下载一种多晶硅生产用的防堵式还原炉尾气罩的技术资料

文档序号:24690648

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本实用新型涉及多晶硅生产装置技术领域,公开了一种多晶硅生产用的防堵式还原炉尾气罩,包括尾气罩主体,所述尾气罩主体的一侧设置有尾气排出口接管,所述尾气罩主体的另一侧连接有尾气罩内壁清理装置,所述尾气罩主体的前后侧的一边均连接有固定管,所述尾气...
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