【技术实现步骤摘要】
本技术涉及砷化镓晶圆加工，特别涉及砷化镓晶圆用甩干装置。
技术介绍
1、砷化镓是一种重要的半导体材料，砷化镓可以制成电阻率比硅、锗高3个数量级以上的半绝缘高阻材料，在利用水平法进行制造砷化镓时，制成的砷化镓晶柱截面为独特的“d”形，在对晶柱进行切割前需要将晶柱进行打磨成圆形，在打磨成型后需要对晶圆进行清洗与干燥，防止杂质吸附在晶圆的表面，影响后续的加工。
2、但是现有的砷化镓干燥装置在使用时，砷化镓晶圆大多静置在装置内部进行干燥，干燥效果不理想，还需要工作人员进行对砷化镓晶圆翻面，增加工作负担，因此需要提供砷化镓晶圆用甩干装置来解决问题。
技术实现思路
1、本技术的主要目的在于提供砷化镓晶圆用甩干装置，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
2、为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
3、砷化镓晶圆用甩干装置，包括安装基座，所述安装基座的顶部设置有甩干箱，所述甩干箱的顶部设置有箱盖，且甩干箱的侧面设置有出水管，所述甩干箱的内部设置有分隔板，所述甩干箱的内部设置有甩干组件，且甩干组件贯穿在安装基座的底部中间，所述甩干组件的外壁上设置有定位组件；
4、甩干组件包括驱动电机，所述驱动电机的顶端设置有主动齿轮，所述主动齿轮的侧面设置有从动齿轮，所述从动齿轮的中间设置有旋转轴，所述旋转轴的顶端设置有甩干桶，所述甩干桶的内部设置有砷化镓晶圆放置筒；
5、定位组件包括插接杆，所述插接杆的一端设置有限位板，且插接杆的另一端开设有限位槽，所述限位
6、优选的，所述安装基座的中间开设有通槽，且驱动电机的侧面通过螺栓连接在安装基座中间的通槽内壁上，所述驱动电机的输出端与主动齿轮传动连接，且主动齿轮与从动齿轮相互啮合，所述主动齿轮与从动齿轮在安装基座中间的通槽内部相邻设置，所述从动齿轮的中间卡接有旋转轴，且旋转轴的顶端通过轴承贯穿在甩干箱的内部。
7、优选的，所述旋转轴的顶端通过螺栓与甩干桶连接，且甩干桶位于分隔板的上方，且旋转轴的顶端通过轴承贯穿甩干箱连接在分隔板的顶端，所述甩干桶的底部与分隔板滑动连接，所述甩干桶的内部卡接有砷化镓晶圆放置筒，且甩干桶与砷化镓晶圆放置筒对应设置，所述砷化镓晶圆放置筒的外壁上固定安装有t形安装滑轨，且t形安装滑轨有四个，分别对称分布在砷化镓晶圆放置筒的外壁上，所述甩干桶的内壁上开设有滑槽，且滑槽与t形安装滑轨对应设置，所述t形安装滑轨滑动连接在滑槽的内部。
8、优选的，所述砷化镓晶圆放置筒与甩干桶的侧壁上均开设有多个圆孔，所述插接杆插接在砷化镓晶圆放置筒与甩干桶之间的圆孔中间，且插接杆连接砷化镓晶圆放置筒与甩干桶，所述插接杆靠近砷化镓晶圆放置筒的一端固定安装有限位板，且限位板靠近插接杆的一侧与砷化镓晶圆放置筒的内壁相贴合，所述插接杆远离限位板的一端贯穿在甩干桶的外部。
9、优选的，所述安装板固定连接在甩干桶的外壁上，且安装板与插接杆对应设置，所述安装板位于甩干桶侧壁上的圆孔上方，所述安装板的中间开设有滑槽，且限位杆滑动连接在安装板的中间，所述限位杆的顶端与拉动板固定连接，且拉动板位于安装板的上方，所述限位杆的底端插接在限位槽的内部。
10、优选的，所述限位杆的外壁上套设有连接弹簧，且连接弹簧位于拉动板与安装板之间，所述连接弹簧的两端分别卡接在安装板的顶部与拉动板的底部，且连接弹簧与限位杆对应设置，所述定位组件由两组，分别对称分布在甩干桶的两侧。
11、优选的，所述箱盖卡接在甩干箱的顶部，且箱盖的底部设置有缓冲海绵，所述箱盖底部的缓冲海绵与砷化镓晶圆放置筒的顶部相接触。
12、与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：
13、1、通过设置的驱动电机带动主动齿轮、从动齿轮与旋转轴进行旋转，从而旋转轴带动甩干桶与砷化镓晶圆放置筒进行对砷化镓晶圆的甩干，且甩干桶与砷化镓晶圆放置筒的外壁上均开设有多个圆孔，从而方便对晶圆上的水分的排出，从而提高甩干效率，同时无需工作人员手动翻面，提高工作效率；
14、2、通过设置的定位组件实现对甩干桶与砷化镓晶圆放置筒的定位连接，通过设置的插接杆与限位板连接砷化镓晶圆放置筒与甩干桶，防止在使用的过程中砷化镓晶圆放置筒从甩干桶的内部分离，影响甩干效果，进一步增加砷化镓晶圆放置筒与甩干桶的使用稳定性，通过设置的限位杆插接在插接杆的内部，从而方便对插接杆的拆卸，使砷化镓晶圆放置筒方便从甩干桶的内部拆卸，提高装置的使用便捷度。
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1.砷化镓晶圆用甩干装置，包括安装基座(1)，其特征在于：所述安装基座(1)的顶部设置有甩干箱(2)，所述甩干箱(2)的顶部设置有箱盖(3)，且甩干箱(2)的侧面设置有出水管(4)，所述甩干箱(2)的内部设置有分隔板(5)，所述甩干箱(2)的内部设置有甩干组件(6)，且甩干组件(6)贯穿在安装基座(1)的底部中间，所述甩干组件(6)的外壁上设置有定位组件(13)；
2.根据权利要求1所述的砷化镓晶圆用甩干装置，其特征在于：所述安装基座(1)的中间开设有通槽，且驱动电机(7)的侧面通过螺栓连接在安装基座(1)中间的通槽内壁上，所述驱动电机(7)的输出端与主动齿轮(8)传动连接，且主动齿轮(8)与从动齿轮(9)相互啮合，所述主动齿轮(8)与从动齿轮(9)在安装基座(1)中间的通槽内部相邻设置，所述从动齿轮(9)的中间卡接有旋转轴(10)，且旋转轴(10)的顶端通过轴承贯穿在甩干箱(2)的内部。
3.根据权利要求2所述的砷化镓晶圆用甩干装置，其特征在于：所述旋转轴(10)的顶端通过螺栓与甩干桶(11)连接，且甩干桶(11)位于分隔板(5)的上方，且旋转轴(10)
4.根据权利要求1所述的砷化镓晶圆用甩干装置，其特征在于：所述砷化镓晶圆放置筒(12)与甩干桶(11)的侧壁上均开设有多个圆孔，所述插接杆(14)插接在砷化镓晶圆放置筒(12)与甩干桶(11)之间的圆孔中间，且插接杆(14)连接砷化镓晶圆放置筒(12)与甩干桶(11)，所述插接杆(14)靠近砷化镓晶圆放置筒(12)的一端固定安装有限位板(15)，且限位板(15)靠近插接杆(14)的一侧与砷化镓晶圆放置筒(12)的内壁相贴合，所述插接杆(14)远离限位板(15)的一端贯穿在甩干桶(11)的外部。
5.根据权利要求4所述的砷化镓晶圆用甩干装置，其特征在于：所述安装板(16)固定连接在甩干桶(11)的外壁上，且安装板(16)与插接杆(14)对应设置，所述安装板(16)位于甩干桶(11)侧壁上的圆孔上方，所述安装板(16)的中间开设有滑槽，且限位杆(17)滑动连接在安装板(16)的中间，所述限位杆(17)的顶端与拉动板(18)固定连接，且拉动板(18)位于安装板(16)的上方，所述限位杆(17)的底端插接在限位槽(20)的内部。
6.根据权利要求5所述的砷化镓晶圆用甩干装置，其特征在于：所述限位杆(17)的外壁上套设有连接弹簧(19)，且连接弹簧(19)位于拉动板(18)与安装板(16)之间，所述连接弹簧(19)的两端分别卡接在安装板(16)的顶部与拉动板(18)的底部，且连接弹簧(19)与限位杆(17)对应设置，所述定位组件(13)由两组，分别对称分布在甩干桶(11)的两侧。
7.根据权利要求1所述的砷化镓晶圆用甩干装置，其特征在于：所述箱盖(3)卡接在甩干箱(2)的顶部，且箱盖(3)的底部设置有缓冲海绵，所述箱盖(3)底部的缓冲海绵与砷化镓晶圆放置筒(12)的顶部相接触。
...【技术特征摘要】
1.砷化镓晶圆用甩干装置，包括安装基座(1)，其特征在于：所述安装基座(1)的顶部设置有甩干箱(2)，所述甩干箱(2)的顶部设置有箱盖(3)，且甩干箱(2)的侧面设置有出水管(4)，所述甩干箱(2)的内部设置有分隔板(5)，所述甩干箱(2)的内部设置有甩干组件(6)，且甩干组件(6)贯穿在安装基座(1)的底部中间，所述甩干组件(6)的外壁上设置有定位组件(13)；
2.根据权利要求1所述的砷化镓晶圆用甩干装置，其特征在于：所述安装基座(1)的中间开设有通槽，且驱动电机(7)的侧面通过螺栓连接在安装基座(1)中间的通槽内壁上，所述驱动电机(7)的输出端与主动齿轮(8)传动连接，且主动齿轮(8)与从动齿轮(9)相互啮合，所述主动齿轮(8)与从动齿轮(9)在安装基座(1)中间的通槽内部相邻设置，所述从动齿轮(9)的中间卡接有旋转轴(10)，且旋转轴(10)的顶端通过轴承贯穿在甩干箱(2)的内部。
3.根据权利要求2所述的砷化镓晶圆用甩干装置，其特征在于：所述旋转轴(10)的顶端通过螺栓与甩干桶(11)连接，且甩干桶(11)位于分隔板(5)的上方，且旋转轴(10)的顶端通过轴承贯穿甩干箱(2)连接在分隔板(5)的顶端，所述甩干桶(11)的底部与分隔板(5)滑动连接，所述甩干桶(11)的内部卡接有砷化镓晶圆放置筒(12)，且甩干桶(11)与砷化镓晶圆放置筒(12)对应设置，所述砷化镓晶圆放置筒(12)的外壁上固定安装有t形安装滑轨(21)，且t形安装滑轨(21)有四个，分别对称分布在砷化镓晶圆放置筒(12)的外壁上，所述甩干桶(11)的内壁上开设有滑槽(22)，且滑槽(22)与t形安装滑轨(21)对应设置，所述t形安装滑轨(21)滑动连接在滑槽(22)的内部。
4.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁许飞，李琪荣，许子俊，马曾增，
申请(专利权)人：江苏中科晶元信息材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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