膜片分离装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种膜片分离装置，所述膜片分离装置包括承载台、分离机构和收集机构；所述承载台包括承载面，所述承载面用于吸附膜片的衬底，所述收集机构包括收集面；所述承载面与所述收集面分别设置在所述分离机构的两侧，且所述承载面与所述分离机构相对，所述收集面与所述分离机构相背，所述分离机构包括分离辊，所述分离辊能够绕自身轴线转动且同时能够相对所述承载台运动，所述分离辊外表面设置有多个第一外气孔，所述多个第一外气孔能够分别吸气或者喷气。本发明专利技术还提供一种膜片分离方法，所述膜片分离装置在分离过程中能够避免该膜片的本体的功能层被损坏或者被污染。

【技术实现步骤摘要】
膜片分离装置及方法
本专利技术涉及膜片分离
，具体地涉及一种膜片分离装置，以及利用该膜片分离装置执行的膜片分离方法。
技术介绍
目前，相关的膜片分离技术包括机械剥离、激光剥离以及湿法腐蚀剥离。在湿法腐蚀剥离技术中，湿法剥离后需要将膜片的本体与膜片的衬底分离。现有技术中，膜片的本体和膜片的衬底分离的过程中存在膜片的本体的功能层损伤或者被污染的问题。因此，如何设计一种膜片分离机构以避免在膜片的本体和膜片的衬底分离过程中膜片的本体功能层被损伤或者被污染成为亟需解决的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种膜片分离装置，以及利用该膜片分离装置执行的膜片分离方法。所述膜片分离装置在分离过程中能够避免所述膜片的本体的功能层被损坏或者被污染。为了解决上述技术问题，作为本专利技术的第一个方面，提供一种膜片分离装置，其中，所述膜片分离装置包括承载台、分离机构和收集机构；所述承载台包括承载面，所述承载面用于吸附膜片的衬底，所述收集机构包括收集面；所述承载面与所述收集面分别设置在所述分离机构的两侧，且所述承载面与所述分离机构相对，所述收集面与所述分离机构相背，所述分离机构包括分离辊，所述分离辊能够绕自身轴线转动且同时能够相对所述承载台运动，所述分离辊外表面设置有多个第一外气孔，所述多个第一外气孔能够分别吸气或者喷气。优选地，所述膜片分离装置包括平移驱动装置和旋转驱动装置，所述平移驱动装置包括导轨和平移驱动机构，所述承载台和所述收集机构在导轨所在平面的投影不相重叠或部分重叠，所述平移驱动机构用于驱动所述分离辊沿所述导轨在所述承载台和所述收集机构之间平移，所述旋转驱动装置能够在所述分离辊平移的同时驱动所述分离辊绕自身轴线转动。优选地，所述分离辊包括柱状本体，所述柱状本体包括多个间隔设置的第一气孔区，每个所述第一气孔区包括多个所述第一外气孔，所述多个第一外气孔与气源装置连通，所述气源装置用于提供负压或提供压缩气体。优选地，所述第一气孔区还包括至少一个连通腔和多个第一内气孔，所述第一内气孔设置在所述柱状本体的内壁，所述第一外气孔设置在所述柱状本体的外壁，所述连通腔连通所述第一内气孔和所述第一外气孔。优选地，所述分离机构还包括第一气路组件和第二气路组件，所述气源装置通过所述第一气路组件和所述第二气路组件中的一个为所述第一气孔区提供负压，所述气源装置通过所述第一气路组件和所述第二气路组件中的另一个向所述第一气孔区提供压缩气体。优选地，所述第一气路组件包括第一分气罐、第一主气体管路、多个第一支气体管路，所述第一分气罐通过所述第一支气体管路与对应的所述第一内气孔选择性连通，所述第一主气体管路的一端与所述第一分气罐连通，所述第一主气体管路的另一端与所述气源装置连接；所述第二气路组件包括第二分气罐、第二主气体管路、多个第二支气体管路，所述第二分气罐通过所述第二支气体管路与对应的所述第一内气孔选择性连通，所述第二主气体管路的一端与所述第二分气罐连通，所述第二主气体管路的另一端与所述气源装置连接。优选地，所述收集机构包括带传送组件、过渡件和吸附台，在所述膜片分离装置的高度方向上，所述带传送组件的传送带移动至朝向上方的面形成为所述收集面，所述吸附台设置在所述带传送组件的收集面的下方，所述吸附台朝向收集面的一侧包括第一吸附区，所述第一吸附区能够透过所述传送带的对位于所述收集面上的物体进行吸附；所述过渡件设置在所述带传送组件的长度方向靠近所述分离机构一侧，所述过渡件朝上的表面形成为过渡面，所述过渡面与所述收集面齐平。优选地，所述承载面包括第二吸附区和吹气区，所述吹气区设置在所述第二吸附区边缘，所述第二吸附区用于吸附所述膜片的衬底，所述吹气区用于将所述膜片的本体的边缘吹起。优选地，所述膜片分离装置还包括第三气路组件和第四气路组件，所述第三气路组件用于为所述第二吸附区提供负压，所述第四气路组件用于对所述吹气区提供压缩气体。优选地，所述膜片分离装置还包括设置在所述分离机构上和/或所述承载台上的压力检测器件，所述压力检测器件用于检测所述分离机构与所述承载台之间的压力值，当所述压力值达到预设压力值范围时，所述第四气路组件对所述吹气区提供压缩气体，以将所述膜片的本体的边缘吹起。作为本专利技术第二个方面，提供一种膜片分离方法，其中，采用本专利技术所提供的膜片分离装置执行所述膜片分离方法，所述膜片分离方法包括：S1、将膜片放置在所述承载台上；S2、将分离机构设置在所述承载台上方，使得分离辊与所述膜片组件接触，控制所述分离辊绕自身轴线转动且同时相对所述承载台运动，同时控制分离辊上的第一外气孔吸附所述膜片的本体，以将所述膜片的本体与所述膜片的衬底分离，并将所述膜片的本体吸附在所述分离辊的表面上；S3、将所述分离机构移动至所述收集机构一侧，控制所述分离辊旋转，同时控制所述第一外气孔喷气，以实现所述膜片的本体与所述分离辊的分离；S4、控制停止所述第一外气孔喷气，以使得所述膜片的本体朝向所述分离辊一侧的表面与所述收集面接触，继续控制所述分离辊转动，以将膜片的本体转移至所述收集面上。本专利技术的有益技术效果：在所述分离机构配合所述承载台实现膜片的本体与膜片的衬底分离的过程中，以及将所述膜片的本体从所述柱状本体卸载到所述收集面上的过程中，通过对第一气孔区的分区控制、配合所述分离辊转动，同步动作，实现了所述膜片的本体与所述膜片的衬底的线性分离，相较于膜片的本体整面分离，分离成功率更高，有效避免分离机构与膜片的本体接触面积过大导致分离无效；并且，从所述分离辊上将所述膜片的本体卸载到所述收集机构的收集面的过程中，所述膜片的本体的功能层(即，未与所述分离辊表面接触的一侧)不与所述收集面接触，从而避免了该膜片的本体的功能层被损坏或者被污染；此外，所述承载台上设置有吹气区，在执行膜片的本体与膜片的衬底分离时，通过对膜片的本体边缘的吹起实现预分离，有助于分离步骤执行。附图说明附图是用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本专利技术，但并不构成对本专利技术的限制。在附图中：图1为本专利技术所提供的膜片分离装置的立体结构示意图；图2为图1所示膜片分离装置的侧视图；图3为图1所示膜片分离装置的俯视图，其中，去除了所述分离辊的柱状本体的一部分；图4为图3中局部旋转90°的放大图；图5为本专利技术所提供的膜片分离装置的分离辊的结构示意图；图6为图5中所示的分离辊的剖面结构示意图；图7为本专利技术所提供的所述膜片分离方法的流程示意图。附图标记说明100、膜片分离装置；110、膜片；120、承载台；130、分离辊；131、柱状本体；132、第一气孔区；133、盖体；134、第一分气罐；135、第二分气罐；136、第一气体支管路；137、第二气体支管路；138、第一气体主管路；139、第二气体主管路；140、收集机构；141、带传送组件；142、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种膜片分离装置，其特征在于，所述膜片分离装置包括承载台、分离机构和收集机构；/n所述承载台包括承载面，所述承载面用于吸附膜片的衬底，所述收集机构包括收集面；所述承载面与所述收集面分别设置在所述分离机构的两侧，且所述承载面与所述分离机构相对，所述收集面与所述分离机构相背，所述分离机构包括分离辊，所述分离辊能够绕自身轴线转动且同时能够相对所述承载台运动，所述分离辊外表面设置有多个第一外气孔，所述多个第一外气孔能够分别吸气或者喷气。/n

【技术特征摘要】
1.一种膜片分离装置，其特征在于，所述膜片分离装置包括承载台、分离机构和收集机构；
所述承载台包括承载面，所述承载面用于吸附膜片的衬底，所述收集机构包括收集面；所述承载面与所述收集面分别设置在所述分离机构的两侧，且所述承载面与所述分离机构相对，所述收集面与所述分离机构相背，所述分离机构包括分离辊，所述分离辊能够绕自身轴线转动且同时能够相对所述承载台运动，所述分离辊外表面设置有多个第一外气孔，所述多个第一外气孔能够分别吸气或者喷气。


2.根据权利要求1所述的膜片分离装置，其特征在于，所述膜片分离装置包括平移驱动装置和旋转驱动装置，
所述平移驱动装置包括导轨和平移驱动机构，所述承载台和所述收集机构在导轨所在平面的投影不相重叠或部分重叠，所述平移驱动机构用于驱动所述分离辊沿所述导轨在所述承载台和所述收集机构之间平移，所述旋转驱动装置能够在所述分离辊平移的同时驱动所述分离辊绕自身轴线转动。


3.根据权利要求1所述的膜片分离装置，其特征在于，所述分离辊包括柱状本体，所述柱状本体包括多个间隔设置的第一气孔区，每个所述第一气孔区包括多个所述第一外气孔，所述多个第一外气孔与气源装置连通，所述气源装置用于提供负压或提供压缩气体。


4.根据权利要求3所述的膜片分离装置，其特征在于，所述第一气孔区还包括至少一个连通腔和多个第一内气孔，所述第一内气孔设置在所述柱状本体的内壁，所述第一外气孔设置在所述柱状本体的外壁，所述连通腔连通所述第一内气孔和所述第一外气孔。


5.根据权利要求4所述的膜片分离装置，其特征在于，所述分离机构还包括第一气路组件和第二气路组件，所述气源装置通过所述第一气路组件和所述第二气路组件中的一个为所述第一气孔区提供负压，所述气源装置通过所述第一气路组件和所述第二气路组件中的另一个向所述第一气孔区提供压缩气体。


6.根据权利要求5所述的膜片分离装置，其特征在于，所述第一气路组件包括第一分气罐、第一主气体管路、多个第一支气体管路，所述第一分气罐通过所述第一支气体管路与对应的所述第一内气孔选择性连通，所述第一主气体管路的一端与所述第一分气罐连通，所述第一主气体管路的另一端与所述气源装置连接；
所述第二气路组件包括第二分气罐、第二主气体管路、多个第二支气体管路，所述第二分气罐通过所述第二支气体管路与对应的所述第一内气孔选择性连通，所述第二主气体管路的一端与所述第二分气...

【专利技术属性】
技术研发人员：兰立广，李秋凤，刘香廷，姚立强，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11