【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅生产用的防堵式还原炉尾气罩
本技术涉及多晶硅生产装置
,具体是一种多晶硅生产用的防堵式还原炉尾气罩。
技术介绍
多晶硅,是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。当前,多晶硅的生产主要采用的是改良西门子法,该法采用硅、氯化氢、三氯氢硅等原材料,采用氢气作为还原剂,在专用的还原炉内进行生产。在改良西门子法的生产过程中,由于材料配比、温度场不均等原因,还原炉内会产生大量的粒径分布为0.1~460μm的硅粉,其中粒径10μm以上的硅粉达到了80%以上;如果这些硅粉随着尾气进入排出管道,将严重损坏设备、阻塞气流管道。因此,需要在尾气出口处安置尾气罩,以尽可能地分离尾气流中的硅粉。目前市场上存在多种还原炉尾气罩,但是这些还原炉尾气罩普遍存在尾气在经过尾气罩时,部分硅粉会吸附在尾气罩的内壁上,长时间使用后,硅粉越积越多影响尾气排放,且不能方便的将硅粉截留在尾气罩内并将硅粉从尾气罩内取出。因此,本领 ...
【技术保护点】
1.一种多晶硅生产用的防堵式还原炉尾气罩,包括尾气罩主体(5),其特征在于,所述尾气罩主体(5)的一侧设置有尾气排出口接管(1),所述尾气罩主体(5)的另一侧连接有尾气罩内壁清理装置(6),所述尾气罩主体(5)的前后侧的一边均连接有固定管(7),所述尾气罩主体(5)的底端远离尾气排出口接管(1)的位置开设有方孔(12),所述尾气罩主体(5)的底端靠近方孔(12)的位置连接有方孔封板(11),所述两个固定管(7)相互远离的一侧均连接有通气管(3),所述固定管(7)的顶端开设有第一限位螺孔(9),所述固定管(7)的顶端靠近第一限位螺孔(9)的位置连接有限位螺杆(4),所述通气管 ...
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅生产用的防堵式还原炉尾气罩,包括尾气罩主体(5),其特征在于,所述尾气罩主体(5)的一侧设置有尾气排出口接管(1),所述尾气罩主体(5)的另一侧连接有尾气罩内壁清理装置(6),所述尾气罩主体(5)的前后侧的一边均连接有固定管(7),所述尾气罩主体(5)的底端远离尾气排出口接管(1)的位置开设有方孔(12),所述尾气罩主体(5)的底端靠近方孔(12)的位置连接有方孔封板(11),所述两个固定管(7)相互远离的一侧均连接有通气管(3),所述固定管(7)的顶端开设有第一限位螺孔(9),所述固定管(7)的顶端靠近第一限位螺孔(9)的位置连接有限位螺杆(4),所述通气管(3)的顶端开设有第二限位螺孔(10),所述通气管(3)的顶端远离第二限位螺孔(10)的位置设置有排气管(2),所述通气管(3)的内侧安装有滤板(8)。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产用的防堵式还原炉尾气罩,其特征在于,所述尾气罩内壁清理装置(6)包括支撑架(64),所述支撑架(64)的一侧的四边均安装有毛刷(63),所述支撑架(64)的一侧的中间位置连接有连接杆(62),所述连接杆(62)远离支撑架(64)的一侧安装有把手(61)。
3.根据权利要求2所述的一种多晶...
【专利技术属性】
技术研发人员:苗康,王辉,
申请(专利权)人:内蒙古东立光伏电子有限公司,
类型:新型
国别省市:内蒙;15
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。