本实用新型专利技术公开了一种用于砷化镓生产的单晶炉保温筒夹具,包括圆板、夹紧装置、固定装置,所述夹紧装置包括方形柱、转轴、托块、螺纹杆一,方形柱内竖向设置转轴,转轴上端安装旋转块一,转轴下端安装伞齿轮一,方形柱靠近圆板中心位置的一端下部安装托块,托块内设置螺纹杆一,螺纹杆一外表面套设伞齿轮二,且伞齿轮二位于方形柱内,伞齿轮二与伞齿轮一相啮合,托块上端开设有滑动槽,螺纹杆一外表面套设内螺纹块,内螺纹块上端安装夹紧杆,本实用新型专利技术转动旋转块一通过转轴、伞齿轮一、伞齿轮二、螺纹杆一和内螺纹块传动,带动夹紧杆移动,使本装置能适应多种厚度不同的保温筒。
【技术实现步骤摘要】
一种用于砷化镓生产的单晶炉保温筒夹具
本技术涉及砷化镓生产
,具体是一种用于砷化镓生产的单晶炉保温筒夹具。
技术介绍
砷化镓是一种重要的半导体材料。属Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体。属闪锌矿型晶格结构,晶格常数5.65×10-10m,熔点1237℃,禁带宽度1.4电子伏。砷化镓于1964年进入实用阶段。砷化镓可以制成电阻率比硅、锗高3个数量级以上的半绝缘高阻材料,用来制作集成电路衬底、红外探测器、γ光子探测器等。由于其电子迁移率比硅大5~6倍,故在制作微波器件和高速数字电路方面得到重要应用。用砷化镓制成的半导体器件具有高频、高温、低温性能好、噪声小、抗辐射能力强等优点。单晶炉是用直拉法生产砷化镓晶体的重要设备,在单晶直拉工艺中,晶棒拉制后需要重新取出保温筒,在对保温筒进行取出时,大部分都是由2-3位操作工戴着耐高温手套,一起将保温筒抬出单晶炉,当距离过近时容易碰到保温筒,造成烫伤的情况,在此需要使用一种夹紧装置,现有技术中的夹具都是用钩子勾住保温筒底部,虽然能做到避免工人被烫伤的情况,但钩子的弧度是固定的,适应差。因此,本领域技术人员提供了一种用于砷化镓生产的单晶炉保温筒夹具,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于砷化镓生产的单晶炉保温筒夹具,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种用于砷化镓生产的单晶炉保温筒夹具,包括圆板、夹紧装置、固定装置,所述圆板上端开设四个长方槽,且四个长方槽呈十字形在圆板上端排列,长方槽内设置有夹紧装置,夹紧装置包括方形柱、转轴、托块、螺纹杆一,方形柱位于长方槽内,且方形柱与长方槽滑动连接,方形柱内竖向设置转轴,且转轴上端穿过方形柱上端,转轴上端安装旋转块一,转轴下端安装伞齿轮一,方形柱靠近圆板中心位置的一端下部安装托块,托块内横向设置螺纹杆一,且螺纹杆一位于伞齿轮一下方,螺纹杆一靠近圆板中心位置的一端安装轴承座一,螺纹杆一另一端穿过托块和方形柱安装轴承座二,且轴承座二固定连接在方形柱内壁,轴承座一固定连接在托块内壁,螺纹杆一外表面套设伞齿轮二,且伞齿轮二位于方形柱内,伞齿轮二与伞齿轮一相啮合,托块上端开设有滑动槽,螺纹杆一外表面套设内螺纹块,且内螺纹块位于滑动槽内,内螺纹块上端安装夹紧杆。作为本技术进一步的方案:所述圆板中部设置固定装置,固定装置包括十字压紧杆、轴承座三、螺纹杆二、旋转块二,螺纹杆二上端穿过圆板,且螺纹杆二与圆板螺纹连接,螺纹杆二上端安装旋转块二,螺纹杆二转动连接有轴承座三,轴承座三下端设置十字压紧杆。作为本技术再进一步的方案:所述方形柱外表面安装固定块,且固定块位于圆板上方,固定块宽度大于长方槽宽度,且固定块与圆板滑动连接,固定块给夹紧装置提供支撑力,避免夹紧装置从长方槽内掉下。作为本技术再进一步的方案:所述圆板上端左右对称安装若干个起吊扣,且起吊扣的数量为四个。作为本技术再进一步的方案:所述圆板圆侧面外设有圆形杆,圆板圆侧面安装若干个连接杆,且连接杆固定连接圆形杆。作为本技术再进一步的方案:所述转轴外表面套设有固定轴承,且固定轴承位于伞齿轮一上方,通过固定轴承增加转轴转动时候的稳定性。与现有技术相比,本技术的有益效果是:1、本技术转动旋转块一通过转轴、伞齿轮一、伞齿轮二、螺纹杆一和内螺纹块传动,带动夹紧杆移动,夹住保温筒,可通过保温筒的壁厚来调节夹紧杆移动的距离,使本装置能适应多种厚度不同的保温筒,适应性强。2、本技术转动旋转块二通过螺纹杆二带动十字压紧杆下移压住保温筒顶部,从而减少保温筒晃动,提高保温筒的位置稳定性。3、本技术工人双手抓住圆形杆即可将保温筒提出,同时也可通过起重装置勾住起吊扣将保温筒吊出来,方便快捷,避免高温对人体造成伤害。附图说明图1为一种用于砷化镓生产的单晶炉保温筒夹具的结构示意图。图2为一种用于砷化镓生产的单晶炉保温筒夹具中夹紧装置的结构示意图。图3为一种用于砷化镓生产的单晶炉保温筒夹具的俯视图。图4为一种用于砷化镓生产的单晶炉保温筒夹具中固定装置的结构示意图。图中:1、圆板;11、长方槽;2、圆形杆;21、连接杆;3、固定块;4、夹紧装置;41、方形柱;42、转轴;43、旋转块一;44、固定轴承;45、伞齿轮一;5、托块;51、滑动槽;52、螺纹杆一;53、轴承座一;54、轴承座二;55、伞齿轮二;56、内螺纹块;57、夹紧杆;6、固定装置;61、十字压紧杆;62、轴承座三;63、螺纹杆二;64、旋转块二;7、起吊扣。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图1~4,本技术实施例中,一种用于砷化镓生产的单晶炉保温筒夹具,包括圆板1、夹紧装置4、固定装置6,所述圆板1上端开设四个长方槽11,且四个长方槽11呈十字形在圆板1上端排列,长方槽11内设置有夹紧装置4,夹紧装置4包括方形柱41、转轴42、托块5、螺纹杆一52,方形柱41位于长方槽11内,且方形柱41与长方槽11滑动连接,方形柱41内竖向设置转轴42,且转轴42上端穿过方形柱41上端,转轴42上端安装旋转块一43,转轴42下端安装伞齿轮一45,方形柱41靠近圆板1中心位置的一端下部安装托块5,托块5内横向设置螺纹杆一52,且螺纹杆一52位于伞齿轮一45下方,螺纹杆一52靠近圆板1中心位置的一端安装轴承座一54,螺纹杆一52另一端穿过托块5和方形柱41安装轴承座二53,且轴承座二53固定连接在方形柱41内壁,轴承座一54固定连接在托块5内壁,螺纹杆一52外表面套设伞齿轮二55,且伞齿轮二55位于方形柱41内,伞齿轮二55与伞齿轮一45相啮合,托块5上端开设有滑动槽51,螺纹杆一52外表面套设内螺纹块56,且内螺纹块56位于滑动槽51内,内螺纹块56上端安装夹紧杆57。所述圆板1中部设置固定装置6,固定装置6包括十字压紧杆61、轴承座三62、螺纹杆二63、旋转块二64,螺纹杆二63上端穿过圆板1,且螺纹杆二63与圆板1螺纹连接,螺纹杆二63上端安装旋转块二64,螺纹杆二63转动连接有轴承座三62,轴承座三62下端设置十字压紧杆61。所述方形柱41外表面安装固定块3,且固定块3位于圆板1上方,固定块3宽度大于长方槽11宽度,且固定块3与圆板1滑动连接,固定块3给夹紧装置4提供支撑力,避免夹紧装置4从长方槽11内掉下。所述圆板1上端左右对称安装若干个起吊扣7,且起吊扣7的数量为四个。所述圆板1圆侧面外设有圆形杆2,圆板1圆侧面安装若干个连接杆21,且连接杆21固定连接圆形杆2。所述转轴42外表面套设有固定轴承44,本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于砷化镓生产的单晶炉保温筒夹具,包括圆板(1)、夹紧装置(4)、固定装置(6),其特征在于,所述圆板(1)上端开设四个长方槽(11),且四个长方槽(11)呈十字形在圆板(1)上端排列,长方槽(11)内设置有夹紧装置(4),夹紧装置(4)包括方形柱(41)、转轴(42)、托块(5)、螺纹杆一(52),方形柱(41)位于长方槽(11)内,且方形柱(41)与长方槽(11)滑动连接,方形柱(41)内竖向设置转轴(42),且转轴(42)上端穿过方形柱(41)上端,转轴(42)上端安装旋转块一(43),转轴(42)下端安装伞齿轮一(45),方形柱(41)靠近圆板(1)中心位置的一端下部安装托块(5),托块(5)内横向设置螺纹杆一(52),且螺纹杆一(52)位于伞齿轮一(45)下方,螺纹杆一(52)靠近圆板(1)中心位置的一端安装轴承座一(54),螺纹杆一(52)另一端穿过托块(5)和方形柱(41)安装轴承座二(53),且轴承座二(53)固定连接在方形柱(41)内壁,轴承座一(54)固定连接在托块(5)内壁,螺纹杆一(52)外表面套设伞齿轮二(55),且伞齿轮二(55)位于方形柱(41)内,伞齿轮二(55)与伞齿轮一(45)相啮合,托块(5)上端开设有滑动槽(51),螺纹杆一(52)外表面套设内螺纹块(56),且内螺纹块(56)位于滑动槽(51)内,内螺纹块(56)上端安装夹紧杆(57)。/n...
【技术特征摘要】
1.一种用于砷化镓生产的单晶炉保温筒夹具,包括圆板(1)、夹紧装置(4)、固定装置(6),其特征在于,所述圆板(1)上端开设四个长方槽(11),且四个长方槽(11)呈十字形在圆板(1)上端排列,长方槽(11)内设置有夹紧装置(4),夹紧装置(4)包括方形柱(41)、转轴(42)、托块(5)、螺纹杆一(52),方形柱(41)位于长方槽(11)内,且方形柱(41)与长方槽(11)滑动连接,方形柱(41)内竖向设置转轴(42),且转轴(42)上端穿过方形柱(41)上端,转轴(42)上端安装旋转块一(43),转轴(42)下端安装伞齿轮一(45),方形柱(41)靠近圆板(1)中心位置的一端下部安装托块(5),托块(5)内横向设置螺纹杆一(52),且螺纹杆一(52)位于伞齿轮一(45)下方,螺纹杆一(52)靠近圆板(1)中心位置的一端安装轴承座一(54),螺纹杆一(52)另一端穿过托块(5)和方形柱(41)安装轴承座二(53),且轴承座二(53)固定连接在方形柱(41)内壁,轴承座一(54)固定连接在托块(5)内壁,螺纹杆一(52)外表面套设伞齿轮二(55),且伞齿轮二(55)位于方形柱(41)内,伞齿轮二(55)与伞齿轮一(45)相啮合,托块(5)上端开设有滑动槽(51),螺纹杆一(52)外表面套设内螺纹块(56),且内螺纹块(56)位于滑动槽(51)内,内螺纹块(56)上端安装夹紧杆(57)。
2.根...
【专利技术属性】
技术研发人员:兰少东,
申请(专利权)人:江苏中科晶元信息材料有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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