一种刻蚀槽用匀流板及刻蚀槽制造技术

本实用新型专利技术公开了一种刻蚀槽用匀流板及刻蚀槽，其属于光伏电池加工装置技术领域，该刻蚀槽用匀流板包括板体，所述板体上开设有多个匀流孔，所述匀流孔包括相连通的进液孔和出液孔，所述进液孔的横截面的面积小于所述出液孔的横截面的面积；沿所述出液孔远离所述进液孔的方向，所述出液孔呈横截面面积逐渐增大的喇叭状。本实用新型专利技术使得出液孔侧的液压小于进液孔侧的液压，如此设置，能够使得药液以散发式的喷射方式进入到刻蚀槽内，使得药液混合地更加均匀，从而提高刻蚀槽内对硅片刻蚀的均匀性。

A kind of uniform flow plate and etching groove for etching groove

【技术实现步骤摘要】
一种刻蚀槽用匀流板及刻蚀槽
本技术涉及光伏电池加工装置
，尤其涉及一种刻蚀槽用匀流板及刻蚀槽。
技术介绍
在光伏电池的生产流程中，需要对硅片进行清洗制绒、扩散、刻蚀、印刷和烧结等工序。刻蚀作为光伏电池生产中的一道重要工序，其主要作用是去除扩散后硅片四周的N型硅，防止漏电。一般刻蚀工序在刻蚀装置的刻蚀槽中进行。刻蚀槽中装有刻蚀用的药液。为了保证刻蚀槽内的药液具有良好的均匀性，一般在刻蚀槽的槽底设有匀流板，匀流板上开设有多个匀流孔，药液经过匀流板再进入到刻蚀槽内，以改善刻蚀槽内药液的均匀性。现有技术中，匀流孔均为截面半径保持不变的圆形孔洞，其存在如下弊端：进液侧的药液在向出液侧流动时，流速缓慢，导致匀流板的匀流效果差。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种刻蚀槽用匀流板及刻蚀槽，以解决现有技术中存在的匀流板的匀流效果不佳的技术问题。如上构思，本技术所采用的技术方案是：一种刻蚀槽用匀流板，包括板体，所述板体上开设有多个匀流孔，所述匀流孔包括相连通的进液孔和出液孔，所述进液孔的横截面的面积本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种刻蚀槽用匀流板，包括板体(1)，所述板体(1)上开设有多个匀流孔(2)，其特征在于，所述匀流孔(2)包括相连通的进液孔(21)和出液孔(22)，所述进液孔(21)的横截面的面积小于所述出液孔(22)的横截面的面积；沿所述出液孔(22)远离所述进液孔(21)的方向，所述出液孔(22)呈横截面面积逐渐增大的喇叭状。/n

【技术特征摘要】
1.一种刻蚀槽用匀流板，包括板体(1)，所述板体(1)上开设有多个匀流孔(2)，其特征在于，所述匀流孔(2)包括相连通的进液孔(21)和出液孔(22)，所述进液孔(21)的横截面的面积小于所述出液孔(22)的横截面的面积；沿所述出液孔(22)远离所述进液孔(21)的方向，所述出液孔(22)呈横截面面积逐渐增大的喇叭状。


2.根据权利要求1所述的刻蚀槽用匀流板，其特征在于，所述进液孔(21)和所述出液孔(22)的横截面均为圆形；
所述进液孔(21)为圆柱形孔，所述出液孔(22)为圆台形孔。


3.根据权利要求2所述的刻蚀槽用匀流板，其特征在于，所述出液孔(22)的出口端的直径是所述进液孔(21)的直径的二倍至八倍。


4.根据权利要求1所述的刻蚀槽用匀流板，其特征在于，所述进液孔(21)和所述出液孔(22)的横截面均为跑道型；
沿所述匀流孔(2)的长度方向，在所述进液孔(21)的两端设置有第一圆弧部，在所述出液孔(22)的两端设置有第二圆弧部，所述第二圆弧部的半径大于所述第一圆弧部的半径，沿所述出液孔(22)远离所述进液孔(21)的方向，所述第二圆弧部的半径逐渐增大。


5.根据权利要求1-4任一项所述的刻蚀槽用匀流板，其特征在于，所述匀流孔(2)沿着所述刻蚀槽用匀流板...

【专利技术属性】
技术研发人员：张临安，
申请(专利权)人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，阿特斯阳光电力集团有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32