多工位并列真空烧结炉制造技术

一种多工位并列真空烧结炉，包括有机架、真空室、外式加热器，其特征在于：机架为平台式结构，在平台式机架上部排列有纵向和横向的交叉轨道。（*该技术在2013年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本技术涉及一种真空烧结炉，具体地说是综合利用真空和高温加热来进行处理的烧结炉。
技术介绍
目前国内半导体和电力电子行业在处理电子器件过程中，一般均需进行熔解或软化处理，所使用的烧结炉有链(带)式烧结炉或真空烧结炉等。链(带)式烧结炉，所烧结的产品经非氧化气体保护后通过预热区、高温区、再冷却处理后出炉。在整个处理过程中，所烧结的产品被非氧化气体(一般为氮气)所包围，在降温时易在产品内部产生气泡而不易清洗去除，因此影响到电子器件的使用寿命和成品率。现在也有采用真空烧结炉的，在烧结炉内放入产品后将炉体抽真空，再通过高温加热进行烧结处理。此种真空炉虽可部分解决隧道炉的产生气泡的问题，但每次所能处理的产品数量较少、生产效率低，生产成本也较为提高。随着我国电子工业的发展，对于电子专用设备生产厂家来说，如何通过提高效率、降低成本来提高成品率，将关系到产品的行业竞争力和技术创新高度。因而上述现有设备所存在问题，是生产厂家所迫切要解决的课题内容。
技术实现思路
本技术所述的多工位并列真空烧结炉，其设计方案旨在提供一种利用统筹法合理设计的并列式烧结炉，通过配置有多工位交叉运行的操作平台，来综合提高真空高温处理的生产效率和质量。结构相对简易、能够解决如上所述的问题和不足。本技术所述的多工位并列真空烧结炉，主要包括有平台式机架、真空室、外式加热器。在平台式机架上设置有往复式滑轨，往复式滑轨由纵向、横向轨道交叉排列而成为矩形轮廓。外式加热器可在往复式滑轨上完成向前、向后、向左、向右的纵向、横向位移。若干个真空室并列地固定、排列在平台式机架上的一端。每个真空室是一端封闭、另一端设有进料口的管体。在进料口处设置有真空密封门，其锁紧装置可将进料口密封固定。在进料口附近设置由真空泵、压力计、充气阀和放气阀等构成的抽真空装置。在真空室内腔在沿纵向长度方向上设置有带滑轮的托架，托架与进料口密封门处在同一平面上。当打开密封门，将所处理的产品沿托架由外向内、利用滑轮在托架上滑入到真空室内。依次将所处理的产品滑入真空室内，直至真空室被填充满为止。实际上，所处理的产品即在真空室内的托架上完成加热烧结的。当产品被烧结处理完毕后，也是通过真空室内的托架，将产成品依次由内向外地被取出。在真空室内腔接近密封门处设置有水冷却装置。平台式机架的一端设置有至少2个真空室，可在每一个真空室的上方固定设置有一冷却风罩。在冷却风罩上端设置有出风口。在冷却风罩的下方、平台式机架上部设置有进风口和风机。外式加热器为中空的套管式结构，以便将真空室套设在中心部位进行辐射加热。外式加热器可为中空圆柱体、中空棱柱体或中空箱体形状。外式加热器一端连接有电源，在其底部设置有若干个滑轮，使得外式加热器可架设、滑行在平台式机架的滑轨上。本技术所述的多工位并列真空烧结炉，为提高烧结处理产品的进度，可以在真空室内进一步地设置有内加热装置。内加热装置辅设在真空室内的托架下方，并与外部电源连接。特别地，当烧结处理完毕后的冷却过程中，为防止因降温过快而导致产品中所含的玻璃层破裂，需要在冷却降温的同时控制降温速率。以上就是，本技术所述的多工位并列真空烧结炉的总体设计构思。本技术所述的多工位并列真空烧结炉，由于具有内外结合方式的加热装置、水冷却和风机冷却和往复式平面位移滑轨，便得真空烧结工序安排合理，有效提高了生产效率和产品质量，具有以下优点和有益效果。1、往复式平面位移滑轨，可提供多工位操作平台，进一步缩短过程中的准备工序，使得一台外式加热器可供应多台真空室交叉工作，从而能够合理安排工艺流程，减少操作工人数量、降低生产成本。2、真空加热方式、外在和内在式加热装置的同时使用，使得所处理的产品在真空状态下迅速升温，以及可控制地逐步降温，保证了产品内部不产生气泡，使得产品质量得到保证、提高成品率。附图说明图1为本技术所述的多工位并列真空烧结炉的结构示意图；图2为多工位并列真空烧结炉的前部示意图。以下结合附图对本技术结构作进一步的描述本技术所述的多工位并列真空烧结炉，包括有平台式机架1、冷却风罩2、真空室3、外式加热器4。平台式机架1包括有往复式滑轨11(从图2中可以看出滑轨11具有纵向和横向的轨道)，在前部具有操作显示面板12。在冷却风罩2上端设置有出风口21，在冷却风罩下方、平台式机架上部设置有风机。其中真空室3包括有真空密封门31，由真空泵、压力计32等构成的抽真空装置，带滑轮的托架33，内加热装置34。外式加热器4为中空的套管式结构，可向前、向后、向左、向右滑行位移在平台式机架1上。实施例实施1，结合图1和图2所示内容，一种多工位并列真空烧结炉，包括有一平台式机架1、冷却风罩2、真空室3、一外式加热器4。2个真空室3并列地固定在平台式机架1的一端，在每个真空室3上方设置一冷却风罩2。每个真空室3是一端封闭、另一端设有进料口的中空管体。在进料口处设置有真空密封门31，在进料口附近设置有由真空泵、压力计32等构成的抽真空装置。在真空室3内腔沿纵向方向设置有带滑轮的托架33。在真空室3内腔托架33的下方辅设有一内加热装置34，内加热装置34是内部中空的绝缘瓷管，内部内嵌有电加热丝。在真空室内腔接近密封门处设置有水冷却装置。在冷却风罩2上端设置有出风口21。在冷却风罩的下方、平台式机架上部设置有风机。外式加热器4为中空的套管式结构，一端连接有电源，在其底部设置有6个滑轮，使得外式加热器可架设、滑行在平台式机架的滑轨上。使用本技术所述的多工位并列真空烧结炉的操作流程如下多工位并列真空烧结炉的平台式机架的一端并列地固定连接有2个真空室，使用一个真空室进行高温烧结的同时，可以对另一真空室进行风冷冷却、以及进行冷却后的产品收集、或是重新填装需处理的产品。当填装需处理的产品时，将真空室进料口处的真空密封门找开，当将所处理的产品沿有带滑轮的托架，由外向内地利用滑轮依次推入到真空室内，直至真空室被填充满为止。再利用密封门锁紧装置密封好，然后对真空室进行抽真空操作。在真空室的进料口附近设置有抽气口、并安装配置有真空泵、压力计、充气阀和放气阀等构成的抽真空装置。将平台式机架上设置的外式加热器，沿往复式滑轨推进套装入真空室外部，将真空室套设在中心部位进行辐射加热。同时，在真空室内的内加热装置，在真空室内的托架下方进行辅助加热。加热形式也为辐射加热。内加热装置是一内部中空、内嵌有电加热丝、外套绝缘瓷管的板式结构，当外式加热器进行高热加热时，内加热装置在托架下方直接对托架上的产品进行辐射加热。这就大大加快了加热工艺流程。在进行完加热步骤后，首先将外式加热器脱离开真空室，并沿往复式轨道滑行至另一真空室外部，对进行另一真空室进行加热操作。对另一真空室进行加热时，对于目前这一已加热完毕的真空室，同时采用水冷却和开启风机系统，即设置在平台式机架上部的风机系统，在冷却风罩内产生对流空气。综合利用上述冷却方式，来带走真空室内的工作产生的热量。但同时，内加热装置仍处于工作状态，使得真空室内的温度逐步下降，则加热被溶化的玻璃层或硅层就均匀地覆盖在电子器件表面而凝结。与此同时，通过抽真空装置的充气阀向真空室内充入空气，操作人员可以通过操作显示面板进行操作，同时通过压力计测算真空室内的气压是否回复本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：王忠立，
申请(专利权)人：王忠立，
类型：实用新型
国别省市：