摄像装置制造方法及图纸

提供能够减轻噪声的摄像装置。摄像装置具备：多个像素，以矩阵状被配置，包含像素(111A)、和位于与像素(111A)相同的列的像素(111B)；信号线(113A)，与像素(111A)连接；信号线(113B)，与像素(111B)连接；以及电源线(112B)，与多个像素的至少一个连接，被施加相互不同的两个以上的电压。在将电源线(112B)和信号线(113A)之间的距离设为d1，将电源线(112B)和信号线(113B)之间的距离设为d2的情况下，在与列方向正交的第一截面中，满足d1＜d2，在与列方向正交的与第一截面不同的第二截面中，满足d1＞d2。

Camera

【技术实现步骤摘要】
摄像装置
本公开涉及摄像装置。
技术介绍
以往，已知在半导体基板的上方配置了光电转换层的所谓层叠型的摄像装置。在层叠型的摄像装置中，通过光电转换而生成的电荷作为信号电荷而被临时性地积蓄至例如在半导体基板上形成的扩散区域。与所积蓄的电荷量相应的信号经由在半导体基板上形成的读出电路而被读出。例如，在专利文献1中，公开了多个像素以矩阵状被配置的层叠型的摄像装置。在专利文献1中公开的摄像装置具备在多个像素的列方向及行方向上延伸的信号线或电源线。现有技术文献专利文献专利文献1：(日本)特开2016-127265号公报
技术实现思路
本专利技术要解决的课题在于，需要能够减轻噪声的摄像装置。用于解决课题的手段根据本公开的并非限定性的某例示的实施方式，提供以下方案。本公开的一方式所涉及的摄像装置具备：多个像素，以矩阵状被配置，包含第一像素、和位于与所述第一像素相同的列的第二像素；第一信号线，与所述第一像素连接；第二信号线，与所述第二像素连接；以及电源线，与所述多个像素的至少一个连接，被施加相互不同的两个以上的电压。在将所述电源线与所述第一信号线之间的距离设为d1，将所述电源线与所述第二信号线之间的距离设为d2的情况下，在与列方向正交的第一截面中，满足d1＜d2，在与所述列方向正交的与所述第一截面不同的第二截面中，满足d1＞d2。此外，概括性的或具体的方式也可以由元件、设备、模块、系统或方法来实现。此外，概括性的或具体的方式也可以通过元件、设备、装置、模块、系统及方法的任意的组合来实现。此外，所公开的实施方式的追加的效果及优点根据说明书及附图变得明确。效果及/或优点由在说明书及附图中公开的各种实施方式或特征而分别被提供，为了得到它们的一个以上而不需要全部。专利技术效果根据本公开，能够提供噪声被减轻的摄像装置。附图说明图1是表示实施方式一所涉及的摄像装置的概要的框图。图2是表示构成实施方式一所涉及的摄像装置的主要的结构要素的框图。图3是表示实施方式一所涉及的像素的例示的电路结构的电路图。图4是表示实施方式一所涉及的像素的例示的电路结构的其他例的电路图。图5是表示实施方式一所涉及的像素的例示的截面构造的截面图。图6A是表示实施方式一所涉及的电源线的例示的布局构造的俯视图。图6B是表示实施方式一所涉及的信号线的例示的布局构造的俯视图。图7是表示图6B的VII-VII线上的实施方式一所涉及的信号线、电源线和FD布线的例示的截面构造的截面图。图8A是表示实施方式一所涉及的电源线的例示的布局构造的其他例的俯视图。图8B是表示实施方式一所涉及的信号线的例示的布局构造的其他例的俯视图。图9A是表示实施方式二所涉及的电源线的例示的布局构造的俯视图。图9B是表示实施方式二所涉及的信号线的例示的布局构造的俯视图。图10是表示图9B的X-X线上的实施方式二所涉及的信号线、电源线和FD布线的例示的截面构造的截面图。图11是表示图9B的XI-XI线上的实施方式二所涉及的信号线、电源线和FD布线的例示的截面构造的截面图。图12A是表示实施方式二所涉及的电源线的例示的布局构造的其他例的俯视图。图12B是表示实施方式二所涉及的信号线的例示的布局构造的其他例的俯视图。图13A是表示实施方式三所涉及的电源线的例示的布局构造的俯视图。图13B是表示实施方式三所涉及的信号线的例示的布局构造的俯视图。图14是表示图13B的XIV-XIV线上的实施方式三所涉及的信号线、电源线和FD布线的例示的截面构造的截面图。图15是表示图13B的XV-XV线上的实施方式三所涉及的信号线、电源线和FD布线的例示的截面构造的截面图。图16A是表示实施方式三所涉及的电源线的例示的布局构造的其他例的俯视图。图16B是表示实施方式三所涉及的信号线的例示的布局构造的其他例的俯视图。图17A是表示实施方式三所涉及的电源线的例示的布局构造的其他例的俯视图。图17B是表示实施方式三所涉及的信号线的例示的布局构造的其他例的俯视图。图18A是表示实施方式三所涉及的电源线的例示的布局构造的其他例的俯视图。图18B是表示实施方式三所涉及的信号线的例示的布局构造的其他例的俯视图。图19A是表示实施方式四所涉及的电源线的例示的布局构造的俯视图。图19B是表示实施方式四所涉及的信号线的例示的布局构造的俯视图。图20是表示图19B的XX-XX线上的实施方式四所涉及的信号线、电源线和FD布线的例示的截面构造的截面图。图21是表示图19B的XXI-XXI线上的实施方式四所涉及的信号线、电源线和FD布线的例示的截面构造的截面图。图22A是表示实施方式五所涉及的电源线的例示的布局构造的俯视图。图22B是表示实施方式五所涉及的信号线的例示的布局构造的俯视图。图23是表示图22B的XXIII-XXIII线上的实施方式五所涉及的信号线、电源线和FD布线的例示的截面构造的截面图。图24是表示图22B的XXIV-XXIV线上的实施方式五所涉及的信号线、电源线和FD布线的例示的截面构造的截面图。图25A是表示实施方式六所涉及的电源线的例示的布局构造的俯视图。图25B是表示实施方式六所涉及的信号线的例示的布局构造的俯视图。图26是表示图25B的XXVI-XXVI线上的实施方式六所涉及的信号线、电源线和FD布线的例示的截面构造的截面图。图27是表示图25B的XXVII-XXVII线上的实施方式六所涉及的信号线、电源线和FD布线的例示的截面构造的截面图。图28A是表示实施方式七所涉及的电源线的例示的布局构造的俯视图。图28B是表示实施方式七所涉及的信号线的例示的布局构造的俯视图。图29是表示图28B的XXIX-XXIX线上的实施方式七所涉及的信号线、电源线和FD布线的例示的截面构造的截面图。图30是表示图28B的XXX-XXX线上的实施方式七所涉及的信号线、电源线和FD布线的例示的截面构造的截面图。图31是表示图28B的XXXI-XXXI线上的实施方式七所涉及的信号线、电源线和FD布线的例示的截面构造的截面图。图32是表示图28B的XXXII-XXXII线上的实施方式七所涉及的信号线、电源线和FD布线的例示的截面构造的截面图。图33A是表示实施方式八所涉及的电源线的例示的布局构造的俯视图。图33B是表示实施方式八所涉及的信号线的例示的布局构造的俯视图。图34是表示图33B的XXXIV-XXXIV线上的实施方式八所涉及的信号线、电源线和FD布线的例示的截面构造的截面图。图35是表示图33B的XXXV-XXXV线上的实施方式八所涉及的信号线、电源线和FD布线的例示的截面构造的截面图。...

【技术保护点】
1.一种摄像装置，具备：/n多个像素，以矩阵状被配置，包含第一像素、以及位于与所述第一像素相同的列的第二像素；/n第一信号线，与所述第一像素连接；/n第二信号线，与所述第二像素连接；以及/n电源线，与所述多个像素的至少一个连接，被施加相互不同的两个以上的电压，/n在将所述电源线与所述第一信号线之间的距离设为d1，将所述电源线与所述第二信号线之间的距离设为d2的情况下，/n在与列方向正交的第一截面中，满足d1＜d2，/n在与所述列方向正交的与所述第一截面不同的第二截面中，满足d1＞d2。/n

【技术特征摘要】
20181226 JP 2018-2433441.一种摄像装置，具备：
多个像素，以矩阵状被配置，包含第一像素、以及位于与所述第一像素相同的列的第二像素；
第一信号线，与所述第一像素连接；
第二信号线，与所述第二像素连接；以及
电源线，与所述多个像素的至少一个连接，被施加相互不同的两个以上的电压，
在将所述电源线与所述第一信号线之间的距离设为d1，将所述电源线与所述第二信号线之间的距离设为d2的情况下，
在与列方向正交的第一截面中，满足d1＜d2，
在与所述列方向正交的与所述第一截面不同的第二截面中，满足d1＞d2。


2.如权利要求1所述的摄像装置，还具备：
基板；以及
第一布线层、第二布线层及第三布线层，位于所述基板上，离所述基板的距离相互不同，
所述多个像素以矩阵状被配置在所述基板上，
在所述第一截面或所述第二截面中，
所述电源线位于所述第一布线层内，
所述第一信号线位于所述第二布线层内或第三布线层内，
所述第二信号线位于所述第二布线层内或第三布线层内。


3.如权利要求1所述的摄像装置，
所述电源线在所述列方向上以直线状延伸，
所述第一信号线及所述第二信号线各自具有在所述列方向上延伸的第一部分及第二部分、以及在与所述列方向不同的方向上延伸的第三部分，所述第三部分的一端与所述第一部分连接，且所述第三部分的另一端与所述第二部分连接。


4.如权利要求2所述的摄像装置，
所述电源线在所述列方向上以直线状在所述第一布线层内延伸，
所述第一信号线及所述第二信号线各自的一部分位于所述第二布线层内，且另一部分位于所述第三布线层内。


5.如权利要求1所述的摄像装置，
所述多个像素包含位于与所述第一像素及所述第二像素相同的列的第三像素及第四像素，
摄像装置具备：
第三信号线，与所述第三像素连接；以及
第四信号线，与所述第四像素连接，
所述电源线在所述列方向上以直线状延伸，
所述第一信号线、所述第二信号线、所述第三信号线及所述第四信号线各自具有在所述列方向上延伸的第一部分及第二部分、以及在与所述列方向不同的方向上延伸的第三部分，所述第三部分的一端与所述第一部分连接，且所述第三部分的另一端与所述第二部分连接。


6.如权利要求2所述的摄像装置，
所述多个像素包含位于与所述第一像素及所述第二像素相同的列的第三像素及第四像素，
摄像装置具备：
第三信号线，与所述第三像素连接；以及
第四信号线，与所述第四像素连接，
所述电源线在所述列方向上以直线状在所述第一布线层内延伸，
所述第一信号线、所述第二信号线、所述第三信号线及所述第四信号线各自的一部分位于所述第二布线层内，且另一部分位于所述第三布线层内。


7.如权利要求1所述的摄像...

【专利技术属性】
技术研发人员：小林努，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP