【技术实现步骤摘要】
一种金属衬底发光器件晶圆的分离方法
本专利技术涉及一种金属衬底发光器件制备工艺,尤其涉及一种金属衬底发光器件晶圆的分离方法。
技术介绍
金属衬底因为其良好的导热性、延展性和导电性,在垂直结构的发光器件中有着一定的应用,目前,金属衬底垂直结构LED因为其在大电流条件下表现良好,其在大功率照明市场中有着广泛应用,在制备好发光器件后,需要将金属衬底的器件分离,这种分离方法对器件的良率有重要的影响。对于金属衬底的晶圆片,目前普遍采用的是激光切割晶圆正面的方法来分离器件,如图3和图4所示。然而,因为激光切割金属衬底的功率较大,激光烧蚀区域温度瞬间温度很高,而发光器件之间的间隙因为成本因素普遍设计在几十微米到一百多微米,烧蚀区域的热量在衬底表面经过几十微米的短距离传导,导致发光区温度较高,另外,激光切割的金属碎渣容易飞溅到发光区,增加器件漏电的风险,在正面激光切割时,通常会涂覆保护液,以降低激光烧蚀的金属残渣飞溅风险,但是却无法完全避免。
技术实现思路
为解决上述问题,本专利技术提供一种金属衬底发光器件晶圆的分离方法,本专利技术采用背面切割方法能显著降低激光烧蚀的高温对发光区的影响,彻底消除金属残渣飞溅影响发光区的风险。本专利技术提供的晶圆分离方案如下:提供一金属衬底,金属衬底正面形成有发光器件阵列,每个发光器件与衬底通过金属连接层相连,相邻发光器件之间形成间隙,在金属衬底背面制作辅助图形作为激光束背面运动的参考,激光束在衬底背面聚焦,并参考衬底背面的辅助图形对衬底背面进行烧蚀,在衬底 ...
【技术保护点】
1.一种金属衬底发光器件晶圆的分离方法,包括:/n提供一金属衬底,发光芯片阵列通过金属连接层与金属衬底正面相连,相邻发光器件之间形成间隙;/n在金属衬底背面形成辅助图形;/n激光束在衬底背面聚焦,并参考衬底背面的辅助图形对衬底背面进行烧蚀;/n在衬底正面沿着背面激光烧蚀线在正面投影的中心位置进行劈裂,使得发光器件分离。/n
【技术特征摘要】
1.一种金属衬底发光器件晶圆的分离方法,包括:
提供一金属衬底,发光芯片阵列通过金属连接层与金属衬底正面相连,相邻发光器件之间形成间隙;
在金属衬底背面形成辅助图形;
激光束在衬底背面聚焦,并参考衬底背面的辅助图形对衬底背面进行烧蚀;
在衬底正面沿着背面激光烧蚀线在正面投影的中心位置进行劈裂,使得发光器件分离。
2.根据权利要求1所述的一种金属衬底发光器件的分离方法,其特征在于:所述的金属衬底由钨、...
【专利技术属性】
技术研发人员:龚平,吴旗召,
申请(专利权)人:西安唐晶量子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:陕西;61
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