设置，且晶硅夹紧板与水平驱动气缸的活塞端固连，以推动晶硅夹紧板与晶硅相贴并与晶硅夹紧板相配合将晶硅调整至与导轨相平行。进一步，所述对中机构包括对中支撑柱、对中夹紧板和对中夹紧滑轨，所述对中夹紧板相对的设置两个，且其竖直设置，所述对中支撑柱的底部与底座固连，所述对中夹紧滑轨固设于对中支撑柱的上部并与滑轨相平行，两个对中夹紧板通过齿轮齿条相啮合并沿对中夹紧滑轨滑动以夹持晶硅，使晶硅的中心与晶硅支撑板中心位于同一竖直线上。进一步，所述磨削进给工作台机构包括磨削进给底座、头架组件、尾架组件和尾架进给丝杠，所述磨削进给底座设置在滑轨上，其通过磨削进给丝杠与滑轨滑动连接，所述头架组件和尾架组件相对的设置于所述磨削进给底座上，且所述头架组件与磨削进给底座固连，所述尾架组件通过尾架进给丝杠与磨削进给底座滑动连接；所述头架组件包括头架夹头和头架旋转电机，所述头架夹头与头架旋转电机驱动连接，所述尾架组件包括尾架夹头和尾架旋转电机，所述尾架夹头与尾架旋转电机连接，所述头架夹头和尾架夹头均位于同一直线上，且两者均与滑轨相平行，所述头架夹头和尾架夹头同时转动用于将晶硅进行旋转；所述头架组件设置于靠近所述晶硅转移机构的一端，所述尾架组件设置于远离所述晶硅转移机构的一端。进一步，所述磨头进给组件包括磨头进给底座、磨头工作台、磨头竖直滑轨和磨头水平滑轨，所述磨头进给底座的底部与底座固连，磨头水平滑轨位于所述磨头进给底座上，磨头工作台通过磨头水平进给丝杠与磨头水平滑轨滑动连接，所述磨头水平滑轨沿水平方向设置且其与滑轨相垂直，所述磨头工作台上固设有磨头竖直滑轨和余量检测装置，磨头竖直滑轨沿竖直方向设置且磨头竖直滑轨上设置有磨头滑台，磨头滑台沿竖直方向设置并与磨头竖直滑轨滑动连接，所述余量检测装置位于靠近滑轨的一侧，用于对晶硅进行余量检测。进一步，所述粗磨头组件包括粗磨旋转电机、粗磨主轴和粗磨砂轮，粗磨主轴贯穿磨头滑台，其一端与粗磨旋转电机的输出端固连，其另一端与粗磨砂轮固连；所述精磨头组件包括精磨旋转电机、精磨主轴和精磨砂轮，精磨主轴贯穿磨头滑台，其一端与精磨旋转电机的输出端固连，其另一端与精磨砂轮固连；所述粗磨砂轮和精磨砂轮均沿竖直方向设置。进一步，所述晶硅转移机构包括转移支撑立柱、相对设置的转移夹爪组件、竖直转移气缸、水平转移气缸、竖直转移导柱、水平转移导轨和转移固定台，所述转移支撑立柱的底部与底座固连，竖直转移导柱与转移支撑立柱的上部固连，转移夹爪组件通过竖直转移气缸与转移支撑立柱滑动连接，转移夹爪组件通过水平转移气缸驱动产生相对位移，用于对晶硅进行夹持和放松。进一步，所述下料工作台机构包括下料支撑座、下料支撑板、下料工作台、下料竖直升降丝杠，所述下料支撑座的下部与底座固连，所述下料支撑板沿水平方向设置，所述下料竖直升降丝杠沿竖直方向竖直，用于驱动下料支撑板沿竖直方向运动，所述下料支撑板的上方设置有水平向的下料工作台，所述下料工作台通过水平进给丝杠与下料支撑板滑动连接，且其上部设有下料固定板，用于承接已经精磨完毕的晶硅。本技术的有益效果是：对开方后的晶硅进行磨面抛光倒角，满足不同规格单晶硅方棒进行弧、面一体抛光。在同台设备自动完成晶硅的磨面和滚圆，晶硅粗磨完后转换到精磨区工位进行精磨加工，同时，空闲着的粗磨工位上料可同时进行粗磨，实现硅棒粗磨及精磨同时加工，提高磨面和滚圆效率，提高效率近1倍以上。附图说明图1是本技术的整体结构示意图；图2是本技术的另一整体结构示意图；图3是上料工作台机构的结构示意图；图4是对中机构的结构示意图；图5是磨削进给工作台机构的结构示意图；图6是磨头进给组件的结构示意图；图7是晶硅转移机构的结构示意图；图8是下料工作台机构的结构示意图。附图中：1-底座；2-滑轨；3-晶硅转移机构、301-转移支撑立柱、302-转移夹爪组件、303-竖直转移导柱、304-水平转移导轨、305-转移固定台；4-磨削进给工作台机构、401-磨削进给底座、402-头架组件、403-尾架组件、404-尾架进给丝杠；5-磨头进给组件、501-磨头进给底座、502-磨头工作台、503-磨头竖直滑轨、504-磨头水平滑轨、505-磨头水平进给丝杠、506-磨头升降气缸；6-粗磨头组件、601-粗磨砂轮；7-上料工作台机构、701-上料支撑座，702-上料支撑板、703-上料工作台、704-晶硅支撑板、705-靠板、706-晶硅夹紧板；8-对本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶硅粗磨精磨一体机，包括底座(1)和滑轨(2)，滑轨(2)设置在底座(1)上，其特征在于，沿着滑轨(2)的长度方向依次设置：粗磨区、晶硅转移机构(3)和精磨区，所述粗磨区和精磨区均设有用于夹持晶硅的磨削进给工作台机构(4)和至少两组磨头进给组件(5)，所述磨削进给工作台机构(4)位于所述滑轨(2)上并与滑轨(2)滑动连接，位于粗磨区和精磨区的至少两组磨头进给组件(5)对称的设置于滑轨(2)两侧，形成供晶硅通过并磨削晶硅的磨削通道。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶硅粗磨精磨一体机，包括底座(1)和滑轨(2)，滑轨(2)设置在底座(1)上，其特征在于，沿着滑轨(2)的长度方向依次设置：粗磨区、晶硅转移机构(3)和精磨区，所述粗磨区和精磨区均设有用于夹持晶硅的磨削进给工作台机构(4)和至少两组磨头进给组件(5)，所述磨削进给工作台机构(4)位于所述滑轨(2)上并与滑轨(2)滑动连接，位于粗磨区和精磨区的至少两组磨头进给组件(5)对称的设置于滑轨(2)两侧，形成供晶硅通过并磨削晶硅的磨削通道。


2.根据权利要求1所述的一种晶硅粗磨精磨一体机，其特征在于，所述粗磨区还包括粗磨头组件(6)、上料工作台机构(7)和对中机构(8)；所述粗磨头组件(6)通过粗磨主轴与所述磨头进给组件(5)连接；所述上料工作台机构(7)设置在滑轨(2)的一侧，其用于承载晶硅，并将晶硅输送至滑轨(2)上方；所述对中机构(8)设置在所述上料工作台机构(7)与滑轨(2)之间，以对位于上料工作台机构(7)上的晶硅进行对中操作，使晶硅的长度方向与滑轨(2)平行；
所述晶硅转移机构(3)沿着与滑轨(2)相垂直的方向设置，用于将粗磨完毕的晶硅转移至精磨区；
所述精磨区还包括精磨头组件(9)和下料工作台机构(10)；所述精磨头组件(9)通过精磨主轴与所述磨头进给组件(5)连接；所述下料工作台机构(10)设置在滑轨(2)的一侧，用于承载精磨完毕的晶硅。


3.根据权利要求2所述的一种晶硅粗磨精磨一体机，其特征在于，所述上料工作台机构(7)包括上料支撑座(701)、上料支撑板(702)、上料工作台(703)和上料竖直升降丝杠，所述上料支撑座(701)的底部与底座(1)固连，所述上料支撑座(701)上竖直设置有上料竖直滑轨，且所述上料支撑板(702)沿水平方向设置，其通过上料竖直升降丝杠与上料支撑座(701)在竖直方向滑动连接，所述上料支撑板(702)上设有水平向的上料工作台(703)，所述上料工作台(703)通过水平向的上料丝杠与上料支撑板(702)滑动连接，且其上部固设有晶硅支撑板(704)，用于支撑晶硅，所述晶硅支撑板(704)靠近滑轨(2)的一侧设有靠板(705)，其另一侧设有晶硅夹紧板(706)，所述靠板(705)和晶硅夹紧板(706)均沿竖直方向设置，且晶硅夹紧板(706)与水平驱动气缸的活塞端固连，以推动晶硅夹紧板(706)与晶硅相贴并与晶硅夹紧板(706)相配合将晶硅调整至与导轨相平行。


4.根据权利要求3所述的一种晶硅粗磨精磨一体机，其特征在于，所述对中机构(8)包括对中支撑柱(801)、对中夹紧板(802)和对中夹紧滑轨(803)，所述对中夹紧板(802)相对的设置两个，且其竖直设置，所述对中支撑柱(801)的底部与底座(1)固连，所述对中夹紧滑轨(803)固设于对中支撑柱(801)的上部并与滑轨(2)相平行，两个对中夹紧板(802)通过齿轮齿条相啮合并沿对中夹紧滑轨(803)滑动以夹持晶硅，使晶硅的中心与晶硅支撑板(704)的中心位于同一竖直线上。


5.根据权利要求4所述的一种晶硅粗磨精磨一体机，其特征在于，所述磨削进给工作台机构(4)包括磨削进给底座(401)、头架组件(402)、尾架组件(403)和尾架进给丝杠(404)，所述磨削进给底座(401)设置在滑轨(2)上，其通过磨削进给丝杠与滑轨(2)滑动连接，所述头架组件(402)和尾架组件(40...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭世锋，徐公志，尹美玲，王永华，
申请(专利权)人：青岛高测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37