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本实用新型涉及一种晶硅粗磨精磨一体机，属于晶硅加工设备领域，包括底座和滑轨，滑轨设置在底座上，沿着滑轨的长度方向依次设置：粗磨区、晶硅转移机构和精磨区，所述粗磨区和精磨区之间设置有晶硅转移机构，所述粗磨区和精磨区均设有用于夹持晶硅的磨削进给...
该专利属于青岛高测科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛高测科技股份有限公司授权不得商用。

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