ALD方式PERC电池降低污染和提升转换效率的方法技术

本发明专利技术涉及光伏电池技术领域，为解决传统ALD方式PERC电池EL测试存在发黑现象和转换率低的问题，提供了一种ALD方式PERC电池降低污染和提升转换效率的方法，包括以下步骤：(1)将镀好氧化铝薄膜的电池片进镀正面减反射薄膜炉管中；(2)炉管升温，气体抽干净，充氮气，调节炉管内压力；(3)完成电离气体制作成等离子体；(4)完成多层减反射薄膜沉积；(5)完成电池片正面减反射薄膜沉积。本发明专利技术利用高能量的等离子体轰击去除电池片正表面的氧化铝薄膜，使后续烧结工序正银浆能够很好的穿透电池片正面的减反射薄膜层，从而与硅片形成良好的欧姆接触，降低接触电阻，有利于效率提升，和改善电池片测试EL发黑比例。

【技术实现步骤摘要】
ALD方式PERC电池降低污染和提升转换效率的方法
本专利技术涉及光伏电池
，尤其涉及一种ALD方式PERC电池降低污染和提升转换效率的方法。
技术介绍
随着现代工业化的发展，石油、煤炭、天然气等不可再生能源日益减少，未来能源问题将成为制约现代化经济发展的瓶颈，而光伏产业能将太阳光源源不断转化成电能，从而有效缓解能源紧张问题。目前ALD方式的PERC太阳能电池的主流工艺路线如下所示：方式1：制绒→扩散→SE→酸抛→氧化→镀氧化铝→镀正膜→镀背膜→激光开槽→印刷→烧结→电注入/光注入→测试转换效率；方式2：制绒→扩散→SE→退火→碱抛→氧化→镀氧化铝→镀正膜→镀背膜→激光开槽→印刷→烧结→电注入/光注入→测试转换效率。ALD方式氧化铝膜厚在1-10nm，氧化铝薄膜折射率在1.3-2.0。特别提出的是，在量产过程中发现该工艺路径制作的PERC电池存在多个缺陷。(1)该工艺路线电池片氧化铝膜沉积时是正、反面同时沉积，无法做到只镀背面氧化铝薄膜；(2)ALD方式氧化铝薄膜是一层一层长上去的，具有致密性优良的特点，在后续电池片表面印本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.ALD方式PERC电池降低污染和提升转换效率的方法，其特征在于，包括以下步骤：/n(1)将镀好氧化铝薄膜的电池片插进石墨舟中，石墨舟叶两边插上电池片，电池片背面完全贴合石墨舟，电池片正面相对应，电池片正面相对应然后送进镀正面减反射薄膜炉管中；/n(2)炉管升温至目标设定值，将炉管内气体抽干净，并填充氮气，调节炉管内压力至设定值；/n(3)通入易电离气体，时间为10～300s，开启射频电源，完成电离气体制作成等离子体；/n(4)在低压下通入氨气、硅烷、笑气，开启射频电源，时间为500～1000s，完成多层减反射薄膜沉积；/n(5)将炉管内未反应完全的气体抽出炉管，并使用氮气填充使炉管内压力回...

【技术特征摘要】
1.ALD方式PERC电池降低污染和提升转换效率的方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)将镀好氧化铝薄膜的电池片插进石墨舟中，石墨舟叶两边插上电池片，电池片背面完全贴合石墨舟，电池片正面相对应，电池片正面相对应然后送进镀正面减反射薄膜炉管中；
(2)炉管升温至目标设定值，将炉管内气体抽干净，并填充氮气，调节炉管内压力至设定值；
(3)通入易电离气体，时间为10～300s，开启射频电源，完成电离气体制作成等离子体；
(4)在低压下通入氨气、硅烷、笑气，开启射频电源，时间为500～1000s，完成多层减反射薄膜沉积；
(5)将炉管内未反应完全的气体抽出炉管，并使用氮气填充使炉管内压力回升至常压，石墨舟退出炉管，完成电池片正面减反射薄膜沉积。


2.根据权利要求1所述的ALD方式PERC电池降低污染和提升转换效率的方法，其特征在于，步骤(2)中，温度的工艺设定值为350～500℃，炉管正常工作压力设定为1300～2000mTorr。


3.根据权利要求1所述的ALD方式PERC电池降低污染和提升转换效率的方法，其特征在于，步骤(3)中，温度的工艺设定值为350～500℃，炉管正常压力设定为1300～2000mTorr，氢气流量为300～6000sccm，射频电源为2000～20000W。


4.根据权利要求1所述的ALD方式PERC电池降低污染和提升转换效率的方法，其特征在于，步骤(3)中，所述易电离气体包括氢气、硅烷和氨气。

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【专利技术属性】
技术研发人员：许成德，孙涌涛，黎剑骑，
申请(专利权)人：横店集团东磁股份有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33