一种自动火抛光加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种自动火抛光加工装置，包括用于支撑整个装置的机架，用于控制产品升降和回转动作的自动回转升降机构，所述自动回转升降机构安装在机架内；用于产品支撑定位的产品工装治具，所述产品工装治具安装在自动回转升降机构上；用于产品自动火抛光作业的焊枪组件，所述焊枪组件安装在机架台面上；为整个装置提供电控控制保障的配电柜和上位机。本发明专利技术实现石英环的自动火抛光，操作简单、效率高且抛光质量均匀，还减少了人为操作步骤，降低了人工成本。

【技术实现步骤摘要】
一种自动火抛光加工装置
本专利技术涉及石英玻璃加工领域，尤其是涉及一种自动火抛光加工装置。
技术介绍
随着芯片行业的快速发展，市场需求激增，半导体设备行业随之发展迅速。石英玻璃产品属于半导体设备常用的耗材部件，需求也随之日益增长。石英玻璃采用高纯度的硅砂作为原材料，成型后本身纯度较高，也可作为半导体材料加工的重要辅材。石英玻璃属于特种玻璃，石英制品加工除机械冷加工外，还有需要高温焊枪加热塑形的火加工，火加工过程中常见有两种工艺：焊接和火抛光。火抛光属于石英玻璃火加工工艺领域内重要工序，工艺要求严苛。当前石英玻璃火抛光工艺基本为人工操作，加工质量稳定性较差且效率低下，人力成本较高。例如，在中国专利文献上公开的“带有凹口的石英大环抛光工艺”，其公告号CN110052899A，包括以下步骤：A、打磨外径；B、清洗；C、将石英大环保持轴线水平放置于工作台，使石英大环的凹口位置处在以石英大环最高点为端点的四分之一圆弧的中点；D、将石英大环缓慢推入退火炉内进行加热，待退火炉升温至950℃，停止加热，将石英大环拖出；E、以火焰喷射的方式对石英大环上部的半个圆周进行高温抛光；F、将石英大环推入退火炉内进行退火；G、检查应力，将石英大环沿轴线旋转180°，以火焰喷射的方式对石英大环未抛光的部分进行高温抛光；H、再次将石英大环推入退火炉内进行退火；I、成品检验。该专利技术所述的工艺基本为人工操作，加工质量稳定性较差且效率低下，人力成本较高。
技术实现思路
本专利技术是为了克服现有的石英玻璃的火抛光工艺基本为人工操作，加工质量差且效率低下，人力成本高的问题，提供一种自动火抛光加工装置，实现产品的自动火抛光，操作简单、效率高且抛光质量均匀，还减少了人为操作步骤，降低了人工成本。为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：一种自动火抛光加工装置，包括用于支撑整个装置的机架，用于控制产品升降和回转动作的自动回转升降机构，所述自动回转升降机构安装在机架内；用于产品支撑定位的产品工装治具，所述产品工装治具安装在自动回转升降机构上；用于产品自动火抛光作业的焊枪组件，所述焊枪组件安装在机架台面上；为整个装置提供电控控制保障的配电柜和上位机。本技术方案中，机架为整个装置提供牢靠的支撑平台，在产品进行自动火抛光时，首先用产品工装治具将产品固定，然后将产品工装治具安装在自动回转升降机构上，自动回转升降机构用于控制产品升降和回转运动，使产品在指定位置开始火抛光作业，最后用焊枪组件对产品进行火抛光作业；配电柜安装在机架的一侧，上位机安装在配电柜上，通过上位机可以调取相应的加工程序启动运行，装置即可全自动按照加工程序运转，即对自动回转升降机构的升降动作和回转动作、焊枪组件的开火和关火进行可编程控制，操作简单便捷，效率高，使产品实现自动火抛光作业，还减少了人为操作步骤，降低了人工成本，且相较于人工火抛光，自动火抛光可以更精准地控制产品，使产品的抛光质量更高；另外，利用上位机进行可编程控制的方案便于试验操作和处理，控制方法准确度高、适用面广，能够为石英圆环产品内外径火抛光提供加工保障。作为优选，所述自动回转升降机构包括升降主轴、用于支撑的升降装置机架，所述升降主轴连接产品工装治具；在所述升降装置机架内设置有用于实现升降主轴升降运动的升降结构和用于实现升降主轴回转运动的回转结构。升降结构和回转结构控制升降主轴的升降运动和回转运动，升降主轴连接产品工装治具，在升降主轴进行升降运动或者回转运动时，就会带动产品工装治具进行升降运动或回转运动，从而实现产品的升降运动和回转运动，便于将产品设置到指定位置并进行火抛光。作为优选，所述升降结构包括支撑板，安装在支撑板上的升降电机、升降丝杆、用于将升降电机内动力传动给升降丝杆的同步带、升降回转支撑箱体，所述升降回转支撑箱体内部与升降丝杆连接。在升降主轴进行升降运动时，启动升降电机，升降电机的动力通过同步带传递给升降丝杆，从而带动升降回转支撑箱体做升降运动，进而带动升降主轴做升降运动，便于对安装在升降主轴上的产品工装治具进行高度调节。作为优选，所述回转结构包括安装在升降回转支撑箱体上的回转电机，所述回转电机内设置有用于将动力传递给升降主轴的齿轮传动机构。在升降主轴进行回转运动时，启动回转电机，回转电机内部通过齿轮传动机构将动力传动给升降主轴，从而驱动升降主轴，实现升降主轴的回转运动，带动固定在升降主轴上的产品工装治具进行速度可调的回转动作，使产品可按照所需速度的进行回转动作，再进行火抛光作业，提高抛光质量。作为优选，在所述升降装置机架的内侧壁上设有升降滑轨，所述升降回转支撑箱体外设置有与升降滑轨配合的升降滑槽。升降滑轨和升降滑槽的设置对升降回转支撑箱体进行导向，有效防止升降回转支撑箱体在升降运动时偏离方向造成不便。作为优选，所述产品工装治具设置为双层结构，所述双层结构包括用于与升降主轴相连的工装底座和用于承载产品的卡爪底座，所述工装底座设置在下层，所述卡爪底座设置在上层，在所述卡爪底座上设置有配套的卡爪。产品工装治具用于固定产品，这里产品是石英圆环，在固定石英圆环时，先将石英圆环放置在卡爪上，卡爪对石英圆环起到支撑定位作用，然后再将卡座底座放置在工装底座上，使产品能随着自动回转升降机构运动，从而对产品的内外径指定位置进行火抛光。作为优选，所述工装底座和卡爪底座配合处设置有定位结构，所述定位结构包括设置在工装底座上的底座阳模和设置在卡爪底座上的底座阴模。定位结构的设置保证了安装完成后的工装底座与卡爪底座位置同心，在使用时，将底座阴模与底座阳模配合，使卡座底座与工装底座精确且快速定位。作为优选，所述焊枪组件包括安装在机架台面上的焊枪支架和装夹在焊枪支架上的自动点火焊枪。自动点火焊枪用于对产品进行自动火抛光作业，焊枪支架安装在机架的台面上，焊枪支架为自动点火焊枪提供了自由可调节装夹机构。作为优选，所述产品工装治具为高纯石墨材质。高纯石墨材质的设置使装置在工作时不会对石英产品造成二次污染。因此，本专利技术具有如下有益效果：（1）实现产品的自动火抛光，操作简单、效率高且抛光质量均匀，还减少了人为操作步骤，降低了人工成本；（2）设置了产品工装治具，便于产品支撑定位；（3）设置了自动回转升降机构，便于调节产品的火抛光位置；（4）分别在设置了底座阳模和底座阴模，便于工装底座与卡爪底座的精确且快速定位；（5）产品工装治具采用高纯石墨材质，不会对石英产品产生二次污染。附图说明图1是一种自动火抛光加工装置的结构示意图；图2是自动回转升降机构的结构示意图；图3是自动回转升降机构的局部剖视图；图4是产品工装治具的结构示意图；图中：1、配电柜2、上位机3、产品工装治具301、工装底座302、卡爪底座303、卡爪304、底座阳模305、底座阴模4、焊枪组件5、自动点火焊枪6、焊枪支架7、产品8、自动回转升降机构801、升降装置机架802、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动火抛光加工装置，其特征是，包括，/n用于支撑整个装置的机架（9），/n用于控制产品（7）升降和回转动作的自动回转升降机构（8），所述自动回转升降机构（8）安装在机架（9）内；/n用于产品支撑定位的产品工装治具（3），所述产品工装治具（3）安装在自动回转升降机构（8）上；/n用于产品自动火抛光作业的焊枪组件（4），所述焊枪组件（4）安装在机架（9）台面上；/n为整个装置提供电控控制保障的配电柜（1）和上位机（2）。/n

【技术特征摘要】
1.一种自动火抛光加工装置，其特征是，包括，
用于支撑整个装置的机架（9），
用于控制产品（7）升降和回转动作的自动回转升降机构（8），所述自动回转升降机构（8）安装在机架（9）内；
用于产品支撑定位的产品工装治具（3），所述产品工装治具（3）安装在自动回转升降机构（8）上；
用于产品自动火抛光作业的焊枪组件（4），所述焊枪组件（4）安装在机架（9）台面上；
为整个装置提供电控控制保障的配电柜（1）和上位机（2）。


2.根据权利要求1所述的一种自动火抛光加工装置，其特征是，所述自动回转升降机构（8）包括升降主轴（808）、用于支撑的升降装置机架（801），所述升降主轴（808）连接产品工装治具（3）；在所述升降装置机架（801）内设置有用于实现升降主轴（808）升降运动的升降结构（809）和用于实现升降主轴（808）回转运动的回转结构。


3.根据权利要求2所述的一种自动火抛光加工装置，其特征是，所述升降结构（809）包括支撑板（802），安装在支撑板（802）上的升降电机（805）、升降丝杆（803）、用于将升降电机（805）内动力传动给升降丝杆（803）的同步带（804）、升降回转支撑箱体（806），所述升降回转支撑箱体（806）内部与升降丝杆（803）连接。


4.根据权利要求3所述的一种自动火抛光加工装置，其特征是，所述回转结构包括安装在升降回转支撑箱体...

【专利技术属性】
技术研发人员：耿健，苏云飞，吴然红，何求，杨军，
申请(专利权)人：杭州大和热磁电子有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33