垂直板型电容器以及包括其的图像感测装置制造方法及图纸

垂直板型电容器以及包括其的图像感测装置。公开了一种垂直板型电容器和图像感测装置。该图像感测装置包括：包括图像像素的像素区域；以及位于像素区域的外侧的外围区域。外围区域包括：逻辑电路，其被设置为从像素区域接收像素信号并被配置为处理像素信号；以及电容器，其与逻辑电路相邻设置。电容器包括有源区域、凹陷结构和第一结。有源区域包括第一杂质区域以及形成在第一杂质区域上方的第二杂质区域。凹陷结构包括导电层和绝缘层。导电层沿着第一杂质区域和第二杂质区域层叠的方向延伸。绝缘层形成在导电层和有源区域之间。第一结形成在有源区域中并与凹陷结构间隔开预定距离。

【技术实现步骤摘要】
垂直板型电容器以及包括其的图像感测装置
本专利文献所公开的技术和实现方式涉及一种图像感测装置。
技术介绍
图像传感器是被配置为将光学图像转换为电信号的装置。随着计算机行业和通信行业的不断发展，在例如数字相机、摄像机、个人通信系统(PCS)、游戏机、监控相机、医疗微型相机、机器人等的各种领域中对高质量和高性能图像传感器的需求快速增加。
技术实现思路
所公开的技术的各种实现方式涉及一种垂直板型电容器以及包括该垂直板型电容器的图像感测装置。所公开的技术的一些实现方式涉及一种用于增加每单位区域的电容的垂直板型电容器以及包括该垂直板型电容器的图像感测装置。根据本公开的技术的一方面，一种图像感测装置可包括：像素区域，其包括图像像素并被构造为响应于在像素区域中接收的光来生成像素信号；以及外围区域，其位于像素区域的外侧。外围区域可包括：逻辑电路，其被设置为从像素区域接收像素信号并被配置为处理像素信号，以及电容器，其与逻辑电路相邻设置。电容器可包括有源区域、凹陷结构和第一结。有源区域可包括第一杂质区域以及形成在第一杂质区域上方本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种图像感测装置，该图像感测装置包括：/n像素区域，该像素区域包括图像像素并且被构造为响应于在所述像素区域中接收的光来生成像素信号；以及/n外围区域，该外围区域位于所述像素区域的外侧，/n其中，所述外围区域包括：/n逻辑电路，所述逻辑电路被设置为从所述像素区域接收所述像素信号并且被配置为处理所述像素信号，以及/n电容器，该电容器与所述逻辑电路相邻设置，/n其中，所述电容器包括：/n有源区域，该有源区域包括第一杂质区域以及形成在所述第一杂质区域上方的第二杂质区域，/n凹陷结构，该凹陷结构包括形成在所述有源区域中的部分，该部分包括导电层和绝缘层，所述导电层沿着所述第一杂质区域和所述第二杂质区域...

【技术特征摘要】
20181228 KR 10-2018-01728261.一种图像感测装置，该图像感测装置包括：
像素区域，该像素区域包括图像像素并且被构造为响应于在所述像素区域中接收的光来生成像素信号；以及
外围区域，该外围区域位于所述像素区域的外侧，
其中，所述外围区域包括：
逻辑电路，所述逻辑电路被设置为从所述像素区域接收所述像素信号并且被配置为处理所述像素信号，以及
电容器，该电容器与所述逻辑电路相邻设置，
其中，所述电容器包括：
有源区域，该有源区域包括第一杂质区域以及形成在所述第一杂质区域上方的第二杂质区域，
凹陷结构，该凹陷结构包括形成在所述有源区域中的部分，该部分包括导电层和绝缘层，所述导电层沿着所述第一杂质区域和所述第二杂质区域层叠的方向延伸，所述绝缘层形成在所述导电层和所述有源区域之间，以及
第一结，该第一结形成在所述有源区域中并且与所述凹陷结构间隔开预定距离。


2.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述导电层在水平平面中具有条形状并且在垂直平面中具有板形状。


3.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述第一杂质区域和所述第二杂质区域具有彼此不同的极性。


4.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述第一杂质区域包括N型杂质，并且形成在所述第一杂质区域上方的所述第二杂质区域包括P型杂质。


5.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述第一结包括第三杂质区域，该第三杂质区域具有与所述第二杂质区域相同的极性并且杂质密度高于所述第二杂质区域的杂质密度。


6.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述凹陷结构延伸以穿过所述第二杂质区域。


7.根据权利要求1所述的图像感测装置，该图像感测装置还包括第二结，该第二结形成为具有与所述第一杂质区域相同的极性并且被配置为延伸以穿过所述第二杂质区域，所述第二结联接到所述第一杂质区域。


8.根据权利要求7所述的图像感测装置，其中，所述第二结包括：
第四杂质区域，该第四杂质区域形成为穿过所述第二杂质区域并且联接到所述第一杂质区域，所述第四杂质区域具有与所述第一杂质区域相同的极性并且杂质密度高于所述第一杂质区域的杂质密度；以及
第五杂质区域，该第五杂质区域形成在所述第四杂质区域的上部，该第五杂质区域具有与所述第四杂质区域相同的极性并且杂质密度高于所述第四杂质区域的杂质密度。


9.根据权利要求1所述的图像感测装置，该图像感测装置还包括附加杂质区域，该附加杂质区域形成为围绕所述凹陷结构的侧表面并且具有与所述第一杂质区域相同的极性，所述附加杂质区域与所述第一杂质区域接触。


10.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述凹陷结构形成在所述第二杂质区域中而不延伸到所述第一杂质区域。


11.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述有源区域由器件隔离结构限定并且所述绝缘层的一部分与所述器件隔离结构接触。


12.根据权利要求11所述的图像感测装置，其中，所述绝缘层的与所述器件隔离结构接触的所述部分包括所述凹陷结构的侧表面，所述凹陷结构的所述侧表面比所述凹陷结构的不与所述器件隔离结构接触的另一侧表面更远离所述第一结设置。


13.根据权利要求1所述的图像感测装置，其中，所述第一杂质区域和所述第二杂质区域具有相同的极性，所述第二杂质区域的杂质密度高于所述第一杂质区域的杂质密度。


14.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭坪水，朴圣根，
申请(专利权)人：爱思开海力士有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR