一种真空腔室密闭用自动升降门制造技术

技术编号:24673403 阅读:37 留言:0更新日期:2020-06-27 05:39
本发明专利技术属于真空腔室密闭技术领域,特别涉及一种真空腔室密闭用自动升降门。包括门板、升降驱动机构、四连杆机构及限位结构,其中四连杆机构连接在门板的一侧,四连杆机构的下端与升降驱动机构连接,限位结构设置于四连杆机构的上方,用于限制四连杆机构的上升行程,升降驱动机构驱动四连杆机构和门板上升至与限位结构接触后,四连杆机构通过限位结构的限位沿水平方向展开,从而使门板与真空腔室贴合,实现真空腔室的密封。发明专利技术利用弹簧和四连杆机构完成升降及开关门动作,结构简单,操作方便,降低成本,且密闭效果比较好。

An automatic lifting door for airtight vacuum chamber

【技术实现步骤摘要】
一种真空腔室密闭用自动升降门
本专利技术属于真空腔室密闭
,特别涉及一种真空腔室密闭用自动升降门。
技术介绍
现有真空腔室密闭用自动升降门采用两个自由度的配置,一个自由度用于升降,大多由气缸驱动,另一个自由度用于关闭/开启腔室门,该种自动升降门结构复杂,操作繁琐、且密闭效果不佳。
技术实现思路
针对上述问题,本专利技术的目的在于提供一种真空腔室密闭用自动升降门,以解决现有真空传输腔室的自动升降门结构复杂,操作繁琐、且密闭效果不佳的问题。为了实现上述目的,本专利技术采用以下技术方案:一种真空腔室密闭用自动升降门,包括门板、升降驱动机构、四连杆机构及限位结构,其中四连杆机构连接在门板的一侧,所述四连杆机构的下端与所述升降驱动机构连接,所述限位结构设置于所述四连杆机构的上方,用于限制所述四连杆机构的上升行程,所述升降驱动机构驱动所述四连杆机构和门板上升至与所述限位结构接触后,所述四连杆机构通过所述限位结构的限位沿水平方向展开,从而使所述门板与真空腔室贴合,实现所述真空腔室的密封。所述的真空腔室密闭用自本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空腔室密闭用自动升降门,其特征在于,包括门板(5)、升降驱动机构、四连杆机构及限位结构,其中四连杆机构连接在门板(5)的一侧,所述四连杆机构的下端与所述升降驱动机构连接,所述限位结构设置于所述四连杆机构的上方,用于限制所述四连杆机构的上升行程,所述升降驱动机构驱动所述四连杆机构和门板(5)上升至与所述限位结构接触后,所述四连杆机构通过所述限位结构的限位沿水平方向展开,从而使所述门板(5)与真空腔室(12)贴合,实现所述真空腔室(12)的密封。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空腔室密闭用自动升降门,其特征在于,包括门板(5)、升降驱动机构、四连杆机构及限位结构,其中四连杆机构连接在门板(5)的一侧,所述四连杆机构的下端与所述升降驱动机构连接,所述限位结构设置于所述四连杆机构的上方,用于限制所述四连杆机构的上升行程,所述升降驱动机构驱动所述四连杆机构和门板(5)上升至与所述限位结构接触后,所述四连杆机构通过所述限位结构的限位沿水平方向展开,从而使所述门板(5)与真空腔室(12)贴合,实现所述真空腔室(12)的密封。


2.根据权利要求1所述的真空腔室密闭用自动升降门,其特征在于,所述还包括弹性复位机构,所述弹性复位机构设置于所述四连杆机构内,用于所述四连杆机构复位。


3.根据权利要求2所述的真空腔室密闭用自动升降门,其特征在于,所述四连杆机构包括下辅助连杆(4)、上辅助连杆(7)及竖直连杆(3),其中下辅助连杆(4)和上辅助连杆(7)平行设置、且两侧分别与竖直连杆(3)和所述门板(5)的一竖直边框铰接,形成所述四连杆机构,所述竖直连杆(3)的下端向下延伸、且与所述升降驱动机构连接,所述弹性复位机构设置于所述竖直连杆(3)和所述门板(5)的一竖直边框之间。


4.根据权利要求3所述的真空腔室密闭用自动升降门,其特征在于,所述弹性复位机构为拉伸弹簧(6),所述拉伸弹簧(6)的两端分别与所述竖直连杆(3)和所述门板(5)的一...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐方赵治国王翔宇林峰雪刘恩龙常志勇
申请(专利权)人:沈阳新松机器人自动化股份有限公司
类型:发明
国别省市:辽宁;21

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