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苏州明皜传感科技有限公司
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三轴加速度计制造技术
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文档序号:24495533
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一种三轴加速度计是以单一的可动质量块来测量三个轴向的加速度,因此可获得较紧密的结构。此外,组成差分电容对的各方向检测电容相对于可动质量块的旋转轴对称配置,因此,可动质量块在检测方向运动时,在非检测方向的差分电容值保持不变,其可避免可动质量块...
该专利属于苏州明皜传感科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州明皜传感科技有限公司授权不得商用。
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