下载一种刻蚀槽用匀流板及刻蚀槽的技术资料

文档序号:24588010

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本实用新型公开了一种刻蚀槽用匀流板及刻蚀槽,其属于光伏电池加工装置技术领域,该刻蚀槽用匀流板包括板体,所述板体上开设有多个匀流孔,所述匀流孔包括相连通的进液孔和出液孔,所述进液孔的横截面的面积小于所述出液孔的横截面的面积;沿所述出液孔远离所...
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