一种带有三向冲击传感器芯片的弹载记录仪制造技术

本发明专利技术涉及高冲击信号检测技术领域，特别涉及一种带有三向冲击传感器芯片的弹载记录仪，包括有主控模块、电源模块、信号处理电路、信号调理电路和存储模块，所述弹载记录仪还包括有三向冲击传感器，所述三向冲击传感器包括有晶圆衬底和三个检测冲击加速度的敏感元件，每个敏感元件均包括有若干个长条状的硅梁和两个并列且在同一平面的质量块，所述晶圆衬底设置有若干个用于容纳质量块的方形槽，所有能够与同一个质量块抵触配合的硅梁上均设置有应变电阻，所有应变电阻均电性连接有引脚，本发明专利技术大大锁紧弹载记录仪的体积，解决了采集模式单一的问题，解决测试准确性不高的问题。能够降低检测失效的可能性。

【技术实现步骤摘要】
一种带有三向冲击传感器芯片的弹载记录仪
本专利技术涉及高冲击信号检测
，特别涉及一种带有三向冲击传感器芯片的弹载记录仪。
技术介绍
随着现代兵器科学技术的飞速发展，导弹外场飞行测试试验已成为获取导弹侵彻过程真实性能的主要手段，测试试验获得的数据为导弹武器系统的研制以及抗导弹武器侵彻的防护工程设计提供重要依据，弹载记录仪是用于弹体在发射前后、飞行和落地侵彻整个或部分过程中对弹上各种测试信号实时调理、采集、处理和记录，并在弹体整个试验过程结束后采用相应技术手段回收数据记录装置中存储的数据的一种测试仪器或设备。市面上的弹载记录仪具有体积大、采集模式单一、抗冲击能力弱以及可靠性低等缺点，传统弹载记录仪中搭载的冲击传感器均为单轴冲击传感器，然后在PCB电路板上按照X、Y、Z三个方向排布组成一个三轴冲击传感器系统。这种产品尺寸太大，测试准确性不高。
技术实现思路
本专利技术的目的在于针对现有技术的不足，提供一种带有三向冲击传感器芯片的弹载记录仪。为解决上述问题，本专利技术提供以下技术方案：>一种带有三向冲击传本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带有三向冲击传感器芯片的弹载记录仪，包括有主控模块、均与主控模块电性连接的电源模块、信号处理电路、信号调理电路和存储模块，其特征在于：所述弹载记录仪还包括有三向冲击传感器，所述三向冲击传感器通过信号调理电路与主控模块电性连接，所述三向冲击传感器包括有晶圆衬底(1)和三个检测冲击加速度的敏感元件(2)，三个敏感元件(2)同时与信号处理电路电性连接，三个敏感元件(2)的检测方向相互垂直，每个敏感元件(2)均包括有若干个长条状的硅梁(4)和两个并列且在同一平面的质量块(8)，所述晶圆衬底(1)设置有若干个用于容纳质量块(8)的方形槽(3)，每个所述质量块(8)能够分别与若干个硅梁(4)抵触配...

【技术特征摘要】
1.一种带有三向冲击传感器芯片的弹载记录仪，包括有主控模块、均与主控模块电性连接的电源模块、信号处理电路、信号调理电路和存储模块，其特征在于：所述弹载记录仪还包括有三向冲击传感器，所述三向冲击传感器通过信号调理电路与主控模块电性连接，所述三向冲击传感器包括有晶圆衬底(1)和三个检测冲击加速度的敏感元件(2)，三个敏感元件(2)同时与信号处理电路电性连接，三个敏感元件(2)的检测方向相互垂直，每个敏感元件(2)均包括有若干个长条状的硅梁(4)和两个并列且在同一平面的质量块(8)，所述晶圆衬底(1)设置有若干个用于容纳质量块(8)的方形槽(3)，每个所述质量块(8)能够分别与若干个硅梁(4)抵触配合，所有能够与同一个质量块(8)抵触配合的硅梁(4)上均设置有应变电阻(5)，所有应变电阻(5)均电性连接有引脚(7)，所有引脚(7)均与信号处理电路电性连接，所述信号处理电路与信号调理电路电性连接。


2.根据权利要求1所述的一种带有三向冲击传感器芯片的弹载记录仪，其特征在于：其中两个所述敏感元件(2)的所在平面在同一平面内，该...

【专利技术属性】
技术研发人员：任政，苏刚，王红战，闫长新，杨军，
申请(专利权)人：芜湖天波光电技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34