应变式力传感器不锈钢弹性体的热处理工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种应变式力传感器不锈钢弹性体的热处理工艺，属于金属材料的热处理工艺技术领域。该热处理工艺主要包括预处理、真空脱气、真空高压气淬、深冷处理、真空时效处理和真空稳定化处理步骤，其通过在真空高压气淬前增加真空脱气来降低马氏体不锈钢的气体杂质；在略低的加热温度下进行长时间真空脱气降低了真空高压气淬奥氏体化所需温度和时间，能获得细小均匀奥氏体组织；真空高压气淬前缓慢升温、冷却阶段的均匀快速冷却、降低深冷处理和真空时效处理的升降温速度、增加真空时效处理后的真空稳定化处理工序等可大大消除材料内应力。该工艺显著降低了弹性体的滞后，至不大70ppm，满足C6等级对低滞后应变式力传感器不锈钢弹性体的需求。

【技术实现步骤摘要】
应变式力传感器不锈钢弹性体的热处理工艺
本专利技术涉及一种热处理工艺，尤其涉及一种应变式力传感器不锈钢弹性体的热处理工艺，属于金属材料的热处理工艺

技术介绍
弹性体是应变式力传感器的核心元件，其滞后特性对应变式力传感器的测量精度、稳定性和可靠性的影响很大，其中低滞后应变式力传感器弹性体的材料选择和加工工艺是研制高精度应变式力传感器的关键。马氏体不锈钢具有高强度和耐蚀性，是较理想的应变式力传感器弹性体材料，影响马氏体不锈钢应变式力传感器弹性体滞后特性的因素主要包括弹性体设计、不锈钢成分和热处理工艺等，其中热处理工艺是控制马氏体不锈钢应变式力传感器弹性体的关键技术环节。可制造应变式力传感器弹性体的马氏体不锈钢包括美国17-4PH、英国630、英国631、日本SUS630、国内的0Cr17Ni4Cu4Nb和国内的2Cr13等。除2Cr13外，用于制造应变式力传感器弹性体的马氏体不锈钢均为沉淀硬化马氏体不锈钢。目前广泛应用的应变式力传感器沉淀硬化马氏体不锈钢弹性体的热处理工序包括淬火—深冷处理—时效处理等工序，制造的应本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种应变式力传感器不锈钢弹性体的热处理工艺，其特征在于，主要包括下述步骤：/nS1，预处理：将可热处理的应变式力传感器不锈钢弹性体经严格的清洗工序后装入真空高压气淬炉并抽真空到5×10

【技术特征摘要】
1.一种应变式力传感器不锈钢弹性体的热处理工艺，其特征在于，主要包括下述步骤：
S1，预处理：将可热处理的应变式力传感器不锈钢弹性体经严格的清洗工序后装入真空高压气淬炉并抽真空到5×10-4～5×10-3Pa；
S2，真空脱气：将经S1步骤处理后的应变式力传感器不锈钢弹性体在真空高压气淬炉中缓慢加热到950～980℃并保温3～10小时完成真空脱气；
S3，真空高压气淬：向真空室内通入惰性气体使真空室压强调整到0.01～10Pa，然后将经S2步骤处理的应变式力传感器不锈钢弹性体在真空高压气淬炉中继续缓慢加热到1020～1060℃并保温1～3小时使不锈钢的组织转变为奥氏体，最后向真空室内通入高压惰性气体使应变式力传感器不锈钢弹性体快速均匀地冷却到100℃以下以使奥氏体转变为马氏体；
S4，深冷处理：将经S3步骤处理后的应变式力传感器不锈钢弹性体放入冷处理罐中，缓慢冷却到-50～-100℃并保温1～5小时，使经S3步骤处理后的应变式力传感器不锈钢弹性体的残余奥氏体转变为马氏体；
S5，真空时效处理：将经S4步骤处理后的应变式力传感器不锈钢弹性体在真空回火炉中缓慢加热到460～510℃并保温1～4小时，然后随炉冷却到100℃以下；
S6，真空稳定化处理：将经S5步骤处理后的应变式力传感器不锈钢弹性体在真空回火炉中缓慢加热到120～200℃并保温1～5小时，然后随炉冷却到50℃以下。


2.根据权利要求1所述的应变式力传感器不锈钢弹性体的热处理工艺，其特征在于，S1步骤中所述可热处理的应变式力传感器不锈钢弹性体的材料为沉淀硬化马氏体不锈钢；且S1步骤中的所述清洗工序采用超声波清洗、有机溶剂浸泡清洗和有机溶剂蒸汽清洗中的至少一种。


3.根据权利要求1所述的应变式力传感器不锈钢弹性体的热处理工艺，其特征在于，S2步骤真空脱气过程的升温速度为1～5℃/分钟，并在300～500℃和650～7...

【专利技术属性】
技术研发人员：付志强，高鹏，
申请(专利权)人：苏州思传电子测量技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32