三轴加速度计制造技术

一种三轴加速度计是以单一的可动质量块来测量三个轴向的加速度，因此可获得较紧密的结构。此外，组成差分电容对的各方向检测电容相对于可动质量块的旋转轴对称配置，因此，可动质量块在检测方向运动时，在非检测方向的差分电容值保持不变，其可避免可动质量块运动所产生的检测误差。

Triaxial accelerometer

【技术实现步骤摘要】
三轴加速度计
本专利技术是有关一种加速度计，特别是一种以微机电系统(MEMS)实现的三轴加速度计。
技术介绍
自1970年代微机电系统装置概念成形起，微机电系统(MicroelectromechanicalSystem，MEMS)装置已从实验室的探索对象进步至成为高阶系统整合的对象，并已在大众消费性装置中有广泛的应用，展现了惊人且稳定的成长。微机电系统装置包含一可动的微机电系统元件，借由感测或控制可动的微机电系统元件的运动物理量可实现微机电系统装置的各项功能。加速度传感器已应用于消费型电子、汽车电子、物联网装置或其它工程、科学及工业领域。已知的三轴加速度传感器大多是以彼此独立的多个质量块来感测不同轴向的加速度，因此，已知的三轴加速度传感器通常体积庞大，且结构复杂，因而不利于制作。有鉴于此，提供一种三轴加速度传感器并满足结构尽可能紧密的要求便是目前极需努力的目标。
技术实现思路
本专利技术提供一种三轴加速度计，其是以单一的可动质量块来测量三个轴向的加速度，因此可获得较紧密的结构。本专利技术提供一种三轴加本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种三轴加速度计，包含：/n一基板，其包含一金属层，其中该金属层部分暴露于该基板的一表面形成一电路图案，其中该表面平行于一第一轴和一第二轴所定义的一二维面，一第三轴垂直于该表面、该第一轴和该第二轴；/n一可动质量块，其呈一框状结构，且该可动质量块经由至少一锚点以及一弹性元件与该基板连接，使该可动质量块可沿平行于该表面的一第一轴平行运动、平行于该表面且以该第三轴为一旋转轴进行旋转、以及相对于该第二轴进行转动，其中该可动质量块包含至少二个第三轴可动电极区，其分别设置于相对于该第二轴的二侧的一部分，该二个第三轴可动电极区对应于该电路图案形成二个第三轴感测电容，且该二个第三轴感测电容组成一第三轴差...

【技术特征摘要】
1.一种三轴加速度计，包含：
一基板，其包含一金属层，其中该金属层部分暴露于该基板的一表面形成一电路图案，其中该表面平行于一第一轴和一第二轴所定义的一二维面，一第三轴垂直于该表面、该第一轴和该第二轴；
一可动质量块，其呈一框状结构，且该可动质量块经由至少一锚点以及一弹性元件与该基板连接，使该可动质量块可沿平行于该表面的一第一轴平行运动、平行于该表面且以该第三轴为一旋转轴进行旋转、以及相对于该第二轴进行转动，其中该可动质量块包含至少二个第三轴可动电极区，其分别设置于相对于该第二轴的二侧的一部分，该二个第三轴可动电极区对应于该电路图案形成二个第三轴感测电容，且该二个第三轴感测电容组成一第三轴差分电容对，以检测该可动质量块相对于该第二轴转动的变化量；
至少二个第一轴可动电极元件，其连接于该框状结构的内侧，并且相对于该旋转轴对称配置；
至少二个第二轴可动电极元件，其连接于该框状结构的内侧，并且相对于该旋转轴对称配置；
至少二个第一轴固定电极元件，其与该电路图案电性连接，且对应于该至少二个第一轴可动电极元件设置，以形成二个第一轴感测电容，其中相对于该旋转轴对称配置的该二个第一轴感测电容组成一第一轴差分电容对，以检测该可动质量块沿该第一轴平行运动的变化量；以及
至少二个第二轴固定电极元件，其与该电路图案电性连接，且对应于该至少二个第二轴可动电极元件设置，以形成二个第二轴感测电容，其中相对于该旋转轴对称配置的该二个第二轴感测电容组成一第二轴差分电容对，以检测该可动质量块以该第三轴为该转轴的旋转的变化量。


2.如权利要求1所述的三轴加速度计，其特征在于，相对于...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾立天，钱元晧，
申请(专利权)人：苏州明皜传感科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32