一种用于半导体晶体生长的石英管及装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种用于半导体晶体生长的石英管，石英管具有一条虚拟中心轴，石英管包括管壁、中空通道、以及两端的圆形开口，石英管整体以所述虚拟中心轴中心对称，石英管水平放置时从左至右依次包括第一段管、与第一段管一体固定连接的过渡段管、以及与过渡段管一体固定连接的第二段管，任意通过所述虚拟中心轴的某一平面与过渡段管的管壁相交部呈W型壁和M型壁，W型壁和M型壁以所述虚拟中心轴平面对称。本实用新型专利技术提供了一种用于半导体晶体生长的装置，所述装置包括上述石英管、单晶石英管、PBN坩埚、石英舟和石英帽。本实用新型专利技术的用于半导体晶体生长的石英管、用于半导体晶体生长的装置实现从原料砷和镓一步生长成砷化镓单晶。

Quartz tube and device for semiconductor crystal growth

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体晶体生长的石英管及装置
本申请属于半导体制备装置
，具体涉及一种用于半导体晶体生长的石英管及装置。
技术介绍
石英管是用二氧化硅制造的特种工业技术玻璃，是一种非常优良的基础材料。石英管具有一系列优良的物理及化学性能，半导体晶体生长主要用石英管作为载体进行长晶。现有的砷化镓单晶生长技术主要以垂直梯度凝固法(VGF法)为主，工艺较复杂，不能从原料6N砷和6N镓一步生长成砷化镓单晶。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术存在的不足之处而提供一种用于半导体晶体生长的石英管及装置。为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种用于半导体晶体生长的石英管，所述石英管具有一条虚拟中心轴，石英管包括管壁、由管壁包围的中空通道、以及中空通道两端的圆形开口，石英管的管壁以所述虚拟中心轴中心对称，石英管的中空通道以所述虚拟中心轴中心对称，石英管的圆形开口以所述虚拟中心轴中心对称，石英管水平放置时从左至右依次包括第一段管、与第一段管一体固定连接的过渡段管、以及与过渡段管一体固定连接的第二段管，所述第一段管为圆管状，所述第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于半导体晶体生长的石英管，其特征在于，所述石英管具有一条虚拟中心轴，所述虚拟中心轴为直线，所述石英管包括管壁、由管壁包围的中空通道、以及中空通道两端的圆形开口，石英管的管壁以所述虚拟中心轴中心对称，石英管的中空通道以所述虚拟中心轴中心对称，石英管的圆形开口以所述虚拟中心轴中心对称，石英管水平放置时从左至右依次包括第一段管、与第一段管一体固定连接的过渡段管、以及与过渡段管一体固定连接的第二段管，所述第一段管为圆管状，所述第二段管为圆管状，所述过渡段管连通第一段管和第二段管，第一段管、过渡段管和第二段管同轴，第一段管、过渡段管和第二段管的共同的轴为所述虚拟中心轴，所述过渡段管的管壁向内凹...

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体晶体生长的石英管，其特征在于，所述石英管具有一条虚拟中心轴，所述虚拟中心轴为直线，所述石英管包括管壁、由管壁包围的中空通道、以及中空通道两端的圆形开口，石英管的管壁以所述虚拟中心轴中心对称，石英管的中空通道以所述虚拟中心轴中心对称，石英管的圆形开口以所述虚拟中心轴中心对称，石英管水平放置时从左至右依次包括第一段管、与第一段管一体固定连接的过渡段管、以及与过渡段管一体固定连接的第二段管，所述第一段管为圆管状，所述第二段管为圆管状，所述过渡段管连通第一段管和第二段管，第一段管、过渡段管和第二段管同轴，第一段管、过渡段管和第二段管的共同的轴为所述虚拟中心轴，所述过渡段管的管壁向内凹陷，所述过渡段管的管壁包围的中空通道的内径小于第一段管管壁包围的中空通道的内径，所述过渡段管的管壁包围的中空通道的内径小于第二段管管壁包围的中空通道的内径，任意通过所述虚拟中心轴的某一平面与过渡段管的管壁相交部呈W型壁和M型壁，W型壁和M型壁以所述虚拟中心轴平面对称。


2.根据权利要求1所述的石英管，其特征在于，所述过渡段管的W型壁或者M型壁包括依次连接的甲段管壁、乙段管壁、丙段管壁和丁段管壁，甲段管壁和第一段管一体固定连接，乙段管壁和甲段管壁一体固定连接，丙段管壁和乙段管壁一体固定连接，丁段管壁和丙段管壁一体固定连接，第二段管和丁段管壁一体固定连接，甲段管壁以所述虚拟中心轴中心对称，甲段管壁与所述虚拟中心轴的夹角为87～93度，乙段管壁以所述虚拟中心轴中心对称，乙段管壁与所述虚拟中心轴的夹角为45～50度，丙段管壁以所述虚拟中心轴中心对称，丙段管壁与所述虚拟中心轴的夹角为45～50度，丁段管壁以所述虚拟中心轴中心对称，丁段管壁与所述虚拟中心轴的夹角为57.5～62.5度。


3.根据权利要求2所述的石英管，其特征在于，所述甲段管壁和乙段管壁的内壁连接处距所述虚拟中心轴的距离为所述第二段管内径的25％～30％，乙段管壁和丙段管壁的内壁连接处距所述虚拟中心轴的距离为所述第二段管内径的90％～95％，丙段管壁和丁段管壁的内壁连接处距所述虚拟中心轴的距离为所述第二段管内径的55％～60％。


4.根据权利要求2所述的石英管，其特征在于，所述甲段管壁和乙段管壁的连接处为第一弧形倒角，所述第一弧形倒角的圆弧半径为所述第二段管内径的4.5％～5.5％，乙段管壁和丙段管壁的连接处为第二弧形倒角，所述第二弧形倒角的圆弧半径为所述第二段管内径的11％～12％，丙段管壁和丁段管壁的连接处为第三弧形倒角，所述第三弧形倒角的圆弧半径为所述第二段管内径的4.5％～5.5％。


5.根据权利要求2所述的石英管，其特征在于，所述第一段管和甲段管壁的连接处为弧形倒角，所述第二段管和丁段管壁的连接处为弧形倒角。


6.根据权利要求1所述的石英管，其特征在于，所述第一段管的长度为第二段管长度的8％～12％，所述石英管的管壁厚度为3～5mm。


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【专利技术属性】
技术研发人员：王金灵，周铁军，严卫东，马金峰，
申请(专利权)人：广东先导先进材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44